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今日所見的玻璃是在西元前約 2500 年時發明並經過不斷改良而成。所有現代的玻璃均鍍上一層薄膜,該層薄膜會影響光線及太陽熱能的傳輸量。鍍上薄膜的玻璃有助於提升建築及車輛內部舒適度,並提高通風及空調系統的效率。
玻璃鍍膜也會影響玻璃表面的顏色及反射,進而改變其外觀。現代都市中的摩天大樓會使用真空鍍膜的玻璃窗,以確保將熱隔絕在外,以及讓外觀顏色更符合美學。
以 PVD (物理氣相沉積) 進行真空濺鍍是生產鍍膜玻璃的常見製程。此製程需要將材料放置於真空腔體中,接著進行名為「濺鍍」的製程,使用製程氣體 (如氬氣、氮氣及氧氣) 將金屬、金屬氧化物和氮化物沉積在玻璃上。此真空濺鍍製程在玻璃上以沉積鍍膜,這個鍍膜會有好幾層,而每一層的組成及厚度各異。PVD 機器在負責此製程的真空系統中基本需全年不停機運作,因此 PVD 設備製造商需要可靠且耐用的真空幫浦,以便能持續生產。
Leybold 提供真空濺鍍應用所需的一切產品,包括