Vakuumbeschichtung von Glasflächen

Architektonische Glasbeschichtung und Automobilglas

Die Glasflächen, die Sie heute sehen, sind ganz anders als das erste Glas, das um 2500 v. Chr. erfunden wurde. Alle modernen Glasscheiben haben eine dünne Beschichtung, die Lichtmenge und Sonnenwärme beeinflusst. Dieses dünnfilmbeschichtete Glas verbessert den Komfort von Gebäuden und Fahrzeugen und kann sogar die Effizienz von Lüftungs- und Klimaanlagen steigern.

Mit einer Glasbeschichtung können auch Farbe und Reflexion einer Glasoberfläche beeinflusst werden. Die Fassaden der Hochhäuser in modernen Städten sind mit vakuumbeschichteter Verglasung ausgestattet, um die Wärmedämmung zu gewährleisten und die gewünschte Farbe für ein ästhetisches Erscheinungsbild zu erzeugen.

Vakuumzerstäubung in der Glasherstellung

Die Vakuumzerstäubung durch PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung) ist der häufigste Prozess bei der Herstellung von beschichtetem Glas. Das Material wird in eine Vakuumkammer gegeben und dann in einem Zerstäubungsprozess bearbeitet, bei dem Metalle, Metalloxide und Nitridschichten unter Verwendung von Prozessgasen wie Argon, Stickstoff und Sauerstoff auf das Glas aufgebracht werden. Bei der Vakuumzerstäubung wird eine Beschichtung auf das Glas aufgebracht, die aus mehreren Schichten mit unterschiedlicher Zusammensetzung und Dicke besteht. Die für diesen Prozess verwendeten Vakuumsysteme benötigen PVD-Geräte, die meist rund um die Uhr im Einsatz sind. Daher brauchen PVD-Gerätehersteller langlebige, robuste Vakuumpumpen, die eine kontinuierliche Produktion unterstützen.

Leybold bietet alle Produkte an, die für Anwendungen mit Vakuumzerstäubung benötigt werden:

Vorpumpen sind schnelle, langlebige Grobvakuumpumpen, die zur Evakuierung von Beschichtungskammern verwendet werden, damit die Glasscheiben in sehr kurzen Zyklen in die Prozesskammer geladen werden können. In der Regel finden zwei bis drei Pumpzyklen pro Minute statt, die den Druck von 1000 auf 1 mbar bringen. Wir bieten eine breite Palette an Grobvakuumpumpen wie SCREWLINE, POWER BOOST, DRYVAC, SOGEVAC oder RUVAC an.
Hochvakuumpumpen sorgen dafür, dass die Vakuumsysteme in der Prozesskammer schnell auf 5x10^-6 mbar gebracht werden und kontinuierlich in einem Druckbereich von 10^-2 bis 10^-3 mbar mit Gaslasten (Argon, Stickstoff und Sauerstoff) arbeiten.
Als Hochvakuumpumpen für Prozesskammern, die vollständig öl- und staubfrei sein müssen, empfehlen wir TURBOVAC i, TURBOVAC MAG und COOLVAC. Für einfachere Prozessbedingungen bieten wir Diffusionspumpen (DIJ und DIP) an. Bedenken Sie, dass das Hochvakuumsystem unabhängig von seinem Aufbau über einen langen Zeitraum mit hohen Lasten von Inert- und Prozessgasmischungen arbeiten können muss.
Wartung und Ersatzteile: Unsere Vakuumpumpen bestehen aus hochwertigen Komponenten. Um einen konstanten Betrieb zu gewährleisten, empfehlen wir dennoch ein regelmäßiges Wartungsprogramm. Unsere Leybold-Techniker unterstützen Sie bei Ihren Prozessen, indem sie Ihnen einen optimalen Wartungsplan empfehlen und Sie zu Ersatzteilen und Verbrauchsmaterialien beraten.
Prozesssteuerung: Unser gesamtes Sortiment an Vakuum-Messsensoren sorgt dafür, dass Sie stets volle Kontrolle über Ihr Vakuumsystem haben. Es gibt für jeden Druckbereich einen Anzeiger, und wir beraten Sie gern bei der Auswahl der besten Lösung für Ihr Vorhaben.
Vollständige Systemintegration: Alle Leybold-Pumpen sind so konzipiert, dass sie perfekt zusammenpassen. Wenn Sie eine erweiterte Prozesssteuerung benötigen, können wir SPS-Lösungen mit verschiedenen elektronischen Steuerungen entwickeln.