Die Wälzkolbenpumpe Leybold RUVAC WS wird von einem luft- oder wassergekühlten Spaltrohrmotor angetrieben. Die verfügbaren Frequenzwandler sind auf die Pumpe abgestimmt, so dass eine mechanische Überlastung ausgeschlossen ist. Bei einer zu hohen Druckdifferenz wird die Drehzahl der Pumpe passend zur Last automatisch reduziert. Die Wälzkolben-Vakuumpumpen der Baureihe RUVAC WSU sind mit einer zusätzlichen integrierten Druckausgleichsleitung und einem Differenzdruckventil ausgestattet. Pumpen dieser Baureihe werden standardmäßig mit einer vertikalen Pumpwirkung geliefert.
Zwei luftgekühlte Baureihen, WS/WSU, mit jeweils vier Pumpengrößen
Hochgradig leckdichte, luftgekühlte Pumpen, die von einem luftgekühlten Spaltrohrmotor angetrieben werden
Mit Mineralöl geschmiert (alternativ mit LVO 400)
Übertemperaturschalter in der Statorspule des Motors
Alle Elastomerdichtungen aus FPM (FKM)/Viton
Integrierte Druckausgleichsleitung mit Differenzdruckventil verhindert Überlastung bei WSU-Modell (optional)
Mit einem Frequenzwandler können die Pumpen RUVAC WS 251 bis 2001 mit 20 bis 100 Hz betrieben werden
Keine Wellendurchführung in die Atmosphäre, daher besonders leckdicht
Die Umstellung von vertikaler auf horizontale Pumpbewegung kann von Kundenseite erfolgen
Die Wälzkolben-Vakuumpumpen der Baureihe WAU/WSU/WHU sind mit einer zusätzlichen integrierten Druckausgleichsleitung und einem Differenzdruckventil ausgestattet.
Die Wälzkolbenpumpe RUVAC gehört zur Standardausrüstung in der architektonischen Glasbeschichtungsindustrie. In Kombination mit etablierten ölgedichteten SOGEVAC-Pumpen erreichen sie die kürzeste Abpumpzeit an den Schleusenkammern. In Kombination mit den trockenlaufenden Pumpen DRYVAC und SCREWLINE gewährleisten sie ein trockenes, zuverlässiges und problemloses Vakuum in den Prozesskammern.
Die Wälzkolbenpumpe RUVAC wird in vielen Anwendungen eingesetzt, um möglichst kurze Zykluszeiten zu erreichen, wo eine schnelle Evakuierung wichtig ist, z. B. bei der Unterstützung von Schleusenkammern oder bei der Hochgeschwindigkeits-Lebensmittelverpackung.
Die Wälzkolbenpumpe RUVAC erreicht beim Evakuieren von Lampen und Isolierflächen vor dem Aufdampfen schnell einen Druck von unter 10-3 mbar.
Die RUVAC wird auch für das Monokristall-Ziehen von Siliziumkristallen, die zur Herstellung des Grundmaterials für Halbleiter und Solarzellen erforderlich sind, verwendet. Wir freuen uns, Ihnen unseren umfassenden Produkt- und Anwendungssupport und unser umfangreiches Know-how anbieten zu können.
Bei uns steht Kundennähe im Fokus. Wenden Sie sich an uns, wenn Sie Fragen haben.