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Composing Oil Diffusion Pumps

Öldiffusionsvakuumpumpen

Die Öldiffusionspumpe gehört zur Familie der Treibmittelvakuumpumpen

Das innovative Heizsystem von Leybold bietet einen einzigartigen Vorteil durch die Reduzierung des durchschnittlichen Stromverbrauchs und sorgt für deutlich schnellere Aufheizzeiten im Vergleich zu herkömmlichen Diffusions- und Öl-Booster-Pumpen. Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen für Anwendungen an, die ein hohes Saugvermögen und ein hohes Vakuum oder einen hohen Gasdurchsatz erfordern bzw. wenn Sie eine große industrielle Öl-Booster-Pumpe benötigen, mit verschiedenen Energieeffizienzoptionen wie die Energieeffizienzsteuerung (EEC), um Ihre CO2-Belastung zu verringern. Das innovative Direktheizungskonzept von Leybold ermöglicht einen intelligenten Heizprozess für hohe Energieeffizienz!

Öldiffusionspumpen erzeugen ein hohes Vakuum und arbeiten mit einem schnellen Dampfstrahl der Betriebsmittel (Öldampf). Alle Treibmittelpumpen verfügen über einen ähnlichen Pumpenmechanismus, bei dem das Betriebsmittel (Öl) durch den elektrischen Heizungsbehälter erwärmt wird und sich der Öldampf nach dem Durchlaufen der Strahldüsen ausdehnt. Die geförderten Gasmoleküle diffundieren in den Dampfstrom und verlassen die Pumpenkammer.

Die Moleküle des Pumpenflüssigkeitsstroms werden über Schlagimpulse in Flussrichtung zu den Gasmolekülen übertragen. Daher wird das zu fördernde Gas in einen Bereich mit höherem Druck bewegt. Diese Technologie ist verschleißfrei, da sie keine beweglichen Teile benötigt. Bei Öldiffusionspumpen steigt der entsprechende Dampfdruck während des Betriebs je nach Art der Betriebsmittel (Silikon- oder Mineralöl) und Temperatur sowie der Auslegung der Düsen an.

Der Dampfstrahl gelangt nicht in die Prozesskammer, da er nach dem Austritt durch die Düsen an den gekühlten Außenwänden der Pumpe kondensiert. Darüber hinaus reduziert das moderne, einzigartige Prallblech-Design den Ölrückstrom und den Ölverbrauch durch eine verbesserte Kondensationsoberfläche. Dieser einfache physikalische Mechanismus macht die Diffusionspumpe zu einer robusten Technologie.

Der Vordruck in der Pumpe muss niedrig genug sein, damit der Dampf ausströmen kann. Um dies zu gewährleisten, werden entsprechende Vakuumpumpen eingesetzt, z. B. mechanische Vorvakuumpumpen von Leybold. Das Vorvakuum beeinflusst auch den Dampfstrahl und wird problematisch, wenn sein Wert einen bestimmten kritischen Grenzwert überschreitet, der als maximaler Vorvakuumdruck oder kritisches Vorvakuum bezeichnet wird.

DiffusionsPumps_Family

Einzigartiges Strahldüsensystem

Der Dampfstrom strömt aus den Düsen mit Überschallgeschwindigkeit, um eine möglichst hohe Dampfstromgeschwindigkeit zu erreichen. Das Strahldüsensystem hat 3–5 Stufen, die zu einem erstaunlichen Saugvermögen der Leybold-Öldiffusionspumpen führen. Der Flüssigkeitsdampf der Pumpe, der den Dampfstrahl bildet, kondensiert an der wassergekühlten Wand des Pumpengehäuses, während das transportierte Gas weiter verdichtet wird (Gasdurchsatz), in der Regel in einer oder mehreren nachfolgenden Stufen, bevor es von der Vorvakuumpumpe entfernt wird.

Mit Treibmittelvakuumpumpen lassen sich sehr hohe Verdichtungsverhältnisse erzielen: Wenn am Hochvakuumeinlass der Treibmittelvakuumpumpe ein Druck von 10-7 mbar und ein Vordruck von 10-1 mbar vorhanden sind, wird das Fördergas um den Faktor 10-6 komprimiert. Dieses Verdichtungsverhältnis gewährleistet einen stabilen hohen Vakuumdruck für den Anwendungsprozess. Der Enddruck von Treibmittelvakuumpumpen wird durch den Wert für den Partialdruck der verwendeten Flüssigkeit bei Betriebstemperatur der Pumpe begrenzt. Mit unseren hochwertigen Diffusionspumpenölen LVO 500, LVO 521 und LVO540 garantieren wir herausragende Leistung.

Die Öldiffusionspumpen von Leybold sind für Ihre Anwendung optimiert

Jede dieser Produktlinien ist für die Anwendungen des Kunden optimiert!

  • DIP-Line ist die perfekte Pumpe für maximales Saugvermögen bei niedrigstem Druck!
  • DIJ-Line erreicht den maximalen Gasdurchsatz bereits bei 2x10-3 mbar, was durch das 5-stufige Düsensystem realisiert wird.
  • Und nicht zuletzt die OB-Line, die beste Lösung für maximalen Gasdurchsatz in Kombination mit höchstem Saugvermögen für härteste Anwendungen!

Vorteile von Leybold-Öldiffusionspumpen

  • Energieeffizient mit geringem CO2-Fußabdruck
  • Leistungsorientiert
  •  Höhere Verfügbarkeit
  • Relativ niedrige Investitionskosten
  • IoT-fähig
  • Einfache Wartung

Öldiffusionspumpen bieten oft die effizienteste und kostengünstigste Umgebung für Vakuumförderungsprozesse. Eine kleine Investition in eine rechtzeitige Wartung kann eine hohe Rendite durch kontinuierlich hohe Leistung Ihres Produktionssystems bringen.

Öldiffusionspumpen eignen sich gut für den Betrieb in verschiedenen industriellen Anwendungen:

  •  Bandbeschichtung
  • Optische Beschichtung
  • Metallurgie
  • Stahlentgasung
  • Wärmebehandlungsvakuumöfen
  • Elektronenstrahlschweißen
  • Forschung und Entwicklung 
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