Vakuum für Solaranwendungen

Die produktionserprobten Vakuumlösungen von Leybold verbessern die Reinheit, Qualität und Sicherheit von Solarzellen und -modulen.

Angesicht des stetig wachsenden Energiebedarfs und der Notwendigkeit, den Verbrauch fossiler Brennstoffe zu begrenzen, gewinnt die Solarenergie zunehmend an Bedeutung. Weltweit wird verstärkt auf erneuerbare Energien, wie Wind- und Solarenergie gesetzt. Aufgrund der steigenden Nachfrage sind die Forschungen zu Solarzellentechnologien intensiv, was zu erheblichen Kostensenkungen und technologischen Verbesserungen der Effizienz von Solarzellen und -modulen sowie zu erhöhter Lebensdauer geführt hat.

Solarmodule sind ein wichtiger Schritt auf dem Weg zur nachhaltigen Energieerzeugung. Sie könnten beispielsweise auch die Energiequelle für Elektrolyseure werden, die grünen Wasserstoff für zukünftige von Brennstoffzellen angetriebene Fahrzeugflotten erzeugen.

Leybold bietet das ideale Produkt für jeden Vakuumschritt im Solarproduktionsprozess, ob auf Waferbasis, Dünnschicht oder einer Kombination aus beidem, wie in der neuen Technologie des Heteroübergangs zu sehen.

Unsere Erfahrung mit Vakuum – Ihr Vorteil

Wir bieten die perfekte Vakuumlösung für den gesamten Produktionsprozess von Solarzellen und -modulen. Je nach spezifischen und individuellen Prozessanforderungen stehen verschiedene Pumpentypen und spezifische angepasste Pumpenlösungen zur Verfügung oder können nach Kundenvorgabe angepasst werden.

Trockenverdichtende Vakuumpumpen

Bei der Produktion von Solarzellen und -modulen sind Reinheit und ölfreie Lösungen von entscheidender Bedeutung. Trockenverdichtende Pumpen scheiden kein Öl ab und vermeiden das potenzielle Risiko, dass Öl in die Prozesskammer gelangt, wodurch die höchste Prozessqualität für das Produktionssystem sichergestellt wird. Sie optimieren Betriebszeiten, minimieren Kosten und Wartung und optimieren die Lebensdauer. Der Einsatz von Leybolds trockenverdichtenden Pumpen gewährleistet die Produktion hochwertiger Solarzellen.

PowerBoost

PowerBoost und PowerBoost Plus wurden für Anwendungen mit kurzen Zyklen entwickelt und optimiert und haben einen Druck von bis zu 0,01 mbar. Diese Systeme eignen sich für alle intervallbasierten Anwendungen, die extrem schnelle Abpumpgeschwindigkeiten gefolgt von Leerlaufzeiten erfordern. Die automatische Erkennung der Zykluszeiten macht sie zudem extrem flexibel und anpassungsfähig an rotierende Produkte und variable Bedingungen.

Kombination aus trockener und ölfreier Schrauben-/Rootstechnologie -> kann mit Staub umgehen und ist für schnelles Abpumpen optimiert
Geringer Platzbedarf -> „ein Satz weniger“ im Vergleich zu früheren Pumpenkonfigurationen
Sehr geräuscharm -> durch ein intelligentes Pumpensystem, das versteht, was die Beschichtungsanlage als Nächstes tun wird
Energiesparend -> die innovative Energiespareinheit senkt den Energieverbrauch.

PowerBoost

SCREWLINE

Mit ihrer internen Rotorkühlung ist die trockenverdichtende Schraubenpumpe SCREWLINE SP 630 ideal für anspruchsvolle Solarlaminierungsanwendungen, da sie Abgase aus der Entgasung von Monomeren, Oligomeren und Weichmachern aus den Polymer-Materialien EVAC (Ethylen-Vinylacetat), POE (Poly-Octen-Ethylen) und PVB (Polyvinylbutyral) pumpen kann.

SP 630 trockenverdichtende Schraubentechnik -> seit 2004 in der Produktion bewährte Technologie zur Solarlaminierung
Branchenführende Pumpen für eine Vielzahl von Laminierprozessen
Luftkühlung -> Schnelle und einfache Installation
Pumpenkammer kann vor Ort gereinigt werden -> keine Stillstandzeiten durch Vakuumpumpen

SCREWLINE

DRYVAC

Unsere DRYVAC ist eine kompakte, wassergekühlte und leise trockenverdichtende Schraubenpumpe, die in Schwerindustrieumgebungen installiert werden kann. Die Pumpe wurde für die Handhabung der Gase entwickelt, die in PECVD- (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, von engl. Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition) und PVD-Dünnschichtbeschichtungsprozessen wie CIPS, CdTe und Heteroübergang verwendet werden.

