殘氣分析儀
LEYSPEC
LEYSPEC：整合式 RGA 讓操作變得簡單又直覺
由於具備高靈敏度，LEYSPEC 殘氣分析儀可偵測極少量的污染物或製程氣體。
產品系列提供 100、200 或 300 amu 的解決方案。
烘乾溫度可達 300°C，可在嚴苛環境下運轉。
LEYSPEC Cart：移動式 RGA 系統
移動式殘留物分析儀系統
LEYSPEC Cart 具有完全整合的差動抽氣系統，提供最大的彈性與簡易的處理。
這是一種完全獨立的抽氣系統，可輕鬆適應各種量測工作，具備在各種壓力下迅速準備運作和操作能力。
