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UHV applications - XXL telescope

Anwendungen mit Ultrahochvakuum

Ein Ultrahochvakuum (UHV) bildet die Voraussetzung für hochkomplexe Forschungsarbeiten, die von staatlichen Laboren, Universitäten und in der Privatwirtschaft durchgeführt werden.

Nationale Institute, große globale Forschungsuniversitäten, Branchen wie Verteidigung, Luft- und Raumfahrt, aber auch Produzenten von analytischen Instrumenten verwenden verschiedene Vakuumgeräte, um das erforderliche Vakuum zu erzeugen. Viele dieser Organisationen setzen bei hochspezifischen Vakuumpumpen, Instrumenten und Systemen auf Leybold.

UHV bezeichnet den Vakuumbereich mit Drücken unterhalb von 10−9 mbar (oder 10-7 Pa). Ein Ultrahochvakuum wird benötigt, um die Oberflächenkontamination bei vielen Oberflächenanalyseverfahren zu reduzieren. Beispiele sind Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS), Auger-Elektronenspektroskopie (AES), Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) oder Feldelektronenmikroskopie (FEM).

Auch bei der Bildung und Vorbereitung von Dünnfilmen mit strengen Reinheitsanforderungen, z. B. Molekularstrahlepitaxie (MBE) oder Atomlagenabscheidung (ALD) sind auf ein UHV angewiesen.

In der Forschung (z. B. bei Partikelbeschleunigern oder Gravitationswellendetektoren) trägt das Ultrahochvakuum dazu bei, die Wechselwirkungen zwischen den Strahlgasen zu reduzieren und unerwünschte Störeinflüsse aus der Umgebung zu begrenzen. Diese Vakuumhöhen erfordern spezielle Materialien und Pumpverfahren.

Wir bieten eine breite Palette an fortschrittlichen Vakuumlösungen für den Einsatz in anspruchsvollen UHV-Anwendungen. Unsere Komponenten, Systemlösungen und Serviceleistungen haben sich in großen Forschungszentren weltweit als vorteilhaft erwiesen.

M-UHV-Plattformen

Modulare Experimentierplattformen mit Ultrahochvakuum

Zu den automatisierungsbasierten Optionen gehören

100 | 200 | 300 | 400

Höchstdruck 

< 5 x 10-10 mbar

  • Variation der Substrattemperatur von 100...1000 K
  • Präzise Temperaturmessung
  • Modulares Konzept mit UHV-Umschlagstation erleichtert die Montage von Cluster-Systemen
  • Plug-and-Play-Konfiguration für zahlreiche UHV-Experimentierwerkzeuge
  • Integrierte Fähnchen-Probenhalter
Mehrstufige Rootspumpen Scrollpumpen Turbomolekularpumpen (TMP) Kryopumpen

ECODRY Plus

Vorteile:

SCROLLVAC plus

Vorteile:

TURBOVAC IX und MAG W IP

TURBOLAB

Vorteile:

COOLVAC ICL und BL

Vorteile:

  • Ideale Vorpumpe für UHV
  • Niedriger Enddruck
  • Sehr leise mit <52 dB(A), vibrationsarm
  • Keine Verunreinigung durch Öl oder Partikel
  • Viele Jahre wartungsfrei
  • Ölfrei
  • Leise mit 55 dB(A)
  • Wechsel der Spitzendichtungen durch den Kunden in 10 Min.
  • Sehr niedriger Enddruck
  • Umfassendes Sortiment an Turbomolekularpumpen und -systemen
  • Kohlenwasserstofffreie Vakuumerzeugung
  • Niedriger Enddruck
  • Hohe Förderleistung für leichte Gase
  • Geringer Wartungsaufwand
  • Plug-and-Play-Pumpensysteme
  • COOLVAC-Kryopumpen mit hoher Wasserdampfförderleistung und geringem Wartungsbedarf
  • Erzeugung von Rein- und Trockenvakuum
  •  COOLPOWER-Kaltköpfe für die Erzeugung kryogener Temperaturen ohne flüssiges Helium oder flüssigen Stickstoff
Ionen-Getterpumpen und Steuerungen Titan-Sublimationspumpen NEG-Pumpen UHV-Hardware, Ventile, Anschlüsse

TITan und DIGITEL

Vorteile:

Vorteile:

Vorteile:

Vorteile:

  • Kohlenwasserstofffreier Betrieb im XHV-Bereich
  • Keine beweglichen Teile, keine Betriebsgeräusche
  • Absolut vibrationsfrei
  • Hohe Toleranz gegenüber Temperatur, Strahlung und Magnetfeldern
  • Ideale Pumpe zum Entfernen von Restgasen in UHV-Systemen
  • Sehr hohe Förderleistung bei reaktiven Gasen
  • Einfach und kostengünstig
  • Hohe Abscheideeffizienz bei H2 (häufigstes Restgas bei UHV/XHV)
  • Vibrationsfreier Betrieb
  • Ölfrei
  • Große Auswahl an UHV-Ventilen, Hardware und Anschlüssen mit CF-Flansch
  • Werkstoffe mit geringer Gasresorption und niedriger Leckrate
  • Hohe Einbrenntemperatur
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