油擴散真空幫浦

油擴散幫浦是流體噴射幫浦系列的一員

Leybold 的創新加熱系統可藉由降低平均耗電量，並提供比傳統擴散式及油增壓幫浦明顯更快的加熱時間，而帶來獨特的優勢。針對需要高泵送速度與高真空、高氣體流量的應用，或是需要大型工業增壓幫浦，以及類似高效率能源控制器 (EEC) 等多種能源效率選項的應用提供自訂解決方案，以減少您的碳足跡。Leybold 的創新直接加熱概念，帶來高能源使用效率的智慧型加熱製程！

油擴散幫浦會產生高真空，並以處於蒸氣形式 (油蒸氣) 且快速流動的幫浦流體進行操作。所有流體噴射幫浦都有類似的泵送機構，電動加熱容器會將幫浦流體加熱，而油蒸氣會在通過噴氣管噴嘴後膨脹。泵送的氣體分子會擴散至蒸氣流內，並從幫浦腔體排出。

透過衝擊脈衝，將幫浦液流的分子按照流動方向傳送至氣體分子。如此一來，欲泵送的氣體會移至壓力較高的空間。這項技術不會磨損，因為不需要任何移動零件。在油擴散幫浦中，根據幫浦流體 (矽基或礦物油) 的類型和溫度以及噴嘴的設計，對應的蒸氣壓力也會在操作期間增加。

蒸氣噴嘴不會進入製程腔體，因為它會在通過噴嘴射出後凝結在幫浦冷卻的外壁上。此外，獨特的現代擋板設計可透過改良的凝結表面設計，減少機油回流與油耗。這種簡單的物理機制讓擴散幫浦成為一種堅固耐用的技術。

幫浦中的前級壓力必須夠低才能讓蒸氣流出。為確保如此，會使用對應的前級幫浦，通常是採用 Leybold 的機械式前置真空幫浦。前置真空壓力也會影響蒸氣噴嘴，並在其值超過稱為最大前級壓力或重要前置管線壓力的特定重要限制時會產生有害的影響。

獨特的噴射段噴嘴系統
針對您的應用最佳化
Leybold 油擴散幫浦的優點

獨特的噴射段噴嘴系統

以超音速從噴嘴中放射蒸氣流，以得到盡可能高的蒸氣流動速度。噴射段噴嘴系統有 3-5 個階段，可產生 Leybold 油擴散幫浦的驚人泵送速度。構成蒸氣噴嘴的幫浦流體蒸氣會凝結在幫浦外殼的水冷式壁面上，而運輸的氣體會進一步壓縮 (氣體流量)，通常在以前級幫浦移除之前，會先處於一或多個後續階段。

使用流體噴射幫浦可取得的壓縮比非常高：若在流體噴射幫浦的高真空進氣口有 10^-7 mbar 的壓力，且前級壓力為 10 ^-1 mbar，泵送氣體會以 10^-6 的係數壓縮。此壓縮比可確保應用製程的高真空壓力穩定。流體噴射幫浦的極限壓力受到幫浦操作溫度時所使用流體的分壓值限制。採用我們的高品質擴散幫浦 LVO 500、LVO 521 及 LVO540，我們可保證提供優異效能。