Anwendungen mit Ultrahochvakuum
Ein Ultrahochvakuum (UHV) bildet die Voraussetzung für hochkomplexe Forschungsarbeiten, die von staatlichen Laboren, Universitäten und in der Privatwirtschaft durchgeführt werden.
Nationale Institute, große globale Forschungsuniversitäten, Branchen wie Verteidigung, Luft- und Raumfahrt, aber auch Produzenten von analytischen Instrumenten verwenden verschiedene Vakuumgeräte, um das erforderliche Vakuum zu erzeugen. Viele dieser Organisationen setzen bei hochspezifischen Vakuumpumpen, Instrumenten und Systemen auf Leybold.
UHV bezeichnet den Vakuumbereich mit Drücken unterhalb von 10−9 mbar (oder 10-7 Pa). Ein Ultrahochvakuum wird benötigt, um die Oberflächenkontamination bei vielen Oberflächenanalyseverfahren zu reduzieren. Beispiele sind Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS), Auger-Elektronenspektroskopie (AES), Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) oder Feldelektronenmikroskopie (FEM).
Auch bei der Bildung und Vorbereitung von Dünnfilmen mit strengen Reinheitsanforderungen, z. B. Molekularstrahlepitaxie (MBE) oder Atomlagenabscheidung (ALD) sind auf ein UHV angewiesen.
In der Forschung (z. B. bei Partikelbeschleunigern oder Gravitationswellendetektoren) trägt das Ultrahochvakuum dazu bei, die Wechselwirkungen zwischen den Strahlgasen zu reduzieren und unerwünschte Störeinflüsse aus der Umgebung zu begrenzen. Diese Vakuumhöhen erfordern spezielle Materialien und Pumpverfahren.
Wir bieten eine breite Palette an fortschrittlichen Vakuumlösungen für den Einsatz in anspruchsvollen UHV-Anwendungen. Unsere Komponenten, Systemlösungen und Serviceleistungen haben sich in großen Forschungszentren weltweit als vorteilhaft erwiesen.
M-UHV-Plattformen
Modulare Experimentierplattformen mit Ultrahochvakuum
Zu den automatisierungsbasierten Optionen gehören
100 | 200 | 300 | 400
Höchstdruck
< 5 x 10-10 mbar
- Variation der Substrattemperatur von 100...1000 K
- Präzise Temperaturmessung
- Modulares Konzept mit UHV-Umschlagstation erleichtert die Montage von Cluster-Systemen
- Plug-and-Play-Konfiguration für zahlreiche UHV-Experimentierwerkzeuge
- Integrierte Fähnchen-Probenhalter
- Verwandte Anwendungen
- Ähnliche Produkte
- Vorteile
| Mehrstufige Rootspumpen | Scrollpumpen | Turbomolekularpumpen (TMP) | Kryopumpen |
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ECODRY Plus Vorteile: |
SCROLLVAC plus Vorteile: |
TURBOVAC IX und MAG W IP TURBOLAB Vorteile: |
COOLVAC ICL und BL Vorteile: |
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| Ionen-Getterpumpen und Steuerungen | Titan-Sublimationspumpen | NEG-Pumpen | UHV-Hardware, Ventile, Anschlüsse |
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TITan und DIGITEL Vorteile: |
Vorteile: |
Vorteile: |
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