Vakuumlösungen für die Rolle-zu-Rolle-Beschichtung
Dünnfilmbeschichtung flexibler Materialien
Haben Sie sich schon einmal gefragt, wie flexible Elektronikkomponenten und Solarmodule hergestellt werden? Zu den häufigsten modernen Beschichtungsprozessen gehört das Rolle-zu-Rolle-Verfahren. Es dient als Produktionsmethode für eine große Anzahl von Materialien und Produkten.
Rolle-zu-Rolle-Maschinen können alle flexiblen Materialien (häufig Polymere oder Metalle) mit einer Beschichtung überziehen. Die Beschichtung soll die Eigenschaften der Komponenten ändern oder sie vor Verschleiß bzw. den Umgebungsbedingungen schützen. Die Anwendungen sind zahllos. Hier einige Beispiele für gewalzte Materialien, die mithilfe eines Vakuums beschichtet werden:
Vakuumsysteme für PVD, PECVD und thermische Verdampfung
Es gibt drei Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsverfahren, die ein Vakuum erfordern: die physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), die plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) und die thermische Verdampfung. Sie alle benötigen Vakuumbedingungen im Druckbereich von 10-1 bis 10-3 mbar.
Diese Beschichtungsanwendungen sind sehr anspruchsvoll und stellen spezielle Herausforderungen an Vakuumpumpen, darunter:
- Schnelle Kammerevakuierung, um wertvolle Prozesszeit zu sparen
- Hoher Gasdurchsatz
- Je nach Endprodukt ein öl- und staubfreies Vakuum, um höchste Produktqualität zu erreichen
- Zuverlässiger Betrieb
- Optimale Betriebskosten (TCO)
- Präzise Prozesssteuerung
Wir bei Leybold können auf langjährige Erfahrungen bei Vakuumlösungen für Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsanwendungen zurückblicken und haben ein umfassendes Fachwissen zusammengetragen, um Vakuumpumpentechnologien anzubieten, die sämtliche Anforderungen an diese Anwendungen erfüllt.
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