全廣域真空計量
適用各種製程的真空量測
提供主動式和被動式配置，所有真空計都能透過我們專屬的主動式真空計控制器輕鬆整合：GRAPHIX 或 DISPLAY。
THERMOVAC 和 PENNINGVAC 真空計也相容於我們的 TURBO.CONTROLi 幫浦和真空計控制器。
或者，透過簡單的輸出 0-10 V/序列通訊，也可輕鬆地直接連接到您的 PLC。
- THERMOVAC
- PENNINGVAC
- IONIVAC
THERMOVAC Pirani 真空計
真空計量的主力裝置
應用範圍廣泛，其堅固耐用特性能適應大多數環境，可在粗真空到中度真空等級運作。
PENNINGVAC 冷陰極離子化真空計
測量範圍為 10-2 至 10-9 mbar/torr
通常與 Pirani 真空計搭配使用來測量使用高真空幫浦的系統。
IONIVAC 熱陰極離子化真空計
準確測量中度至超高真空壓力。
熱陰極離子化與冷陰極不同，因為它的感測頭內建一個熱燈絲發射離子。這項技術能夠測量中度真空到超高真空壓力 (10-12 mbar/torr)，這項技術的代價是感測頭需要更多保護，而其較複雜的設計也會帶來較高的持有成本。
就像冷陰極技術一樣，它們會在約 10-2 mbar/torr 停止測量，因此通常會與內建的 Pirani 真空計結合，以單一真空計提供全域量測功能。
熱陰極技術也有不同版本，主要類型為 Bayard-Alpert (ITR 或 IE 414) 和 Extractor (IE 514)。Extractor 技術提供最低的壓力量測，能夠測量到 10-12 mbar/torr