Trockene und ölfreie Schraubentechnologie -> kann mit Staub, Dotiergasen und Fluorätzungen umgehen
Extrem kompakt -> einfache Installation in Produktionslinien
Sehr geräuscharm -> bessere Arbeitsumgebung
Geringe Wärmeabgabe -> kann für verbesserte Maschinenleistung örtlich begrenzt werden
Energiesparend -> die innovative Energiespareinheit senkt den Energieverbrauch.

DRYVAC

RUVAC

Zum Pumpen großer Gasmengen oder um niedrige Vakuumdrücke zu erreichen und aufrecht zu erhalten, sind leistungsstarke Boosterpumpen erforderlich. Unsere klassischen Boosterpumpen RUVAC WA(U) und WS(U) zusammen mit unserer innovativen und hermetisch abgedichteten RUVAC WH(U) können entweder mit einem Direktantrieb arbeiten oder von einem Frequenzwandler angetrieben werden, wodurch sie dauerhaft mit einer höheren Drehzahl laufen können, um ein größeres Saugvermögen zu erreichen. Mit einer Kapazität von 250 bis 7000 m³/h können wir Solarvakuumsysteme aller Größen bereitstellen.

Trockene und ölfreie Rootstechnologie -> kann mit Staub, Dotiergasen und Fluorätzungen umgehen
Sehr kompakt -> einfache Montage zusätzlich zu einer groben Pumpe
Produktionserprobt: das Standard-Arbeitstier für alle Solaranwendungen
Geringe Wärmeabgabe -> wasser- und luftgekühlte Ausführungen erhältlich

RUVAC

CLAWVAC

Für die dritte Stufe von Solarlaminatoren sind CLAWVAC-Pumpen mit Edelstahlklauen aufgrund ihrer Fähigkeiten zur Reinigung vor Ort ideal. Sie sind eine gute technische Alternative zur etablierten SCREWLINE SP 630 F.

Edelstahlklauen -> korrosionsfrei, selbst bei hoher Luftfeuchtigkeit und bei Resten von Monomeren, Oligomeren und Weichmachern [not sure what you mean here]
Minimaler Wartungsbedarf -> niedrige Gesamtbetriebskosten

CLAWVAC

VARODRY

Mit ihrem zu 100 % ölfreien Betrieb verbessert unsere VARODRY nicht nur die Sauberkeit des Vakuums, sondern erreicht dank ihrer Robustheit in anspruchsvollen Solarzellenbeschichtungs- und Solarkristallzuchtverfahren längere Betriebszeiten als ölgedichtete Pumpen.

Trockenverdichtende Schraubentechnologie -> produktionserprobt für Inline-Solarzellenbeschichtung (Kryopumpen-Regeneration, Puffer, Prozess und Tempern) und Kristallzüchtung (Siliziumkarbid)
Luftgekühlt -> Schnelle und einfache Installation
Minimaler Wartungsbedarf -> niedrige Gesamtbetriebskosten

VARODRY

SOGEVAC

Unsere branchenführenden und bewährten ölgedichteten SOGEVAC-Drehschieberpumpen sind der ölgedichtete Standard für große PVD-Systeme zur architektonischen Glasbeschichtung. Es handelt sich um eine effiziente Pumpe für schnelles Abpumpen an Schleusen und bietet einen im Vergleich zu trockenverdichtenden Schraubenpumpen niedrigeren Preis.

Klassenbeste Drehschieberpumpen -> bewährte Technologie für Inline-PVD-Beschichtungsanlagen an Schleusen
Hohe Pumpgeschwindigkeiten bei allen Drücken -> schnelles und effizientes Abpumpen ohne Auswirkung auf die Pumpenleistung
Niedrige Betriebstemperaturen und optimiertes Öl für Schleusenanwendungen -> längere Ölwechselintervalle
Modernste Abgasfiltertechnologie -> sauberes Gas im Abgasbereich

SOGEVAC

TRIVAC

Unsere TRIVAC-PFPE-Versionen sind die ölgedichtete Standardlösung für Solarkristallzüchtung und insbesondere für Siliziumkarbid-Anwendungen.

Branchenführende Drehschieberpumpen -> produktionserprobte Technologie für die Kristallzüchtung
Weltweit im Einsatz -> zusätzlich zur Zukunfts-Technologie mit Siliziumkarbid
Luftgekühlt -> Schnelle und einfache Installation

TRIVAC

Helium-Lecksucher

Leybold bietet ein umfassendes Sortiment an PHOENIX Helium-Lecksuchern und individuell anpassbaren Spezialsystemen an.

PHOENIX QUADRO -> ein tragbarer Helium-Lecksucher, entweder mit einer ölgedichteten oder trockenverdichtenden Leybold-Vakuumpumpe
PHOENIX VARIO -> das kleinste Mitglied der PHOENIX-Reihe, das ohne Vakuumsystem geliefert wird.
Individuell anpassbare Vakuumsysteme: Wenden Sie sich bitte an Leybold, und wir setzen es um.

Helium-Lecksucher