Vakuumanlagen für Beschichtungsanwendungen
Ob Verschleißschutz an mechanischen Bauteilen, Beschichtung von optischen Bauteilen oder Metallisierung von Kunststoffoberflächen – all diese Prozesse finden unter Vakuumbedingungen statt.
Vakuumbeschichtungslösungen
Die Vakuumbeschichtung ist eine der effektivsten Methoden, um Oberflächen verschiedener Produkte mit Hochleistungsbeschichtungen zu versehen. Dadurch erhöht sich der Wert für den Kunden. Die Vakuumbeschichtung ist ein High-Tech-Segment des Produktionsmarktes, das sich im steten Wandel befindet und in dem die Lösungen von Leybold maßgebend sind.
Vakuumbeschichtungen werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt:
- Beschichtung von niedrigemittierendem Glas zur Reflexion der Sonnenenergie bei 100 % Transparenz. Die so genannte Low-E-Beschichtung ist ein energieeffizientes Produkt, das den Energieverbrauch senkt.
- Beschichtung von Architekturglas zur Verbesserung der Ästhetik moderner Hochhäuser durch transparente Lichtfassaden, wobei die Eigenschaften des niedrigemittierenden Glases erhalten bleiben.
- Verschleißfeste und harte Beschichtungen zur Optimierung von Schneidwerkzeugen mit hohen Schnittgeschwindigkeiten.
- Funktionale Beschichtungen für die Produktion von Solarmodulen, Displays und Touchscreen-Sensoren, um moderne Geräte ständig weiterzuentwickeln und die Qualität zu verbessern.
- Spezielle optische Beschichtungen für die Herstellung von optischen Filtern, Linsen, reflektierenden Oberflächen und Antireflexionsflächen.
- Dekorative, stark reflektierende Beschichtungen für hochwertige Oberflächen von Teilen und Produkten.
Die Anforderungen am Markt für Vakuumbeschichtungen treiben Leybold konsequent an, optimierte Produkte und kundenspezifische Vakuumlösungen anzubieten: Vorvakuumpumpen, Hochvakuumpumpen, Vakuumsteuerungen, Vakuummessgeräte und Leckerkennungssysteme.
Vakuumpumpen und Lösungen von Leybold bieten
Produkte für Beschichtungsanwendungen
- DRYVAC
- DRYVAC PowerBoost
- RUVAC
- SOGEVAC
- TURBOVAC MAGiNTEGRA
- TURBOVAC i
- Diffusionspumpen
- COOLVAC
- Vakuum-Messsensoren
- Dichtheitsprüfung
- Vakuumanschlüsse und -ventile
DRYVAC
Eine moderne kosten- und energieeffiziente Baureihe von trockenlaufenden Schraubenvakuumpumpen mit beispielloser Robustheit. Die DRYVAC kann wiederholte Schockentlüftungen während des Ladevorgangs ebenso bewältigen wie hohe Staubgasbelastungen während des Zerstäubungsprozesses. DRYVAC-Pumpen sind nächste Generation von Vorvakuumpumpen und heute bereits Industriestandard. Ihre Eigenschaften entsprechen den aktuellen Marktanforderungen, denn sie sind auf einen umweltfreundlichen Betrieb ausgelegt und ermöglichen eine bequeme und transparente Serviceplanung.
DRYVAC PowerBoost
Manchmal benötigen Sie eine vollständig integrierte Lösung, zum Beispiel Schleusenkammern für Inline-Beschichtungsanlagen, die starke Energieschübe benötigen. Die DRYVAC PowerBoost ist eine Kombination aus einer DRYVAC- und einer RUVAC-Boosterpumpe mit einem intelligenten elektronischen Modul. Dieses System passt die Leistung der RUVAC-Boosterpumpe automatisch an, um kürzere Zykluszeiten und einen geringeren Energieverbrauch zu erreichen. Für Reinraumumgebungen (TFT, SEMI und FPD) liefert die DRYVAC PowerBoost die bestmögliche Leistung bei einem sehr kleinen ökologischen Fußabdruck.
RUVAC
Das Fördern großer Mengen erfordert leistungsstarke Boosterpumpen. Unsere klassischen Boosterpumpen RUVAC WA(U) und WS(U) sowie unsere innovative, hermetisch abgedichtete RUVAC WH(U) können entweder mit einem Direktantrieb arbeiten oder durch einen Frequenzumrichter angetrieben werden, der es ihnen ermöglicht, dauerhaft mit einer höheren Drehzahl und einem höheren Saugvermögen zu laufen.
Mit einer Kapazität von 250 bis 7000 m³/h können wir Vakuumbeschichtungsanlagen aller Größenordnungen versorgen.
