Vakuumlösungen für optische Beschichtungen

Verbessert das Reflexionsverhalten oder die Übertragungseigenschaften optischer Systeme

wie Filter, Objektive, Brillengläser oder Spiegel.

Dünnfilmbeschichtung mit Vakuum

Für die Herstellung von Brillen, Spiegeln und Reflektoren werden fortschrittliche Technologien benötigt, von denen einige nur mit einem Vakuum möglich sind. Ein Prozess, bei dem das Vakuum eine wichtige Rolle spielt, ist die Herstellung von entspiegelten und kratzfesten Dünnfilmschichten. Natürlich kennen Sie spezielle Optik-, Infrarot- und UV-Filter für Brillen, aber für die optische Beschichtung gibt es auch in der Wissenschaft zahlreiche Anwendungen. Ob Mikroskop oder James-Webb-Teleskopspiegel für die Weltraumüberwachung – spezielle optische Filterobjektive sind überall zu finden.

Optische Beschichtung mit physikalischer Gasphasenabscheidung

Optische Beschichtungen bestehen aus vielen dünnen Schichten, um unterschiedliche Reflexionseigenschaften oder Schichten zu erzeugen, die die Lichtleitfähigkeit verbessern. Diese Schichten werden in der Regel in einem Prozess mit der Bezeichnung „Physikalische Gasphasenabscheidung“ (PVD) oder Verdampfungsverfahren in Chargenbeschichtungssystemen aufgebracht, bei denen generell Vakuumbedingungen in einem Druckbereich von 10^-2 bis 10^-3 mbar zum Einsatz kommen.

Bei Anwendungen für optische Beschichtungen sind Präzisionssysteme erforderlich, die die gewünschten Vakuumwerte in der Vakuumkammer stabil aufrechterhalten können. Leybold bietet alle für diese Systeme erforderlichen Vakuumprodukte an, darunter:

Vorvakuumpumpen
Hochvakuumpumpen
Zuverlässige und kostengünstige Installationen
Prozesssteuerungslösungen
Systemintegration

In der ersten Prozessphase müssen Umgebungsgase und Feuchtigkeit mithilfe von Vorvakuumpumpen, die die Vakuumkammer sehr schnell evakuieren können, entfernt werden. Wir bieten unterschiedliche Produktfamilien an, die zu den genauen Anforderungen Ihrer Prozesse passen, darunter DRYVAC-, VARODRY-, SCREWLINE-, SOGEVAC-, TRIVAC- und RUVAC-Pumpen. Sie können mehrere Systeme kombinieren, um perfekte Pumpgeschwindigkeiten zu erzielen und Ihre Betriebskosten zu senken.

Im nächsten Prozessschritt wird die Prozesskammer auf ein Vakuum von 5x10^-6 mbar und darunter gepumpt, also auf ein Niveau, das kontinuierlich mit Argon-, Stickstoff- und Sauerstoffbeladungen in den Betriebsdruckbereichen gehalten werden muss. Einige Prozesse erfordern eine öl-, staub- und vibrationsfreie Prozessumgebung. Für diesen Fall empfehlen wir die TURBOVAC i-, TURBOVAC MAG- oder COOLVAC-Pumpen. Für weniger anspruchsvolle Prozesse sind Diffusionspumpen (DIJ und DIP) besser geeignet.
Hochvakuumsysteme müssen mit hohen Gaslasten über längere Zeit kontinuierlich arbeiten können.

Leybold-Pumpen wurden für Beschichtungsanwendungen entwickelt und haben sich über viele Jahrzehnte bewährt. Die Erfahrung hat uns auch gelehrt, dass Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit entscheidend sind. Daher empfehlen wir regelmäßige Wartungspläne und OEM-Ersatzteile. Wenn Sie Ihr Vakuumsystem ordnungsgemäß pflegen, sparen Sie außerdem Betriebskosten. Sprechen Sie mit Ihrem Leybold-Vertreter vor Ort, um die besten Lösungen zu finden, mit denen Ihre Produktion jederzeit betriebsbereit bleibt.

Sorgen Sie dafür, dass die Vakuumbedingungen Ihrer Beschichtungsprozesse immer genau messbar sind. Mit unserem umfassenden Sortiment an Vakuummessgeräten können Sie sicher sein, dass Ihre Prozesse immer unter den bestmöglichen Bedingungen ablaufen. Ihr Leybold-Vertreter berät Sie gerne zu den besten Prozesssteuerungslösungen. Dichtheitsprüfungs- und RGA-Systeme (Residual Gas Analyzer) spielen eine wesentliche Rolle bei der Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit von Prozessabläufen.

Unsere Pumpen sind so konzipiert, dass sie perfekt zusammenpassen, aber manchmal erfordert Ihr Prozess weitere Steuer- und Überwachungslösungen. In diesem Fall installieren wir SPS oder Steuerungen, die Ihre Produktionsprozesse unterstützen.