Anwendungen mit Ultrahochvakuum

Ein Ultrahochvakuum (UHV) bildet die Voraussetzung für hochkomplexe Forschungsarbeiten, die von staatlichen Laboren, Universitäten und in der Privatwirtschaft durchgeführt werden.

Nationale Institute, große globale Forschungsuniversitäten, Branchen wie Verteidigung, Luft- und Raumfahrt, aber auch Produzenten von analytischen Instrumenten verwenden verschiedene Vakuumgeräte, um das erforderliche Vakuum zu erzeugen. Viele dieser Organisationen setzen bei hochspezifischen Vakuumpumpen, Instrumenten und Systemen auf Leybold.

UHV bezeichnet den Vakuumbereich mit Drücken unterhalb von 10⁻⁹ mbar (oder 10^-7 Pa). Ein Ultrahochvakuum wird benötigt, um die Oberflächenkontamination bei vielen Oberflächenanalyseverfahren zu reduzieren. Beispiele sind Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS), Auger-Elektronenspektroskopie (AES), Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) oder Feldelektronenmikroskopie (FEM).

Auch bei der Bildung und Vorbereitung von Dünnfilmen mit strengen Reinheitsanforderungen, z. B. Molekularstrahlepitaxie (MBE) oder Atomlagenabscheidung (ALD) sind auf ein UHV angewiesen.

In der Forschung (z. B. bei Partikelbeschleunigern oder Gravitationswellendetektoren) trägt das Ultrahochvakuum dazu bei, die Wechselwirkungen zwischen den Strahlgasen zu reduzieren und unerwünschte Störeinflüsse aus der Umgebung zu begrenzen. Diese Vakuumhöhen erfordern spezielle Materialien und Pumpverfahren.

Wir bieten eine breite Palette an fortschrittlichen Vakuumlösungen für den Einsatz in anspruchsvollen UHV-Anwendungen. Unsere Komponenten, Systemlösungen und Serviceleistungen haben sich in großen Forschungszentren weltweit als vorteilhaft erwiesen.

M-UHV-Plattformen

Modulare Experimentierplattformen mit Ultrahochvakuum

Zu den automatisierungsbasierten Optionen gehören

100 | 200 | 300 | 400

Höchstdruck

< 5 x 10^-10 mbar

Variation der Substrattemperatur von 100...1000 K
Präzise Temperaturmessung
Modulares Konzept mit UHV-Umschlagstation erleichtert die Montage von Cluster-Systemen
Plug-and-Play-Konfiguration für zahlreiche UHV-Experimentierwerkzeuge
Integrierte Fähnchen-Probenhalter

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Vorteile

Hochenergiephysik

Weitere Informationen

Weltraum

Weitere Informationen

Kryogene Systeme

Turbomolekularvakuumpumpen

Ultrahochvakuumpumpen

ECODRY plus

SCROLLVAC plus

Mehrstufige Rootspumpen	Scrollpumpen	Turbomolekularpumpen (TMP)	Kryopumpen
ECODRY Plus Vorteile:	SCROLLVAC plus Vorteile:	TURBOVAC IX und MAG W IP TURBOLAB Vorteile:	COOLVAC ICL und BL Vorteile:
Ideale Vorpumpe für UHV Niedriger Enddruck Sehr leise mit <52 dB(A), vibrationsarm Keine Verunreinigung durch Öl oder Partikel Viele Jahre wartungsfrei	Ölfrei Leise mit 55 dB(A) Wechsel der Spitzendichtungen durch den Kunden in 10 Min. Sehr niedriger Enddruck	Umfassendes Sortiment an Turbomolekularpumpen und -systemen Kohlenwasserstofffreie Vakuumerzeugung Niedriger Enddruck Hohe Förderleistung für leichte Gase Geringer Wartungsaufwand Plug-and-Play-Pumpensysteme	COOLVAC-Kryopumpen mit hoher Wasserdampfförderleistung und geringem Wartungsbedarf Erzeugung von Rein- und Trockenvakuum COOLPOWER-Kaltköpfe für die Erzeugung kryogener Temperaturen ohne flüssiges Helium oder flüssigen Stickstoff

Mehrstufige Rootspumpen

Scrollpumpen

Turbomolekularpumpen (TMP)

Kryopumpen

ECODRY Plus

Vorteile:

SCROLLVAC plus

Vorteile:

TURBOVAC IX und MAG W IP

TURBOLAB

Vorteile:

COOLVAC ICL und BL

Vorteile:

Ideale Vorpumpe für UHV
Niedriger Enddruck
Sehr leise mit <52 dB(A), vibrationsarm
Keine Verunreinigung durch Öl oder Partikel
Viele Jahre wartungsfrei

Ölfrei
Leise mit 55 dB(A)
Wechsel der Spitzendichtungen durch den Kunden in 10 Min.
Sehr niedriger Enddruck

Umfassendes Sortiment an Turbomolekularpumpen und -systemen
Kohlenwasserstofffreie Vakuumerzeugung
Niedriger Enddruck
Hohe Förderleistung für leichte Gase
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Plug-and-Play-Pumpensysteme

COOLVAC-Kryopumpen mit hoher Wasserdampfförderleistung und geringem Wartungsbedarf
Erzeugung von Rein- und Trockenvakuum
COOLPOWER-Kaltköpfe für die Erzeugung kryogener Temperaturen ohne flüssiges Helium oder flüssigen Stickstoff

Ionen-Getterpumpen und Steuerungen	Titan-Sublimationspumpen	NEG-Pumpen	UHV-Hardware, Ventile, Anschlüsse
TITan und DIGITEL Vorteile:	Vorteile:	Vorteile:	Vorteile:
Kohlenwasserstofffreier Betrieb im XHV-Bereich Keine beweglichen Teile, keine Betriebsgeräusche Absolut vibrationsfrei Hohe Toleranz gegenüber Temperatur, Strahlung und Magnetfeldern	Ideale Pumpe zum Entfernen von Restgasen in UHV-Systemen Sehr hohe Förderleistung bei reaktiven Gasen Einfach und kostengünstig	Hohe Abscheideeffizienz bei H2 (häufigstes Restgas bei UHV/XHV) Vibrationsfreier Betrieb Ölfrei	Große Auswahl an UHV-Ventilen, Hardware und Anschlüssen mit CF-Flansch Werkstoffe mit geringer Gasresorption und niedriger Leckrate Hohe Einbrenntemperatur

Ionen-Getterpumpen und Steuerungen

Titan-Sublimationspumpen

NEG-Pumpen

UHV-Hardware, Ventile, Anschlüsse

TITan und DIGITEL

Vorteile:

Kohlenwasserstofffreier Betrieb im XHV-Bereich
Keine beweglichen Teile, keine Betriebsgeräusche
Absolut vibrationsfrei
Hohe Toleranz gegenüber Temperatur, Strahlung und Magnetfeldern

Ideale Pumpe zum Entfernen von Restgasen in UHV-Systemen
Sehr hohe Förderleistung bei reaktiven Gasen
Einfach und kostengünstig

Hohe Abscheideeffizienz bei H2 (häufigstes Restgas bei UHV/XHV)
Vibrationsfreier Betrieb
Ölfrei

Große Auswahl an UHV-Ventilen, Hardware und Anschlüssen mit CF-Flansch
Werkstoffe mit geringer Gasresorption und niedriger Leckrate
Hohe Einbrenntemperatur

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