Vakuummessgeräte mit großem Bereich
Vakuummessung für jeden Prozess
Erhältlich in aktiver und passiver Konfiguration. Alle unsere Messgeräte lassen sich einfach über eine unserer speziellen aktiven Messsteuerungen integrieren: GRAPHIX oder DISPLAY.
Die THERMOVAC- und PENNINGVAC-Messgeräte sind auch mit unseren TURBO.CONTROLi-Pumpen- und -Messgerätsteuerungen kompatibel.
Alternativ können sie mit ihren einfachen Ausgängen für 0–10 V/serielle Kommunikation einfach in Ihre SPS integriert werden
- THERMOVAC
- PENNINGVAC
- IONIVAC
Pirani-Vakuummessgerät THERMOVAC
Das Arbeitspferd der Vakuummessung
Breites Spektrum, Robustheit für die meisten Umgebungen, geeignet für grobe bis mittlere Vakuumdrücke.
Vakuummessgerät PENNINGVAC für Kaltkathoden-Ionisation
Messung von 10-2 bis 10-9 mbar/Torr
Häufig in Verbindung mit Pirani-Messgeräten zur Messung von Systemen mit Hochvakuumpumpen.
IONIVAC-Vakuummessgerät mit Heißkathodenionisation
Genaue Messung von mittlerem bis extrem hohem Vakuumdruck.
Die Heißkathodenionisation unterscheidet sich von dem Kaltkathodenverfahren dadurch, dass in den Sensorkopf integrierte heiße Filament-Ionen vorhanden sind. Mit dieser Technologie können mittlere bis extrem hohe Vakuumdrücke (10-12 mbar/Torr) gemessen werden, wobei jedoch der Sensorkopf, der mehr Schutz erfordert, mit höheren Betriebskosten verbunden ist.
Wie bei Technologien mit kalter Kathode reicht der Messbereich nur bis ca. 10-2 mbar/Torr, weshalb sie normalerweise mit einem integrierten Pirani-Sensor kombiniert werden, um eine Messung des gesamten Bereichs in einem einzigen Messgerät zu ermöglichen.
Außerdem gibt es verschiedene Versionen der Heißkathodentechnologie, von denen die Haupttypen Bayard-Alpert (ITR oder IE 414) und Extraktor (IE 514) sind. Die Extraktor-Technologie bietet die niedrigste Druckmessung mit der Möglichkeit, bis zu 10-12 mbar/Torr zu messen
