Vacuum Feedthroughs: rotary or linear motion, liquid feedthrough, electrical feedthroughs, UHV feedthrough

Hardware

Unabhängig von Ihrer Vakuumstufe können wir Ihnen eine große Auswahl an Komponenten für den Anschluss Ihres Systems anbieten.

Von grob bis ultrahoch, wir bieten alle wichtigen Anschlussstandards an, sodass Sie Ihr komplettes Vakuumsystem von uns erhalten können.

Die Vorteile auf einen Blick:

Kurzfristige Verfügbarkeit aller Komponenten

Umweltfreundliche und sichere Verpackung

Kompatibel mit vorhandenen Flanschen des gleichen Systems

Hohe Dichtigkeit bis zu Leckraten von 1 x 10-9 mbar x l/s; alle Komponenten werden einer Helium-Dichtigkeitsprüfung unterzogen

Niedrige Ausgasungsraten der Materialien durch:- Auswahl der richtigen Materialqualität, insbesondere für Vakuumgeräte- ausgezeichnete Reinigungsmethoden

Dokumentation für alle Komponenten verfügbar

ISO-KF
ISO-K/ISO-F
CF
Durchführung

ISO-KF

Der ISO-KF-Anschluss wurde von Leybold entwickelt und ist heute der wichtigste Flanschtyp, der weltweit für kleine Anschlussstücke (bis zu 50 mm Innendurchmesser) in Vakuumanwendungen verwendet wird.

Er ermöglicht ein schnelles Montieren und Austauschen von Komponenten in Vakuumsystemen über die Schnellspannklemmen, daher der alternative Name QF (Quick Flange).

Jeder Anschluss besteht aus zwei symmetrischen ISO-KF-Flanschen, einem Zentrierring mit O-Ring-Dichtung und einem Klemmring. Hochvakuumdichte ISO-KF-Anschlüsse können ohne Werkzeug einfach durch Drehen der Flügelmutter des Klemmrings hergestellt werden.

Er ist in der Regel für Drücke bis 10^-7 mbar/Torr geeignet, hält Drücken bis 5 bar stand und ist bei Verwendung von Metalldichtungen bis 200 °C bzw. bei FPM-Dichtungen bis 150 °C hitzebeständig.

Das Hauptmerkmal ist jedoch die schnelle Montage, ohne dass Werkzeuge für einen vakuumdichten Anschluss erforderlich sind.

ISO-K/ISO-F

Bei größeren Durchmessern finden in der Regel ISO-K- und ISO-F-Anschlussstücke Anwendung.

ISO-K-Anschlussstücke werden häufig bevorzugt, da die Klemmen an jeder Stelle um den Flansch herum und nicht an festen Ankerpunkten positioniert werden können.
ISO-F-Flansche werden eingesetzt, wenn der Flansch aufgrund der höheren Festigkeit auch als Strukturelement verwendet wird.

Diese Flanschtypen haben Innendurchmesser von DN 63 bis DN 630 (Rohrdurchmesser von 70 bis 650 mm). Da der Zentrierring fest in die Zentriernut des Flansches eingesetzt werden kann, lassen sich auch horizontale Anschlüsse schnell und einfach montieren.

Mit dieser Art von Anschluss können bei Verwendung von Metalldichtungen Drücke bis 10-9 mbar erreicht werden. Auch hier besteht bei Verwendung von Metallflanschen bis 200 °C und bei Verwendung von FPM bis 150 °C Hitzebeständigkeit.

CF

Der CF-Flanschanschluss besteht aus zwei geometrisch identischen Flanschen mit einer Flachdichtung aus OFHC-Kupfer, Schrauben und Muttern sowie Unterlegscheiben.

CF-Komponenten bestehen aus ausgewählten, korrosionsbeständigen Edelstahlausführungen. Diese Art von Dichtung ist sehr robust. Deshalb werden CF-Flansche eingesetzt, wenn UHV-Drücke erreicht werden müssen und somit auch Hitzebeständigkeit erforderlich ist (geeignet für alle Metalldichtungen).

Alle Komponenten sind innen geschweißt, um von Anfang an Risse oder Taschenlöcher zu verhindern, die eine sogenannte virtuelle Leckage darstellen könnten.

Erhältlich in Größen von DN 16 CF bis DN 250 CF (ID 16 bis 250 mm). Sie sind häufig an Messgeräten, Ionenpumpen und Turbomolekularpumpen zu finden, die zum Erreichen von Ultrahochvakuumdrücken verwendet werden.

Durchführungen

Die Steuerung von Innenräumen und die Übertragung von Kraft an das Vakuum erfolgt mithilfe von Durchführungen.

Wir haben eine Reihe von Standard- und Hochstromdurchführungen. Unsere Palette umfasst Drehdurchführungen, Flüssigkeitsdurchführungen und Dreh-/Schiebedurchführungen, um Kraft/Objekte in das Vakuumsystem zu übertragen.