IONIVAC

熱陰極 Bayard Alpert 真空計

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為何選擇 IONIVAC？

我們的 IONIVAC 真空計系列，無論是被動式 (IE) 或主動式 (ITR)，都能測量到超高真空狀態。如此即可詳細追蹤實驗，並控制製程中的變數。

IONIVAC 熱陰極真空計的運作方式是讓一個熱陰極發射電子撞擊陽極。因此，測量到的氣體即為離子氣體。透過第三電極偵測到產生的正極電流，而此電流會用作與壓力成正比的訊號。

熱陰極離子化感測器根據所使用的熱陰極技術類型，提供 10^-12至 10^-1 mbar (0.75·10^-10 至 0.75·10^-1 Torr) 的廣泛測量範圍。

最佳化組合發射器

IONIVAC ITR 是最佳化的組合式變送器。熱陰極離子化傳感器 (利用熱陰極離子化的 Bayard Alpert 原理) 以及 Pirani 傳感器的組合，可進行 5 . 10^-10至 1000 mbar (3.75 . 10^-10至 750 torr) 的真空壓力測量。

有兩種主要版本可用：

ITR 90 搭配單一熱陰極燈絲
透過內建備援功能的 ITR 200 及雙重燈絲，可延長使用壽命。萬一發生故障，它會自動切換燈絲，並指出燈絲已故障。為了進一步增加真空計使用壽命，可以執行除氣程式，重新活化燈絲效能。

UHV 測量範圍上限

我們的 IONIVAC IE 系列真空計是超高真空測量界的「勞斯萊斯」，具備超低基礎壓力讀數和高準確度。

與被動式真空計控制器共同運作時，這些控制器會在需要最低壓力等級之詳細壓力讀數的環境中使用。

被動式 IONIVAC IE 感測器使用熱陰極離子化技術測量至最低壓力。

IE 414 利用 Bayard Alpert 技術，可測量從 2 . 10-11 至 e-2 mbar (1.5e-11 至 e-2 torr) 的壓力範圍。
若要達到最低壓力，您需要減少 X 射線的影響。我們的 IE 514 系列真空計能以 Extrator 熱陰極離子化的方式來達成此目的。使用這種傳感器技術，您可讀取從 2e-12 至 1e-4 mbar (2e-12 至 7.5e-5 torr) 的讀數。