玻璃表面真空鍍膜
建築用玻璃鍍膜與汽車玻璃
今日所見的玻璃是在西元前約 2500 年時發明並經過不斷改良而成。所有現代的玻璃均鍍上一層薄膜,該層薄膜會影響光線及太陽熱能的傳輸量。鍍上薄膜的玻璃有助於提升建築及車輛內部舒適度,並提高通風及空調系統的效率。
玻璃鍍膜也會影響玻璃表面的顏色及反射,進而改變其外觀。現代都市中的摩天大樓會使用真空鍍膜的玻璃窗,以確保將熱隔絕在外,以及讓外觀顏色更符合美學。
在玻璃生產運用真空濺鍍
以 PVD (物理氣相沉積) 進行真空濺鍍是生產鍍膜玻璃的常見製程。此製程需要將材料放置於真空腔體中,接著進行名為「濺鍍」的製程,使用製程氣體 (如氬氣、氮氣及氧氣) 將金屬、金屬氧化物和氮化物沉積在玻璃上。此真空濺鍍製程在玻璃上以沉積鍍膜,這個鍍膜會有好幾層,而每一層的組成及厚度各異。PVD 機器在負責此製程的真空系統中基本需全年不停機運作,因此 PVD 設備製造商需要可靠且耐用的真空幫浦,以便能持續生產。
Leybold 提供真空濺鍍應用所需的一切產品,包括
- 前級幫浦 (即「前」幫浦):迅速且耐用的粗真空幫浦,用於排空負載腔體,以便在極短的循環將玻璃片送進製程腔體。一般而言,每分鐘可達到二至三次抽氣循環,將氣壓從 1000 降至 1 mbar。我們提供一系列不同的粗真空幫浦,包括 SCREWLINE、POWER BOOST、DRYVAC、SOGEVAC 和 RUVAC 幫浦。
- 高真空幫浦:在製程腔體中,真空系統需要迅速抽氣至 5x10-6 mbar,並在充入氬氣、氮氣及氧氣的情況下,在 10-2 至 10-3 mbar 壓力範圍內持續運作。
若製程腔體中的高真空幫浦需要完全無油且無塵,我們推薦 TURBOVAC i、TURBOVAC MAG 和 COOLVAC 幫浦系列。如果製程條件較為簡單,我們提供擴散幫浦 (DIJ 和 DIP)。務必記住,無論您選擇哪一種高真空幫浦,此幫浦都必須能長時間不間斷運作,且需負載大量惰性氣體及製程氣體的混合氣體。
- 維護與備用零件:我們的真空幫浦可保證提供最佳品質的元件,但是要能持續運作,我們建議應擬定定期維護計劃。我們 Leybold 的技術人員可協助支援您的製程,為您推薦最合適的維修時間表,並針對備用零件和耗材提供建議。
- 製程控制:我們的全系列真空計能確保您隨時掌控真空系統。每個壓力範圍都有一個儀表,且我們很樂意為您提供最佳的運作選擇建議。
- 全系統整合:所有 Leybold 幫浦都經過設計,能彼此完美配合。如果您需要進一步掌控製程,我們可以打造 PLC 解決方案,並提供一系列的電子控制器。