真空量測與控制
真空計、殘氣分析儀、幫浦控制器
有了真空系統和製程，就需要測量真空效能。
真空計用於測量較大範圍內的壓力。
其測量範圍從大氣壓力以上 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 向下到 10-12 mbar/torr。沒有任何一種感應器技術能夠測量這整個範圍。
有多種不同的真空計可供選擇，每種都有自己的特點和功能，可以測量超過多個十數量級真空狀態。
為了擴大測量範圍，通常會將多種技術結合到一個測量儀中，以減少系統所需的連接。
區分真空計類型的主要方法是測量氣體的方式：直接或間接測量壓力。
- 若為直接 (或與氣體無關) 壓力測量，透過真空計測量所得的讀數與氣體類型無關，而其提供的壓力一定是系統的實際壓力。這類儀器通常仰賴於薄膜的機械撓曲，可測量從高於大氣壓力到 10-4mbar/torr 的範圍。這類真空計類型可在小範圍內提供高準確度，且通常非常堅固耐用。
- 若為間接壓力測量，壓力會經判定為與氣體特性相關的函數 (例如導熱性、離子化機率)。這些特性不只取決於壓力，同時也取決於氣體的莫耳質量。因此，這些特性也稱為與氣體相關。讀數通常與作為測量氣體的空氣或氮氣相關。對於其他蒸氣或氣體的測量，必須針對系統的真實壓力套用對應的修正係數。這些真空計能夠測量更寬廣的壓力範圍 (從大氣壓力到 10 x 10-12 mbar，視類型/組合而定)，但是準確度則較低。
真空計上的另一個常見決定點是主動式或被動式，我們應有盡有的真空計系列可供進行此類選擇。
- 主動式計量是指將真空計儀錶頭 (感應器頭) 與控制和輸出訊號所需的電子裝置結合，以便與系統輕鬆整合。
- 被動式計量是指將真空計儀錶頭與電子裝置分開，然後分別置於專用控制器中。其優點是可在電子裝置無法運作的環境中使用，例如高輻射環境，並可將個別的控制器從上述環境中移除。
- 全廣域真空計量
- 攜帶式 & 機械式真空計量
- 精確真空計量
- Residual Gas Analysers
- 真空計 & 幫浦控制器
- 配件
全廣域真空計量
堅固、可靠且準確的壓力測量
- THERMOVAC TTR/TR 系列 - 專門用於監控標準的初級/前級幫浦壓力。
- PENNINGVAC PTR /PR 系列 - 可在高真空區域中進行量測，這可稱為全域式真空計。
- IONIVAC ITR/IE 系列 - 將真空範圍進一步延伸到超高真空壓力。
攜帶式與機械式真空計量
具備整合式顯示器且由電池供電的儀表，讓您可以隨時隨地進行測量。
機械式轉盤真空計適用於只需要顯示在抽取真空，而不需要精準測量的情況。
精確真空計量
在最嚴苛的環境中，對於最高等級的準確性與可重複性而言，這些產品非常適合用於詳細的系統控制。
- CERAVAC CTR 真空計 - 電容式真空壓力計系列的首選。
- DI/DU 真空計 - 準確度稍低，但適合用於髒污/潮濕/多灰塵環境。
殘氣分析儀
Our LEYSPEC residual gas analyser (RGA) product family enables simple and intuitive operation.
We offer both an all-in-one device as well as a mobile residual analyzer system
真空計 & 幫浦控制器
讓您能夠顯示壓力，並將測量結果整合至更廣泛的控制系統。
我們有多種控制器可供選擇，可根據您的特定需求進行挑選。
配件
- 連接線：可配合您的真空測量系統進行連接。
- 真空計校正：我們為任何品牌的真空計和感測器提供公正的校正服務。
- 真空計保護：在特別嚴苛的製程中，建議安裝保護功能，以延長真空計使用壽命。
