Anwendungen mit Ultrahochvakuum

Ein Ultrahochvakuum bildet die Voraussetzung für hochkomplexe Forschungsarbeiten in staatlichen Laboren, Universitäten und der Privatwirtschaft.

Staatliche Labore, große Universitäten und die Industrie setzen eine breite Palette an Vakuumgeräten an, um die erforderlichen Vakuumwerte zu erreichen.

Viele dieser Organisationen vertrauen auf unsere hochspezifischen Vakuumpumpen, -geräte und -systeme.

UHV bezeichnet den Vakuumbereich mit Drücken unterhalb von 10⁻⁹ mbar (oder 10^-7 Pa). Ein Ultrahochvakuum wird benötigt, um die Oberflächenkontamination bei vielen Oberflächenanalyseverfahren zu reduzieren. Beispiele sind Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS), Auger-Elektronenspektroskopie (AES), Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) oder Feldelektronenmikroskopie (FEM).

Auch bei der Bildung und Vorbereitung von Dünnfilmen mit strengen Reinheitsanforderungen, z. B. Molekularstrahlepitaxie (MBE) oder Atomlagenabscheidung (ALD) sind auf ein UHV angewiesen.

In der Forschung (z. B. bei Partikelbeschleunigern oder Gravitationswellendetektoren) trägt das Ultrahochvakuum dazu bei, die Wechselwirkungen zwischen den Strahlgasen zu reduzieren und unerwünschte Störeinflüsse aus der Umgebung zu begrenzen. Diese Vakuumhöhen erfordern spezielle Materialien und Pumpverfahren.

Wir bieten eine breite Palette an fortschrittlichen Vakuumlösungen für den Einsatz in anspruchsvollen UHV-Anwendungen. Unsere Komponenten, Systemlösungen und Serviceleistungen haben sich in großen Forschungszentren weltweit als vorteilhaft erwiesen.

M-UHV-Plattformen

Modulare Experimentierplattformen mit Ultrahochvakuum

Zu den automatisierungsbasierten Optionen gehören

100 | 200 | 300 | 400

Höchstdruck

< 5 x 10^-10 mbar

Variation der Substrattemperatur von 100...1000 K
Präzise Temperaturmessung
Modulares Konzept mit UHV-Umschlagstation erleichtert die Montage von Cluster-Systemen
Plug-and-Play-Konfiguration für zahlreiche UHV-Experimentierwerkzeuge
Integrierte Fähnchen-Probenhalter

Unsere Vorteile

Ideale Vorpumpe für UHV
Niedriger Enddruck
Sehr leise mit <52 dB(A), vibrationsarm
Keine Verunreinigung durch Öl oder Partikel
Viele Jahre wartungsfrei

Ölfrei
Leise mit 55 dB(A)
Wechsel der Spitzendichtungen durch den Kunden in 10 Min.
Sehr niedriger Enddruck

Umfassendes Sortiment an Turbomolekularpumpen und -systemen
Kohlenwasserstofffreie Vakuumerzeugung
Niedriger Enddruck
Hohe Förderleistung für leichte Gase
Geringer Wartungsaufwand
Plug-and-Play-Pumpensysteme

COOLVAC-Kryopumpen mit hoher Wasserdampfförderleistung und geringem Wartungsbedarf
Erzeugung von Rein- und Trockenvakuum
COOLPOWER-Kaltköpfe für die Erzeugung kryogener Temperaturen ohne flüssiges Helium oder flüssigen Stickstoff