SOGEVAC
Die Drehschieberpumpen der SOGEVAC-Baureihe sind bewährte Vorvakuumpumpen für Beschichtungsanwendungen. Bereits seit mehreren Jahrzehnten sind die ölabgedichteten SOGEVAC-Pumpen die erste Wahl für Kunden, die zuverlässige Vakuumpumpen mit der besten Eignung für Beschichtungsanwendungen suchen. Üblicherweise finden Sie SOGEVAC-Pumpen in Systemen mit RUVAC-Drehkolbengebläsen. Die SOGEVAC-Baureihe ist in einem breiten Spektrum von Saugvermögen erhältlich, von 16 bis 750 m³/h, so dass diese Pumpenfamilie in Verbindung mit kleinen Tisch-Zerstäubungsanlagen für große industrielle Zerstäubungsmaschinen eingesetzt werden kann.
TURBOVAC MAG
Magnetgelagerte Turbomolekularvakuumpumpen vom Typ TURBOVAC MAGiNTEGRA sind produktionserprobte Hochvakuumpumpen, die ein kohlenwasserstofffreies Vakuum für anspruchsvolle Anwendungen erzeugen. Dank ihrer Robustheit können die im Beschichtungsprozess entstehenden Partikel ebenso toleriert werden wie hohe Gasströme, die bei einigen Beschichtungsanwendungen im industriellen Produktionsmaßstab auftreten. Die TURBOVAC MAGiNTEGRA-Pumpe ist unsere beste Lösung für Hochvakuum in Zerstäubungssystemen. Diese Pumpen sorgen für niedrige Wartungskosten und hohe Leistungen in Bezug auf Saugvermögen, Größe und Durchsatz. Benötigen Sie eine Hochvakuumpumpe für großflächige Beschichtungsanwendungen? Dann ist die TURBOVAC MAGiNTEGRA genau die richtige Lösung für Sie.
TURBOVAC i/iX
Die TURBOVAC i-Baureihe besteht aus unterschiedlichen Modellen von mechanischen Turbomolekularvakuumpumpen, die für industrielle Anwendungen optimiert sind. Dank ihres speziellen Designs ist unsere robuste TURBOVAC i IND-Ausführung bestens dafür geeignet, um die im Beschichtungsprozess entstehenden Partikel oder die hohen Gasströme zu tolerieren, die bei bestimmten Beschichtungsanwendungen in kleinen bis mittelgroßen Vakuumkammern erforderlich sind.
Diffusionspumpen
Hochvakuum-Diffusionspumpen können für viele Anwendungen genutzt werden, aber sie sind besonders gut geeignet für dekorative Beschichtungen, Verschleißschutzbehandlungen und Rolle-zu-Rolle-Beschichtungen. Unsere robusten und kostengünstigen Diffusionspumpen der DIP- und DIJ-Reihe haben das beste Preis-/Leistungsverhältnis für jede Anwendung, die Hochvakuum erfordert.
COOLVAC
Unsere Produktreihe an Hochvakuumpumpen liefert ein feuchtigkeits- und ölfreies Vakuum mit dem niedrigsten Enddruck bis hinunter zu 10-9 mbar. Optische Beschichtungen müssen so rein wie möglich sein, um die richtigen Eigenschaften zu erzielen. Wenn also die Reinheit des Vakuumsystems eine zentrale Rolle spielt, dann ist COOLVAC die richtige Wahl.
Vakuum-Messsensoren
Ein stabiler Vakuumdruck ist für gleichbleibend hochwertige Beschichtungen unerlässlich. Je nach Prozess, Vakuumniveau und erforderlicher Genauigkeit werden unterschiedliche Messgeräte zur Überwachung und sogar zur Steuerung des Vakuumniveaus verwendet. Von den Messgeräten TTR91 oder TTR101 für Grobvakuum bis hin zum ITR90 für Hochvakuum bieten wir ein komplettes Sortiment an Messgeräten an, die Ihren Anforderungen gerecht werden. Bei Vakuumbeschichtungsprozessen ist es wichtig, einen genauen Druck während des Zerstäubens und einen niedrigen Enddruck zu erreichen. Bei bestimmten hochpräzisen Zerstäubungsprozessen spielt die Genauigkeit der Druckmessung eine entscheidende Rolle. Wir haben unsere eigene Baureihe von Vakuummessgeräten entwickelt, die ein Mess- und Regelsystem für alle Größen und alle Genauigkeitsstufen ermöglichen.
Dichtheitsprüfung
Ein dichtes Vakuumsystem ist die Voraussetzung für einen stabilen Beschichtungsprozess mit einer gleichmäßigen Produktqualität. Daher werden Beschichtungssysteme mit unserer PHOENIX-Reihe von Helium-Lecksuchern auf Dichtheit geprüft. Das Sortiment umfasst sowohl Nass- als auch Trockenlösungen sowie mobile und auf einem Wagen montierte Systeme.
Vakuumanschlüsse und -ventile
Ein Vakuumsystem ist ohne spezielle vakuumtaugliche Teile, Armaturen und Ventile nicht vollständig. Unser gesamtes Zubehör an Ventilen, Dichtungen, Rohrleitungen und Schläuchen passt perfekt zu unseren Pumpen und entspricht allen weltweiten Standards wie ISO-K und ISO-CF.
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