硬體
範圍廣泛,從粗真空到超高真空度,涵蓋所有主要連接標準,您可以從我們這裡獲得真正完整的真空系統!
無論您的真空程度為何,我們都能提供各種組件來連接您的系統。
優點概覽:
- ISO-KF
- ISO-K/ISO-F
- CF
- 真空引入饋通
ISO-KF
ISO-KF 連接是由 Leybold 所開發,在任何真空應用中,是目前用於全球小型接頭 (最大 50 公釐內徑) 的主要法蘭類型。
它允許透過快速釋放夾迅速安裝和更換真空系統中的組件,因此又稱快速法蘭 (Quick Flange,QF)。
每個連接都包含兩個對稱的 ISO-KF 法蘭、含 O 形環墊圈的中心環,以及夾扣。無需使用工具就能直接轉動夾扣的翼形螺母,如此即可完成高真空緊固的 ISO-KF 連接。
其通常適合低至 10-7 mbar/torr 的壓力,能夠承受高達 5 bar 的壓力,並可在使用金屬密封時加熱除氣至 200 °C,或使用 FPM 墊圈時為 150 °C。
主要特點是組裝速度,無需工具即可提供真空密封。
ISO-K/ISO-F
如果是較大的直徑,通常會尋求 ISO-K 和 ISO-F 接頭。
- 通常建議使用 ISO-K 接頭,因為夾具可放置在法蘭四周的任何點,而非固定螺栓點。
- 當法蘭也被用作結構元件時,會尋求 ISO-F 法蘭,因為它們的強度增加了。
這些法蘭類型的內徑範圍從 DN 63 到 DN 630 (因此管徑為 70 到 650mm)。由於中心環可以牢固地插入法蘭的定位槽中,因此即使是水平連接也可以快速輕鬆地安裝。
選擇此類型的連接,若使用金屬密封圈時可達到低至 10-9 mbar 的壓力。同樣的,使用金屬法蘭時烘烤溫度可達 200 °C ,使用 FPM 時則可達到 150 °C。
CF
CF 法蘭連接包含兩個相同幾何的法蘭,以及由無氧銅製成的扁平密封圈、螺栓、螺帽和墊片。
CF 組件是由精選出的耐腐蝕類型不鏽鋼製成。這種密封非常牢固,這也是為什麼在需要達到 UHV 壓力時使用 CF 法蘭的原因,這也需要烘烤 (適合所有金屬密封)。
所有組件都由內部焊接,從一開始就避免任何可能造成所謂擬態漏的裂縫或口袋孔的發生。
尺寸從 DN 16 CF 到 DN 250 CF (ID 16 mm 到 250 mm) 不一而足,並且常見用於真空計、離子幫浦和渦輪分子幫浦以達到超高真空壓力。
饋通裝置
控制內部和將電力傳輸到真空的需求是通過饋通來處理的。
我們有各種標準和高電流的真空引入饋通。此外,我們還有一系列旋轉、液體、旋轉/線性配置,可將力/物件傳輸至真空系統。