真空量測與控制

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有了各式各樣的真空系統和製程，就會需要測量真空效能。

用於測量此廣大範圍之壓力的儀器稱為真空計，可測量範圍從高於大氣壓力 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 向下到 10-12 mbar/torr。沒有單獨一種感應器技術能夠測量這整個範圍。

因此，有多種不同的真空計可供使用，每種都有其各自的特性，以及可測量超過多個十數量級真空狀態的能力。為了擴大測量範圍，目前一般做法是將多種技術整合為單一真空計，以減少系統中所需的連接。

區分真空計類型的主要方法是測量氣體的方式：直接或間接測量壓力。

若為直接 (或與氣體無關) 壓力測量，透過真空計測量所得的讀數與氣體類型無關，而其提供的壓力一定是系統的實際壓力。這類儀器通常仰賴於薄膜的機械撓曲，可測量從高於大氣壓力到 10^-4mbar/torr 的範圍。這類真空計類型可在小範圍內提供高準確度，且通常非常堅固耐用。
若為間接壓力測量，壓力會經判定為與氣體特性相關的函數 (例如導熱性、離子化機率)。這些特性不只取決於壓力，同時也取決於氣體的莫耳質量。因此，這些特性也稱為與氣體相關。讀數通常與作為測量氣體的空氣或氮氣相關。對於其他蒸氣或氣體的測量，必須針對系統的真實壓力套用對應的修正係數。這些真空計能夠測量更寬廣的壓力範圍 (從大氣壓力到 10 x 10^-12 mbar，視類型/組合而定)，但是準確度則較低。

真空計上的另一個常見決定點是主動式或被動式，我們應有盡有的真空計系列可供進行此類選擇。

主動式計量是指將真空計儀錶頭 (感應器頭) 與控制和輸出訊號所需的電子裝置結合，以便與系統輕鬆整合。
被動式計量是指將真空計儀錶頭與電子裝置分開，然後分別置於專用控制器中。其優點是可在電子裝置無法運作的環境中使用，例如高輻射環境，並可將個別的控制器從上述環境中移除。

真空計與控制器

全廣域真空計量
精確真空計量
真空幫浦與真空計控制器
攜帶式機械真空計量
配件

全廣域真空計量

在廣大的壓力範圍內，都能進行紮實、可靠且準確的壓力量測。

THERMOVAC TTR/TR 系列 - 專門用於監控標準的初級/前級幫浦壓力。
PENNINGVAC PTR /PR 系列 - 可在高真空區域中進行量測，這可稱為全域式真空計。
IONIVAC ITR/IE 系列 - 將真空範圍進一步延伸到超高真空壓力。

精確真空計量

在最嚴苛的環境中，對於最高等級的準確性與再現性而言，這些產品非常適合用於詳細的系統控制。

CERAVAC CTR 真空計 - 電容式真空壓力計系列的首選。
DI/DU 真空計 - 準確度稍低，但適合用於髒污/潮濕/多灰塵環境。

真空幫浦與真空計控制器

讓您能夠顯示壓力，並將其量測結果整合至應用更廣泛的控制系統中。我們有多種控制器可供選擇，以滿足您的特定需求。

攜帶式機械真空計量

配備整合式顯示幕且採用電池供電的真空計，讓您隨時隨地都能進行測量。在您只需要知道自己是否正在抽真空而非進行精確測量時，機械轉盤式真空計會是理想的選擇。

IONIVAC 熱陰極離子化真空計

熱陰極離子化與冷陰極不同，因為它的感應器頭內建一個熱燈絲發射離子。這項技術能夠測量中度真空到超高真空壓力 (10^-12 mbar/torr)，這項技術的代價是感應器頭需要更多保護，而其較複雜的設計也會帶來較高的持有成本。

就像冷陰極技術一樣，它們會在約 10^-2 mbar/torr 停止測量，因此通常會與內建的 Pirani 真空計結合，以單一真空計提供全域量測功能。

熱陰極技術也有不同版本，主要類型為 Bayard-Alpert (ITR 或 IE 414) 和萃取器 (IE 514)。萃取器技術提供最低的壓力量測，能夠測量到 10^-12 mbar/torr