氦氣嗅探技術如何用於測漏方法?
噴射技術 - 局部洩漏測試
(5.8)
圖 5.14 訊號回應與幫浦速度
圖 5.15 氦氣噴射設備。
避免噴槍閥開啟時發生「氦氣浪湧」。
a) 節流軟管或
b) 噴槍前面的可調整節流閥。
正確顯示的最小氦氣量:變更節流閥的設定不得影響指示。
最小流量一律比沒有流量計 (例如,透過傾聽流量或讓氦氣流過濕潤的口) 時設定的流量小得多。沒有流量計的情況下最簡單的檢查:讓氣泡通過水。
(5.11)
嗅探技術 - 使用正壓法的局部洩漏測試
在此,加壓試樣處可能洩漏的點 (見圖 5.4,d) 會使用測試氣體探針仔細追蹤,該探針透過軟管與測漏儀連接。氦氣或氫氣可使用氦氣測漏儀偵測。該方法的靈敏度與定位洩漏點的準確度將取決於所使用嗅探的特性,以及所連接之測漏儀的反應時間。此外,這將取決於探針通過洩漏點的速度,以及探針尖端與試樣表面之間的距離。在此起作用的許多參數使得定量確定洩漏率更加困難。使用嗅探的過程中,幾乎不依賴於氣體類型,且可偵測到約 10‑7 mbar · l/s 的洩漏率。氦氣偵測靈敏度的限制主要是由於大氣中的氦氣 (見表 VIII)。關於定量測量,測漏儀與嗅探裝置必須一起校正。在此,樣品的距離與追蹤速度也必須包含在校正中。
圖 5.4 洩漏測試技術與術語。
a:整體測漏;樣品內部的真空
b:局部測漏;樣品內部的真空
c:整體測漏 (外殼內部的測試氣體富集);樣品內部的加壓測試氣體
d:局部測漏;樣品內部的加壓測試氣體
表 VIII 大氣成分。
注意:在大氣的成分中,相對濕度 (RH) 穢語溫度一起分開指示。因此,在指定相對濕度之下,在氣壓計上讀到的氣壓為 1024 mbar。
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References
- Vacuum symbols
- Glossary of units
- References and sources
Vacuum symbols
A glossary of symbols commonly used in vacuum technology diagrams as a visual representation of pump types and parts in pumping systems
Glossary of units
An overview of measurement units used in vacuum technology and what the symbols stand for, as well as the modern equivalents of historical units
References and sources
References, sources and further reading related to the fundamental knowledge of vacuum technology