LEYSPEC residual gas analyzer

LEYSPEC

Restgasanalysatoren

All-in-One-RGA mit einfacher und intuitiver Bedienung

Mit einem Tastendruck können die Partialdrücke von wichtigen Standardgasen angezeigt und, wenn Ihr Prozess ein zusätzliches Gas beinhaltet, dieses dem erweiterten Anzeigekanal zugeordnet werden. 

Aufgrund der hohen Ausheiztemperaturen ist der LEYSPEC ideal für den Einsatz in anspruchsvollen Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen geeignet. 

Was sind Ihre Vorteile?

Kompakt und einfach

Alle Modelle verfügen über:

  • Integriertes Display für einfache und schnelle Bedienung
  • LEYSPEC-Software für fortschrittliche Prüfverfahren und Restgasanalyse. 

Die LEYSPEC-Produktreihe ist kompakt und in jeder Ausrichtung montierbar. Sie ist perfekt für verschiedene Einbausituationen geeignet.

Dank der intuitiven Benutzeroberfläche ist der Restgasanalysator LEYSPEC sehr einfach zu bedienen. Mit einem Tastendruck können Sie die Partialdrücke von Schlüsselgasen anzeigen und, wenn Ihr Prozess ein zusätzliches Gas beinhaltet, dieses dem erweiterten Anzeigekanal zuordnen.

LEYSPEC-Software

Die intelligente und intuitive LEYSPEC-Software ergänzt das Angebot.

Die benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht eine Vielzahl von Anwendungsbereichen, von einfacher Verwendung bis hin zu komplexen Analysen. Die Erstellung von Rezepten ist so einfach, wie sie sein sollte: schnell und bequem.

Während des Betriebs wird der Gesamtdruck angezeigt, und es können verschiedene Ansichten ausgewählt werden, die dem Zweck der Analyse am besten entsprechen. Wählen Sie zwischen Scanmodus, Trendmodus oder Analogmodus.

Hohe Empfindlichkeit für eine genaue Restgasanalyse

Die Produktreihe LEYSPEC ermöglicht die Erkennung selbst sehr geringer Spuren von Verunreinigungen oder Prozessgasen.

Sie überprüft die Gasreinheit, indem sie die Zusammensetzung ermittelt und anzeigt. Auf diese Weise werden Gasverunreinigungen identifiziert und weitere Prozess- und Ausrüstungssteuerungsvorgänge zur Optimierung von Prozessleistung und Ertrag durchgeführt.

Flexibel

Die neue LEYSPEC-Serie ist eine hervorragende Lösung für alle Anwendungen in der Massenspektrometrie.

Die Produktreihe bietet Lösungen für 100, 200 oder 300 amu – je nach Prozessanforderungen.

Erweiterte Funktionen

Vorinstallierte Softwarefunktionen ermöglichen viele zusätzliche Funktionen und Prüfverfahren, wie z. B. einen Heliumlecktest oder die Einstellung von Warnungen und Fehlerstufen für auswählbare Gase.

Für die einfache Prozessentgasung nach dem Start oder der Exposition gegenüber der Atmosphäre ist eine programmierbare Entgasungsfunktion implementiert.

Die Hintergrundunterdrückung ermöglicht die Fokussierung auf die wichtigen Spitzenwerte.

Hohe Ausheiztemperaturen bis 300 °C

Durch die hohen Ausheiztemperaturen eignet sich LEYSPEC hervorragend für anspruchsvolle Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen.

Selbst in rauen Umgebungen kann eine zuverlässige Gasanalyse durchgeführt werden.

Funktionsweise

Bei der Messzelle handelt es sich um ein Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter. Die von den Glühdrähten emittierten Elektronen beschleunigen aufgrund einer elektrischen Vorspannung in Richtung der Quelle. Die sich schnell bewegenden Elektronen kollidieren mit den Gasmolekülen, wodurch die Elektronen ionisiert werden. Positive Gasionen geben ihren Strom an den negativ geladenen Ionensammler ab. Der Ionenstrom ist proportional zum Druck. Je mehr Ionen vorhanden sind, desto höher ist der Ionenstrom. Die Quadrupol-Anordnung besteht aus vier Edelstahlstäben. An allen Stäben werden ein Gleichstrom und eine Hochfrequenzspannung angelegt. Dadurch entsteht ein komplexes Magnetfeld. Das Magnetfeld wird durch Variieren der Spannung gesteuert. 

Die resultierende Schwingung lässt nur Ionen einer bestimmten Masse „durchfliegen“ und den Detektorteil erreichen: 

  • Ionen mit einem angemessenen Masse-zu-Ladung-Verhältnis (m/e) oszillieren in einer stabilen dreidimensionalen Bahn durch die Stäbe. 
  • Ionen mit falschem m/e schwingen außer Kontrolle und kollidieren mit den Polen.

Die Ionen erreichen den Ionensammler und liefern einen Ausgangsstrom, der ein Maß für die relative Menge der durch den Filter gelangten Ionen ist.Auf dem Gerät oder in der Software wird schließlich der Ionenstrom oder Partialdruck gegen das m/z-Verhältnis angezeigt.

Auf der Grundlage des beschriebenen Funktionsprinzips überprüft der RGA LEYSPEC die Gasreinheit, indem er die Gaszusammensetzung ermittelt und anzeigt. So kann der LEYSPEC Gasverunreinigungen identifizieren und weitere Prozess- und Anlagensteuervorgänge durchführen, um die Prozessleistung und den Ertrag insgesamt zu optimieren.

Modulare Plattform, einfache Wartung

Aufgrund seiner hohen Empfindlichkeit ermöglicht der Restgasanalysator LEYSPEC die Erkennung von sehr kleinen Spuren von Verunreinigungen oder Prozessgasen. Das Produktsortiment umfasst Lösungen für 100, 200 und 300 amu. Eine Ausheiztemperatur von bis zu 300 °C für den Einsatz in rauen Umgebungen ist möglich.

Der LEYSPEC lässt sich mit einer eigenen Software und einer integrierten Steuer- und Anzeigeeinheit intuitiv bedienen. Eine einfache Restgasanalyse ist ohne Anschluss an einen Computer möglich. Wichtige Gase können auf Knopfdruck angezeigt werden, und es steht ein erweitertes Display zur Verfügung, damit zusätzliche Gase angezeigt werden können.

Er eignet sich auch für anspruchsvolle Prüfverfahren und Restgasanalysen in Hochvakuumsystemen.

Mit den vorinstallierten Funktionen des LEYSPEC, wie Helium-Leckprüfung, Warnungen und Fehlerstufen für wählbare Gase sowie eine Entgasungsfunktion nach dem Start oder Entlüften, ist dieser Restgasanalysator eine großartige Ergänzung für jedes System.

LEYSPEC - Residual Gas Analyser

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