Vakuummessgeräte mit großem Bereich

Vakuummessung für jeden Prozess

Erhältlich in aktiver und passiver Konfiguration. Alle unsere Messgeräte lassen sich einfach über eine unserer speziellen aktiven Messsteuerungen integrieren: GRAPHIX oder DISPLAY.

Die THERMOVAC- und PENNINGVAC-Messgeräte sind auch mit unseren TURBO.CONTROLi-Pumpen- und -Messgerätsteuerungen kompatibel.

Alternativ können sie mit ihren einfachen Ausgängen für 0–10 V/serielle Kommunikation einfach in Ihre SPS integriert werden

THERMOVAC
PENNINGVAC
IONIVAC

Pirani-Vakuummessgerät THERMOVAC

Das Arbeitspferd der Vakuummessung

Breites Spektrum, Robustheit für die meisten Umgebungen, geeignet für grobe bis mittlere Vakuumdrücke.

Vakuummessgerät PENNINGVAC für Kaltkathoden-Ionisation

Messung von 10^-2 bis 10^-9 mbar/Torr

Häufig in Verbindung mit Pirani-Messgeräten zur Messung von Systemen mit Hochvakuumpumpen.

IONIVAC-Vakuummessgerät mit Heißkathodenionisation

Genaue Messung von mittlerem bis extrem hohem Vakuumdruck.

Die Heißkathodenionisation unterscheidet sich von dem Kaltkathodenverfahren dadurch, dass in den Sensorkopf integrierte heiße Filament-Ionen vorhanden sind. Mit dieser Technologie können mittlere bis extrem hohe Vakuumdrücke (10^-12 mbar/Torr) gemessen werden, wobei jedoch der Sensorkopf, der mehr Schutz erfordert, mit höheren Betriebskosten verbunden ist.

Wie bei Technologien mit kalter Kathode reicht der Messbereich nur bis ca. 10^-2 mbar/Torr, weshalb sie normalerweise mit einem integrierten Pirani-Sensor kombiniert werden, um eine Messung des gesamten Bereichs in einem einzigen Messgerät zu ermöglichen.

Außerdem gibt es verschiedene Versionen der Heißkathodentechnologie, von denen die Haupttypen Bayard-Alpert (ITR oder IE 414) und Extraktor (IE 514) sind. Die Extraktor-Technologie bietet die niedrigste Druckmessung mit der Möglichkeit, bis zu 10^-12 mbar/Torr zu messen