渦輪分子真空幫浦 適用於需要乾淨高真空或超高真空的應用
機械式、混合式與磁懸浮式高真空幫浦
渦輪分子真空幫浦主要用於需要乾淨的高真空或超高真空的應用，例如用於核子融合研發，或是用於鍍膜產業和分析儀器等工業領域。
原則上，渦輪分子幫浦是一個在機殼中快速旋轉的渦輪，其中渦輪的各級配備有許多轉子葉片。位於旋轉轉子葉片之間的是靜止的定子盤，其葉片排列在相反的方向。
透過將動力從旋轉轉子葉片轉移到氣體分子，氣體分子最初的非定向熱運動變而為從幫浦的入口法蘭沿軸向朝前置真空法蘭的方向運動。
在分子流量範圍中 (亦即在低於 10-3 mbar (0.75 x 10-3 Torr) 的壓力下)，氣體分子的平均自由路徑大於轉子和定子葉片之間的間隔 (通常為十分之幾公釐)。相對地，分子主要與光密轉子葉片發生碰撞，從而產生高效的抽氣動作。在層流範圍 (恆定) (即超過 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 的壓力)，轉子的作用會因為分子本身經常發生碰撞而受阻。
因此，渦輪分子幫浦無法在大氣壓力下抽送氣體。
TURBOVAC MAGiNTEGRA：磁懸浮渦輪分子幫浦
精巧型幫浦非常適合在鍍膜應用、分析與研究等具挑戰性的工業應用中使用。
MAGiNTEGRA 幫浦具有高耐受性和高效能，同時也具備彈性並符合成本和維護效益。
TURBOVAC i：混合式渦輪分子幫浦
功能全面的幫浦，適用於研發、分析、生命科學及工業和鍍膜領域等廣泛應用。
絕佳抽氣效能，整合式驅動電子裝置可輕鬆整合。提供 8 種尺寸的版本和配件，以滿足您的製程所需。
我們也提供多種版本，例如：
- TURBOVAC iX 可做為真空系統中的控制器使用。
- TURBOVAC iR 可因應高離子輻射環境條件下的應用需求
- TURBOVAC i 多進氣口：可支援應用的多點真空效能需求
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