IONIVAC
Heißkathode Bayard Alpert
Warum IONIVAC?
Unsere IONIVAC-Messgeräte, ob passiv (IE) oder aktiv (ITR), bieten die Möglichkeit, im Ultrahochvakuumbereich zu messen. Dies ermöglicht eine detaillierte Überwachung von Experimenten und die Steuerung der Variablen in Prozessen.
Bei den Heißkathoden-Messgeräten der IONIVAC-Serie emittiert eine heiße Kathode Elektronen, die auf eine Anode prallen. Das gemessene Gas wird somit ionisiert. Der resultierende positive Ionenstrom wird über die dritte Elektrode erfasst, und dieser Strom wird als Signal verwendet, das proportional zum Druck ist.
Die Heißkathoden-Ionisationssensoren bieten einen großen Messbereich von 10-12 bis 10-1 mbar (0,75·10-10 bis 0,75·10-1 Torr), je nach Art der verwendeten Heißkathoden-Technologie.
- Serie IONIVAC ITR90/200
- Serie IONIVAC IE 414/IE 514
Serie IONIVAC ITR90/200
Optimierter Kombinationsgeber
Der INIVAC ITR ist ein optimierter Kombinationsgeber. Die Kombination aus einem Heißkathoden-Ionisationssensor (unter Verwendung der Bayard Alpert-Methode der Heißkathoden-Ionisation) und einem Pirani-Sensor ermöglicht Vakuumdruckmessungen ab 5 . 10-10 bis 1.000 mbar (3,75 . 10-10 bis 750 Torr).
Es sind zwei Hauptvarianten erhältlich:
- ITR 90 mit einem einzelnen Heißkathodenfaden
- ITR 200 mit Doppelheizfaden zur Verlängerung der Lebensdauer durch integrierte Redundanz. Bei einem Ausfall wird automatisch der andere Heizfaden verwendet und angezeigt, dass ein Heizfaden ausgefallen ist. Um die Lebensdauer des Messgeräts weiter zu erhöhen, kann ein Entgasungsprogramm ausgeführt werden, das die Leistung der Heizfäden wiederherstellt.
Für beide Typen der Serie IONIVAC ITR sind analoge, digitale und Profibus-Schnittstellen sowie optionale integrierte Displays für lokale Druckanzeigen erhältlich.
Bei Wartungsarbeiten an diesen Messgeräten bleibt die Kalibrierung des Sensors am Messkopf, sodass das Messgerät beim Austausch des Messrohrs vorkalibriert und sofort genau ist, anstatt eine Nullkalibrierung/Atmosphärenkalibrierung erforderlich zu machen.
Sie erhalten:
- Kontinuierliche Druckmessungen von 1 . 10-10 mbar/Torr bis zum atmosphärischen Druck
- Kompakte Bauweise mit austauschbaren Kathoden und Entgasungsmodus
- Hitzebeständiger Sensor für UHV-Messung
- Einfach installierbare Analog-, Display-, Digital- und Profibus-Schnittstellen erhältlich
- Hohe Wiederholbarkeit innerhalb des typischen Prozessdruckbereichs von 10-2 bis 10-9 mbar
- Präzise UHV-Druckmessungen mit passiven Messgeräten, die Messungen bis zu e-12 mbar/Torr ermöglichen
Serie IONIVAC IE 414/IE 514
Spitzenqualität für UHV-Messung
Unsere Messgeräte der Serie IONIVAC IE sind der Rolls Royce für Messungen im Ultrahochvakuum mit extrem niedrigem Basisdruckwert und hoher Genauigkeit.
Zusammen mit unseren passiven Messgerätesteuerungen werden diese in Umgebungen eingesetzt, in denen detaillierte Druckmessungen in niedrigsten Bereichen erforderlich sind.
Die passiven IONIVAC IE-Sensoren messen mit der Heißkathoden-Ionisationstechnologie auch niedrigste Drücke.
- Das IE 414 nutzt die Bayard Alpert-Technologie und ermöglicht Messungen von 2 . 10-11 bis e-2 mbar (1,5e-11 bis e-2 Torr).
- Um den niedrigsten Druck zu erreichen, müssen Sie die Auswirkungen der Röntgenstrahlen verringern. Dies erfolgt mit unserem Messgerät der Serie IE 514 unter Verwendung der Extraktionsmethode der Heißkathoden-Ionisation. Mit dieser Sensortechnologie sind Messungen von 2e-12 bis 1e-4 mbar (2e-12 bis 7,5e-5 Torr) möglich.
