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Active capacitance vacuum manometer

CERAVAC CTR

Kapazitive Messgeräte

Warum CERAVAC?

Die kapazitiven Messgeräte der Serie CERAVAC CTR von Leybold nutzen die neuesten INCONEL-Membranen und bieten Stabilität, Korrosionsbeständigkeit und eine längere Lebensdauer. Die Zelle ist auch in der Lage, transienten Druckstößen standzuhalten, was bedeutet, dass das Gerät bei Unfällen nicht beschädigt wird. Es gibt demnach keine Stillstandzeiten aufgrund von Reparatur-/Austauscharbeiten. In Verbindung mit der Auswahl an Messbereichen, die Zehnerstellen von 1.000 bis 0,1 Torr abdecken und somit eine Druckregelung für verschiedenste Bereiche ermöglichen, ist dies die perfekte Lösung für eine hervorragende Druckregelung. 

Das Funktionsprinzip der kapazitiven Messgeräte der Serie CERAVAC CTR basiert auf der Tatsache, dass sich der spezifische Widerstand von Halbleiterwerkstoffen unter mechanischer Belastung verändert. Der Unterschied besteht darin, dass in einem kapazitiven Messgerät die Durchbiegung der Membran elektrisch und nicht mechanisch gemessen wird. Daher sind kapazitive Messgeräte genauer und gelten als Standard für genaue Messungen bei höheren Drücken. Bei Verwendung dieses Prinzips reagieren kapazitive Messgeräte viel schneller als Piezo-Druckmessgeräte und werden daher häufig in Druckregelkreisen verwendet. 

Vorteile für den Anwender

1.000 bis 0,1 Torr Vollskala – 1.000 bis 1e-5 Torr Druckmessung

Ausgezeichnete Genauigkeit mit langfristiger Stabilität und hoher Überdruckfestigkeit

Inconel-Sensor und 316-Edelstahl-Einlassflansch

Sehr guter Temperaturausgleich unabhängig von den Umgebungsbedingungen

Serielle Schnittstelle (RS 232-Protokoll) und analoger Ausgang (0 bis 10 V)

Kalibrierungsabschlussbericht mit jedem Messgerät

CERAVAC CTR 100 N/CTR 101 N

CERAVAC CTR-Sender sind aktive Sensoren mit einer Membran aus Inconel®. 

Dies gewährleistet eine ausgezeichnete Genauigkeit (bis zu 0,12 % rdg) mit hoher Reproduzierbarkeit. 

Aufgrund der widerstandsfähigen Materialzusammensetzung ist das CERAVAC auch für sehr aggressive und korrosive Anwendungen geeignet. Sowohl das CTR 100 N als auch das CTR 101 N sind mit Messbereichen von 1.000 bis 0,1 Torr erhältlich. Dies ermöglicht Messungen von 1.000 bis 10-5 Torr mit hoher Genauigkeit unabhängig von der Umgebung. Der Edelstahlsensor und die mikroprozessorbasierte Elektronik bieten ausgezeichnete Genauigkeit und Reproduzierbarkeit.  

CERAVAC-Messgeräte lassen sich einfach in Ihr Vakuumkontrollsystem integrieren, entweder über die Regler der GRAPHIX-Serie oder über die Ausgänge des Messgeräts. Es gibt sowohl einen analogen linearen Ausgang (0 bis 10 V) als auch einen RS232-V-Ausgang, wodurch Sie die Möglichkeit haben, digital zu kommunizieren und weitere Aspekte des Messgeräts von Ihrer SPS aus zu steuern. 

Die Geräte CTR 100 N und CTR 101 N ermöglichen gasunabhängige Druckmessungen und sind in der Lage, Druckstöße ohne physische Beschädigung oder Kalibrierungsverschiebungen zu tolerieren. Der robuste Sensor ist für die meisten korrosiven Prozesse geeignet, da er sehr beständig gegen Korrosion durch gängige Prozesschemikalien ist. 

Der Sensor des CTR 101 N ist intern beheizt und auf 45 °C geregelt. Dadurch wird nicht nur verhindert, dass bestimmte Gase im Messkopf/in kalten Bereichen des Systems kondensieren, sondern auch die Genauigkeit des Messgeräts erhöht, insbesondere bei der Messung von niedrigeren Drücken. 

Unsere CERAVAC CTR-Messgeräte sind wartungsfrei. Ihre robuste Inconel-Messzelle und die hohe Beständigkeit gegen Nulldrift bedeuten, dass Sie sich darauf verlassen können, dass Sie nach dem Einbau jahrelang genaue Messungen erhalten. Sie werden außerdem mit einem Abschlussprüfzertifikat geliefert, das zeigt, wie die Messgeräte über ihren gesamten Messbereich hinweg funktionieren, sodass Sie sich auf die Leistung verlassen können, die Sie mit jedem Messgerät erhalten. 

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