適用於太陽能應用的真空
Leybold 的真空解決方案經過生產實證,能強化太陽能電池與面板的純度、品質和安全性。
由於越來越多人需要能源,加上限制消耗化石燃料來限制全球暖化,因此太陽能也變得越來越重要。全球各地對可再生能源的關注日益增加,例如風能和太陽能。由於需求日趨升高,太陽能電池技術的研究也不斷增加,因此除了延長壽命之外,還能大幅降低成本,並改善太陽能電池和面板的效率。
太陽能板是邁向新一代綠色能源的其中一個重要的步驟。舉例來說,它們也可能成為電解器的電源,為未來由燃料電池驅動的車隊產生綠色環保的氫氣。
Leybold 為太陽能生產製程中的每個真空步驟 (無論是晶圓型、薄膜還是兩者的組合) 提供了理想的產品,正如我們在新興的異質接面技術中所見。
讓我們的真空專業技術,成為您的優勢
我們為完整太陽能生產製程提供完美的真空解決方案。根據特定和個別的製程需求,可使用不同的幫浦類型和特定調整的幫浦解決方案,或可根據客戶的規格對其進行客製化。
乾式壓縮真空幫浦
在太陽能生產中,純度與無油式解決方案至關重要。乾式壓縮幫浦無需排油,並可避免油進入製程腔體的潛在風險,因此可確保生產系統達到最高的製程品質。它們可最佳化運作時間,將成本與保養需求降至最低,並延長使用壽命。採用 Leybold 乾式幫浦系列,可確保高品質太陽能電池的生產。
- PowerBoost
- SCREWLINE
- DRYVAC
- RUVAC
- CLAWVAC
- VARODRY
- SOGEVAC
- TRIVAC
- 氦氣測漏儀
PowerBoost
PowerBoost 與 PowerBoost Plus 經過開發與最佳化,可用於快速循環應用及最高 0.01 mbar 的特徵壓力。這些系統適用於需要極快抽氣速度,之後還要有待機時間的所有間隔式應用。自動偵測循環時間也使其具備極大的彈性,並可針對旋轉產品與各種條件進行調整。
- 乾式與無油螺絲 / 魯式技術的結合 -> 能處理灰塵,並針對快速抽氣完成最佳化
- 映射尺寸小 ->「更少一組」,相較於以往的幫浦配置
- 非常低的噪音 -> 這是藉由瞭解鍍膜機接下來會怎麼做的智慧型幫浦系統所造成
- 省電 -> 創新省電裝置可降低耗電量。
SCREWLINE
SCREWLINE SP 630 的乾式螺旋幫浦具備內部轉子冷卻功能,非常適合用於嚴苛的太陽能層壓應用,因為它可以從 EVA (乙烯/醋酸乙烯酯)、POE (聚辛烯乙烯) 和 PVB (聚乙烯醇缩丁醛) 聚合物材料中抽排出單體、低聚物與柔軟劑氣體。
- SP 630 乾式螺旋技術 -> 自 2004 年起經生產實證的太陽能層壓技術
- 適用於各種層壓製程的同級最佳幫浦
- 氣冷 -> 快速 & 簡易安裝
- 幫浦腔室可現場清潔 -> 不會因真空幫浦而停機
DRYVAC
我們的 DRYVAC 是一款小巧、水冷且安靜的乾式螺旋幫浦,可安裝在重型工業環境中。幫浦設計用於處理 PECVD 與 PVD 薄膜塗層製程中使用的氣體,例如 CIGS、CdTe 與異質接面。
- 乾式與無油螺旋技術 -> 能夠處理灰塵、摻氣和氟蝕刻
- 極致小巧 -> 容易安裝到生產線上
- 極低噪音 -> 改善工作環境
- 低熱排放 -> 可局部化以提升機器效能
- 省電 -> 創新省電裝置可降低耗電量。
RUVAC
抽取大量氣體或達到並維持低真空壓力需要強大的助抽幫浦。我們的典型 RUVAC WA(U) 與 WS(U) 助抽幫浦,以及創新且全密封式的 RUVAC WH(U),可以搭配直驅裝置作業,或由變頻器驅動,使其以更高轉速永久運轉,以達到更高的抽氣速度。在 250 最高至 7000 m³/h 的容量之下,我們可以供應各種尺寸的太陽能真空系統。
- 乾式與無油魯式技術 -> 能夠處理灰塵、摻氣和氟蝕刻
- 非常精巧 -> 容易安裝在粗真空幫浦上方
- 經生產實證:所有太陽能應用的標準主力
- 低熱排放 -> 提供水冷與氣冷版本
針對太陽能層壓板的第三級段,由於具備現場清潔功能,附帶不鏽鋼爪的 CLAWVAC 幫浦非常適合。它們是成熟 SCREWLINE SP 630 F 的良好技術性替代方案
- 不鏽鋼爪 -> 耐腐蝕,即使是高濕度與單體、低聚物與柔軟劑的剩餘部分 (無法確定這裡的意思)
- 最低維護需求 -> 低總體持有成本
VARODRY
我們的 VARODRY 採用 100% 無油操作,不僅能改善真空清潔程度,也比油封幫浦更能延長操作時間,這都要歸功於其堅固耐用的太陽能塗層與太陽能拉晶 & 長晶製程。
- 乾式螺旋技術 -> 經生產實證的進線太陽能塗層 (低溫幫浦再生、緩衝、加工和退火) 與拉晶 & 長晶 (碳化矽)
- 氣冷 -> 快速 & 簡易安裝
- 最低維護需求 -> 低總體持有成本
SOGEVAC
我們領先業界且經時間實證的 SOGEVAC 油封式迴轉葉片幫浦是大型建築玻璃鍍膜進線 PVD 系統上的油封標準。這款高效能的幫浦能快速在負載搬送時停機,相較於乾式螺旋幫浦,價格更低。
- 同級最佳的迴轉葉片幫浦 -> 經實證的負載搬送 PVD 進線鍍膜機技術
- 在所有壓力下都能提供高抽氣速度 -> 快速且有效率的抽氣,且不會影響幫浦效能
- 適用於負載搬送應用的低操作溫度與最佳化機油 -> 較長的機油更換間隔
- 最先進的排氣過濾技術 -> 排氣區內的清潔氣體
TRIVAC
我們的 TRIVAC - PFPE 版本是適用於太陽能 拉晶 & 長晶 (特別是碳化矽應用) 的標準油封式解決方案。
- 同級最佳的迴轉葉片幫浦 -> 經生產實證的拉晶 & 與長晶技術
- 在全球各地使用 -> 除了矽化碳的未來技術以外
- 氣冷 -> 快速 & 簡易安裝
氦氣測漏儀
Leybold 提供全系列 PHOENIX 氦氣測漏儀和客製化特殊系統
- PHOENIX QUADRO -> 使用油封式或乾式運轉 Leybold 真空幫浦的攜帶式氦氣測漏儀
- PHOENIX VARIO -> PHOENIX 系列產品中最小的成員,無真空系統。
- 客製化真空系統:請聯絡 Leybold,我們會助您夢想成真。