熱處理

適用於退火、焊接、氮化、硬焊、滲碳、燒結及硬化等熱處理製程的真空幫浦與系統。

熱處理熔爐專屬真空解決方案

如果金屬需要在潔淨的環境中進行熱處理，真空熱處理熔爐正是最佳選擇。真空環境中沒有空氣或其他反應氣體，因此可防止材料表面氧化及遭到污染，進而使表面加工更乾淨也更均勻。視特定應用而定，真空幫浦面臨的挑戰是從熔爐排出的氣體。除了空氣之外，這當中也可能含有水蒸氣、有機蒸氣、油液、助熔劑蒸氣、氫或氬等製程氣體、粒子、隔離纖維，有時還有裂解聚合物蒸氣。因此，請務必選擇正確的真空幫浦，確保熔爐在運作上不僅零故障、無須時常維護，更保有最高的作業時間。相較於採用舊式技術的幫浦，現代化幫浦還能大幅節省能源。

在現今業界中，使用真空熱處理熔爐的應用範圍相當廣泛：

真空退火

真空退火是一種熱處理製程，其中包括在真空環境中加熱材料以改善其特性，例如強度、硬度、延展性和耐腐蝕性。真空退火常用於生產半導體、金屬合金及其他高性能材料。

真空退火不會為真空系統帶來過大的應用挑戰。油封式旋轉葉片幫浦 SOGEVAC 或 TRIVAC 等標準產品搭配 RUVAC 魯式鼓風機幫浦使用，即可順利運作，甚至無須提高維護需求。

真空硬焊

真空硬焊是一種接合製程，會在真空環境中使用熔填金屬合金將兩種以上的材料結合在一起。熔填金屬熔融後會透過毛細管動作流入接合處，從而在凝固時形成堅固且永久的黏結。航太、汽車和電子產業等需要高強度、耐用性和密封處理的應用，通常都會採用真空硬焊技術。

在進行真空硬焊時，通常會以酸性「助熔劑」材料清潔金屬表面。過量的助熔劑會蒸發並進入真空系統中，這可能會使油封真空幫浦的油液受到侵襲。因此，Leybold 建議使用 VARODRY 或 DRYVAC 系列的乾式壓縮螺旋式真空幫浦，如此一來，不費吹灰之力便可因應這類挑戰帶來的難題。

真空氮化

真空氮化是一種表面處理製程，在這當中會將氮氣引入真空環境中的材料表面。此製程通常在高溫下執行，這可讓氮原子擴散至材料表面，形成氮化物層。氮化物層可提升表面硬度、耐磨性和耐腐蝕性，同時也可增加材料的疲勞強度。

氮化也稱為「電漿氮化」，在此作業中，真空幫浦不僅要堅固耐用，更須在高氣體負載下 24 小時全年無休地運作。針對此類應用，我們的乾式螺旋幫浦 DRYVAC 和 SOGEVAC 油封式旋轉葉片幫浦能以高作業時間和可靠的作業成本進行運作。

真空滲碳

真空滲碳是一種熱處理製程，在這當中會將碳加入真空環境中的金屬元件表面。此製程通常在高溫下執行，這可讓碳原子擴散至材料表面，形成一層薄又堅硬的碳化物層。真空滲碳是乾淨且受控制的製程，可產生精確且一致的硬化層厚度和硬度，進而提升元件的耐磨性、疲勞強度和整體性能。

滲碳由於應用的所有製程氣體，對於真空幫浦而言是一項艱鉅的挑戰。這些氣體含有大量的碳和副產品，很容易就在真空幫浦的壓縮級段中凝結。將 DRYVAC 搭配 RUVAC WH 和 WSU 系列一起使用，就能在此應用中順利運作，這類產品使用特殊的掃氣系統，因此不會大幅削弱抽氣效能。SCREWLINE 系列更提供順暢的運轉成效以及易於清潔的幫浦。

真空燒結

真空燒結是一種熱處理製程，在這當中會於真空環境中將金屬或陶瓷粉末壓縮體加熱至熔點以下的溫度，促使粒子藉由擴散作用而結合在一起。此製程通常是在高溫和高壓下執行，這可讓粉粒變得密實並形成堅固、緊密壓實的材料，同時也能提升機械特性。

DRYVAC 搭配 RUVAC WH 和 WSU 系列一起使用，就能在此應用中順利運作，這類產品使用特殊的掃氣系統，因此不會大幅削弱抽氣效能。SCREWLINE 系列更提供順暢的運轉成效以及易於清潔的幫浦。

真空硬化

真空硬化是一種熱處理製程，過程中需要在真空環境將材料 (通常為鋼) 加熱至高溫，然後在例如油液或氣體等冷卻介質中快速淬火。快速冷卻率可在高應力狀態下「凍結」原子結構，導致結構變硬並變脆。

針對此應用，我們建議使用乾式螺旋幫浦 DRYVAC 和 SOGEVAC，因為不僅能提供高作業時間，還能提供可靠的作業成本。

真空解決方案 – 依經驗最佳化

Leybold 提供種類繁多的真空幫浦與配件，可針對所有熱處理應用選擇最佳的幫浦系統。

專為真空熱處理應用設計的真空解決方案必須能夠提供可靠的真空度。真空幫浦應具備足夠的耐用性，以便持續運作，而不會出現預期之外的破損或未排定的停機情況。真空熱處理產業的市場領導者 Leybold 藉由與 OEM 及終端使用者建立合作關係而達成這項目標。Leybold 提供全方位且功能多元的真空解決方案組合，其精髓就在於創新的乾式技術。