超高真空幫浦
TiTan 離子幫浦、NEG 幫浦與 TSP
Leybold 將 Gamma 產品併入其產品組合中，為 UHV 應用助一臂之力。
這不僅能讓我們測量超高真空壓力，還能向他們提供離子幫浦的特性並加以利用，例如卓越的氫氣抽速以及無碳氫化合物和無震動的真空。
身為全方位供應商，我們可在全球支援及維修 Gamma 產品。
Gamma Vacuum 專門從事離子和鈦昇華幫浦以及 NEG 幫浦及其組合的設計、製造和經銷，並為各種科學應用領域的客戶 (包括研發和高能物理) 提供服務。
該公司為各種 UHV 應用提供解決方案，包含離子幫浦、非蒸散型吸附 (NEG) 幫浦、鈦昇華幫浦 (TSP) 及其各自的控制器。
所有設備，包括所需的高電壓或高電流纜線，都是由位於美國 Shakopee 市的 Gamma Vacuum 所製造。
Gamma Vacuum 也提供幫浦組合，例如離子幫浦搭配整合式 NEG 幫浦。他們的電子部門負責開發並生產最廣泛的控制器系列，小至可操作離子幫浦並輕鬆放入您口袋的智慧型控制器，大至無法裝入汽車但功能強大可操作數個離子幫浦的控制器。
除了現成產品之外，Gamma Vacuum 還能大幅度客製化其產品。
HyTan NEG 複合式幫浦
Combining NEG and ion pump technology into a compact UHV pump with exchangeable modules, ideal for applications where space is restricted and versatility is a must.
- Versatile – a choice of 6 NEG, and 6 ion pump modules, delivering hydrogen pumping speeds from 100 – 500 l/s.
- Customizable – replaceable noble and conventional diode elements, 2 ion pump feedthrough options, and exchangeable modules this UHV pump supports a diverse range of applications.
- Compact – significantly smaller than legacy products, the HyTan NEG-Ion Pump can even be installed inside your chamber for maximum space efficiency.
- Efficient - low power consumption and replaceable parts help reduce your UHV pumps footprint and overall cost of ownership.
HyTan NEG-Ion Pumps
TiTan 離子幫浦、NEG 幫浦與 TSP
Pump systems for ultra-high vacuum
A full range of vibration-free and maintenance-free TiTan ion pumps, titanium sublimation pumps (TSP) and non-evaporable getter (NEG) pumps to achieve best ultimate pressures in the ultra-high vacuum.
- High pumping speed at ultra high vacuum
- Hydrocarbon-free vacuum
- Long operating time
- Complete solutions
- Pumping speed 0.2 - 1,200 l/s
- Ultimate pressure < 1 x 10-11 mbar
NEG Pumps
各種 TiTan 幫浦元件適用於不同的需求：
- TiTan CV 具鈦陰極，適用於泵送空氣和反應氣體。
- TiTan DI 適用於泵送空氣和反應氣體，具穩定的惰性氣體 (鈦與鉭陰極)。
- TiTan TR - 經典三極管，可在高壓範圍中提供較高泵送速度，具穩定的惰性氣體。
- 各式各樣的 NEG 幫浦和 TSP 可單獨使用，也可整合到 TiTan 離子幫浦。
- TiTan、NEG 和 TSP 組件可耐受烘烤達 450 °C。
- 多種配件。
- DIGITEL 控制器機型，適用於操作離子幫浦。
- 適合各種不同應用與配置的 TSP 和 NEG。
- 提供高真空纜線，可用於連接控制器和離子幫浦。
TSP 燈絲匣
DIGITEL 離子幫浦控制器
使用多種控制器來管理單一或多個離子、NEG 或 TSP 真空幫浦。
這些控制器的設計可確保穩定的電壓等級，搭配多種整合協定以及容易使用的介面，確保您的真空幫浦能以其最佳效能與效率運作。
- DIGITEL SPCe 小型幫浦控制器可管理單一離子幫浦，速度最高達 75 l/s。
- DIGITEL QPC 四幫浦控制器可管理最多達 4 個離子幫浦，速度最高達 100 l/s。
- DIGITEL MPCq 多幫浦控制器可控制最多達 4 個具有高電流需求的大型離子幫浦。
- TSP 控制器可管理最多 2 個 TSP 幫浦 (或 6 條 TSP 燈絲)
DIGITEL QPC 四幫浦控制器
DIGITEL MPCq 多幫浦控制器
UHV (超高真空) 配件
這些配件系列是您 UHV (超高真空) 幫浦的最佳選擇。可靠且符合最高規格，經過精心設計，確保您能充分發揮真空系統的效能。
- 高電壓纜線 – 專為配合各種真空應用而打造，100% 內部製造。
- TSP 纜線 – 堅固耐用且可靠的鈦昇華幫浦電纜，經專門設計可持久耐用。
- 分離器 – 將電源分給離子/NEG幫浦，以便同時操作。
- TSP 護罩 – 可替換式護罩具備大型活性表面，加快抽氣速度。
TSP 纜線