IONIVAC

Heißkathode Bayard Alpert

Warum IONIVAC?

Unsere IONIVAC-Messgeräte, ob passiv (IE) oder aktiv (ITR), bieten die Möglichkeit, im Ultrahochvakuumbereich zu messen. Dies ermöglicht eine detaillierte Überwachung von Experimenten und die Steuerung der Variablen in Prozessen.

Bei den Heißkathoden-Messgeräten der IONIVAC-Serie emittiert eine heiße Kathode Elektronen, die auf eine Anode prallen. Das gemessene Gas wird somit ionisiert. Der resultierende positive Ionenstrom wird über die dritte Elektrode erfasst, und dieser Strom wird als Signal verwendet, das proportional zum Druck ist.

Die Heißkathoden-Ionisationssensoren bieten einen großen Messbereich von 10^-12 bis 10^-1 mbar (0,75·10^-10 bis 0,75·10^-1 Torr), je nach Art der verwendeten Heißkathoden-Technologie.

Serie IONIVAC ITR 90/200
Serie IONIVAC IE 414/IE 514

Serie IONIVAC ITR 90/200

Optimierter Kombinationsgeber

Der IONIVAC ITR ist ein optimierter Kombinationssensor. Die Kombination aus einem Heißkathoden-Ionisationssensor (unter Verwendung der Bayard Alpert-Methode der Heißkathoden-Ionisation) und einem Pirani-Sensor ermöglicht Vakuumdruckmessungen ab 5 . 10^-10 bis 1.000 mbar (3,75 . 10^-10 bis 750 Torr).

Es sind zwei Hauptvarianten erhältlich:

ITR 90 mit einem einzelnen Heißkathodenfaden
ITR 200 mit Doppelheizfaden zur Verlängerung der Lebensdauer durch integrierte Redundanz. Bei einem Ausfall wird automatisch der andere Heizfaden verwendet und angezeigt, dass ein Heizfaden ausgefallen ist. Um die Lebensdauer des Messgeräts weiter zu erhöhen, kann ein Entgasungsprogramm ausgeführt werden, das die Leistung der Heizfäden wiederherstellt.

Kontinuierliche Druckmessungen von 1 . 10^-10 mbar/Torr bis zum atmosphärischen Druck
Kompakte Bauweise mit austauschbaren Kathoden und Entgasungsmodus
Hitzebeständiger Sensor für UHV-Messung
Einfach installierbare Analog-, Display-, Digital- und Profibus-Schnittstellen erhältlich
Hohe Wiederholbarkeit innerhalb des typischen Prozessdruckbereichs von 10^-2 bis 10^-9 mbar
Präzise UHV-Druckmessungen mit passiven Messgeräten, die Messungen bis zu 10^-12 mbar/Torr ermöglichen

Serie IONIVAC IE 414/IE 514

Spitzenqualität für UHV-Messung

Unsere Messgeräte der Serie IONIVAC IE sind der Rolls Royce für Messungen im Ultrahochvakuum mit extrem niedrigem Basisdruckwert und hoher Genauigkeit.

Zusammen mit unseren passiven Messgerätesteuerungen werden diese in Umgebungen eingesetzt, in denen detaillierte Druckmessungen in niedrigsten Bereichen erforderlich sind.

Die passiven IONIVAC IE-Sensoren messen mit der Heißkathoden-Ionisationstechnologie auch niedrigste Drücke.

Das IE 414 nutzt die Bayard Alpert-Technologie und ermöglicht Messungen von 2 . 10-11 bis e-2 mbar (1,5e-11 bis e-2 Torr).
Um den niedrigsten Druck zu erreichen, muss der Röntgeneffekt reduziert werden. Dies erreicht man mit unserem Messgerät der Serie IE 514, welches ein Extraktor-Messsystem ist. Mit dieser Sensortechnologie sind Messungen von 2e-12 bis 1e-4 mbar (2e-12 bis 7,5e-5 Torr) möglich.