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ECODRY plus

多段魯式真空幫浦專為安靜且乾淨的環境所設計

乾式多段魯式真空幫浦

ECODRY plus 系列是乾式壓縮多段魯式真空幫浦,為降低雜音樹立新標準。幫浦特別針對安靜和潔淨的環境設計,例如分析與研究實驗室。 

ECODRY plus 小型乾式幫浦能以 25 至 55 m³/h 的最大泵送速度提供潔淨真空,同時維持低雜音等級。它們能提供多年穩定的真空效能,且無需維護。 

這些真空幫浦是以多段魯式泵送原理為基礎,配備兩個轉子並在單一幫浦外殼內以相反方向轉動。轉子不會相互接觸,也不會與幫浦機殼接觸,因而使幫浦既安靜又潔淨。 

幫浦透過旋轉,將氣體從上方的進氣法蘭傳達到泵送腔體底部的出口孔徑。連續數個泵送階段後,可達到高壓縮比。 

幫浦的運轉範圍從中度真空範圍延伸到環境壓力。壓縮階段之間的短通道,結合極高旋轉速度,以高泵送效能打造出精巧包裝產品。泵送腔體無油,因而能產生潔淨真空。

看看其中的優勢!

安靜運轉的快速幫浦

由於高速從高壓降到極限真空,您的真空系統抽氣時間明顯縮短。低至 0.01 mbar 的極限壓力讓 ECODRY plus 非常適合超高真空 (UHV) 系統。 轉子具有高製造品質,保證幫浦在低振動的情況下運轉。因此,即使在高進氣壓力下,噪音也很低。 幫浦外殼內整合了高效的隔音材料,可保護使用者不受殘留噪音影響。即使在高氣流率下,整合在排氣內的消音器也能進一步將噪音降至最低。 結合這些功能後,可達到低於 52 dB(A) 的噪音等級,這意味著比一般對話還安靜。

乾淨且環保

有了無油幫浦腔體,潤滑劑就無法進入真空腔室或幫浦的環境。此外,由於轉子操作時不會接觸到,因此微粒不會產生任何磨損碎屑,進而污染真空室。在工作站或真空室沒有污染的情況下,清潔產生的真空。

採用無摩擦操作原理,免維護保養

ECODRY plus 採用無摩擦操作原理,因此其組件不會有任何磨損。所有 ECODRY plus 組件均設計為使用壽命長達五年。在此期間不需要進行更換密封件或更換機油等保養措施。就幫浦本身而言,這樣可保證長期穩定運作,而且不會降低終端壓力或抽吸能力。

使用方便的小型幫浦

ECODRY plus 乾式真空幫浦外殼精巧,操作簡單。其配備一體式腳輪,加上本身重量輕巧 (少於 29 公斤),因此可輕鬆部署到安裝位置並隨時移動。 幫浦可直接連接到單相電源供應,因此不需要複雜的安裝作業。 幫浦採用氣冷設計,因此不需要連接供水來進行冷卻。

高水氣耐受度:無內部冷凝

在乾燥應用中,例如冷凍幫浦的再生,或是對表面區域較大的真空腔室進行抽氣時,可能會累積大量水蒸氣。並非每個幫浦均可毫無困難地處理這個問題,因為幫浦中的冷凝可能會導致腐蝕和幫浦故障。不過,在氣鎮閥開啟的情況下,ECODRY plus 可透過高達 500 g/h 的速率來抽取水蒸氣,而不會產生內部冷凝。

智慧型幫浦配備整合式控制儀表板,可透過完全直覺化的方式操作

ECODRY plus 透過整合式控制儀表板,讓使用者以直覺的方式操作。您可以直接將真空計和閥門連接至幫浦:輕鬆控制壓力和閥門,進而提升能源效率和製程安全。

應用

  • Mass spectrometry  

  • Electron microscopy   

  • Backing pump for turbomolecular pumps  

  • Drying   

  • Accelerator/synchrotron  

  • Spectroscopy 

 
  • Regeneration of cryopumps  

  • Surface analysis  

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