Vakuummessung und -steuerung
Messgeräte, Restgasanalysatoren, Pumpensteuerungen
Bei Vakuumsystemen und -prozessen muss die Vakuumleistung gemessen werden.
Vakuummessgeräte werden zur Messung des Drucks in einem großen Bereich verwendet.
Sie messen von Überdruck (ca. 2000 mbar (1500 Torr)) bis zu 10–12 mbar/Torr. Keine Einzelsensor-Technologie kann über einen solchen Bereich messen.
Es sind verschiedene Vakuummessgeräte erhältlich, die jeweils über spezifische Eigenschaften verfügen und über mehrere Zehnerpotenzen hinweg das Vakuum messen können.
Um den Messbereich zu erweitern, ist es üblich, mehrere Technologien in einem einzigen Messgerät zu kombinieren, um die Anzahl der in einem System benötigten Verbindungen zu reduzieren.
Ein Hauptunterscheidungsmerkmal der Arten von Vakuummessgeräten besteht darin, wie sie das Gas messen: direkte oder indirekte Druckmessungen.
- Bei direkten (oder gasunabhängigen) Druckmessungen sind die mit dem Vakuummessgerät gemessenen Werte von der Art des Gases unabhängig, und der angegebene Druck ist immer der tatsächliche Druck des Systems. Sie basieren häufig auf der mechanischen Durchbiegung einer Membran und können einen Überdruck von bis zu 10-4 mbar/Torr messen. Diese Messgerättypen bieten eine hohe Genauigkeit über einen kleinen Bereich und sind in der Regel sehr robust.
- Bei indirekten Druckmessungenwird der Druck als Funktion einer druckabhängigen Eigenschaft des Gases bestimmt (z. B. Wärmeleitfähigkeit, Ionisierungswahrscheinlichkeit). Diese Eigenschaften hängen nicht nur vom Druck ab, sondern auch von der Molmasse der Gase. Daher werden diese auch als gasabhängig bezeichnet. Die Messwerte beziehen sich in der Regel auf Luft oder Stickstoff als Messgas. Für die Messung anderer Dämpfe oder Gase müssen die entsprechenden Korrekturfaktoren für den tatsächlichen Druck des Systems angewendet werden. Diese Messgeräte können Druckmessungen über einen viel größeren Bereich (Atmosphärendruck bis 10 x 10-12 mbar, abhängig von Typ/Kombination) durchführen, wobei der Kompromiss ein geringeres Maß an Genauigkeit ist.
Ein weiterer typischer Entscheidungspunkt bei Vakuummessgeräten ist, ob sie aktiv oder passiv sind, wobei beide Optionen in unserem breiten Sortiment an Vakuummessgeräten zu finden sind.
- Bei der aktiven Messung ist der Messkopf (Sensorkopf) mit der Elektronik kombiniert, die zur Steuerung und Ausgabe eines Signals erforderlich ist, um die Integration in ein System zu ermöglichen.
- Bei der passiven Messung ist der Messkopf von der Elektronik getrennt, die dann separat in einer dedizierten Steuereinheit aufbewahrt wird. Der Vorteil besteht darin, dass sie in Umgebungen verwendet werden können, in denen die Elektronik nicht funktionieren würde, z. B. in Umgebungen mit hoher Strahlung, und dass die separate Steuereinheit aus dieser Umgebung entfernt werden kann.
- Vakuummessgeräte mit großem Bereich
- Tragbare und mechanische Vakuummessgeräte
- Präzisionsvakuummessgeräte
- Restgasanalysatoren
- Vakuummessgeräte und Pumpensteuerungen
- Zubehör
Vakuummessgeräte mit großem Bereich
Robuste, zuverlässige und genaue Druckmessung
- THERMOVAC Baureihe TTR/TR – perfekt für die Überwachung standardmäßiger Primär-/Vorpumpendrücke.
- PENNINGVAC Baureihe PTR/PR – ermöglicht Messungen im Hochvakuumbereich und kann als Messgerät mit vollem Messbereich beschrieben werden.
- IONIVAC Baureihe ITR/IE – Erweiterung des Vakuumbereichs auf ultrahohe Vakuumdrücke.
Tragbare und mechanische Vakuummessgeräte
Mit einem Messgerät mit integriertem Display und Batterie können Sie jederzeit und überall messen.
Mechanische Messuhren sind ideal, wenn Sie nur wissen müssen, dass Unterdruck entsteht, aber keine präzisen Messungen benötigen.
Präzisionsvakuummessgeräte
Dank höchster Genauigkeit und Wiederholbarkeit in den rauesten Umgebungen sind sie perfekt für eine detaillierte Systemsteuerung.
- CERAVAC CTR-Vakuummessgeräte – Spitzenmodelle des Kapazitätsmanometer-Sortiments.
- DI/DU-Vakuummessgeräte – etwas geringeres Genauigkeitsniveau, aber für schmutzige/feuchte/staubige Umgebungen geeignet.
Restgasanalysatoren
Die Restgasanalysatoren (RGA) der Produktreihe LEYSPEC ermöglichen eine einfache und intuitive Bedienung.
Wir bieten sowohl ein All-in-One-Gerät als auch ein mobiles Restgasanalysesystem.
Vakuummessgeräte und Pumpensteuerungen
Bieten Ihnen die Möglichkeit, den Druck anzuzeigen und die Messwerte in ein umfassenderes Steuersystem zu integrieren.
Wir verfügen über eine Reihe von Steuerungen, aus denen Sie wählen können, um Ihre spezifischen Anforderungen zu erfüllen.
Zubehör
- Anschlusskabel: für den korrekten Anschluss an Ihr Vakuummesssystem.
- Kalibrierung von Messgeräten: Wir bieten einen unabhängigen Kalibrierservice für Messinstrumente und Sensoren jeder Marke.
- Schutz von Messgeräten: In besonders rauen Prozessen kann es ratsam sein, Schutzeinrichtungen zu installieren, um die Lebensdauer des Messgeräts zu verlängern.
