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熱陰極 Bayard Alpert 真空計

為何選擇 IONIVAC?

我們的 IONIVAC 真空計系列,無論是被動式 (IE) 或主動式 (ITR),都能測量到超高真空狀態。如此即可詳細追蹤實驗,並控制製程中的變數。 

IONIVAC 熱陰極真空計的運作方式是讓一個熱陰極發射電子撞擊陽極。因此,測量到的氣體即為離子氣體。透過第三電極偵測到產生的正極電流,而此電流會用作與壓力成正比的訊號。 

熱陰極離子化感測器根據所使用的熱陰極技術類型,提供 10-12 至 10-1 mbar (0.75·10-10 至 0.75·10-1 Torr) 的廣泛測量範圍。

IONIVAC ITR 90/200 系列

最佳化組合發射器

IONIVAC ITR 是最佳化的組合式變送器。熱陰極離子化傳感器 (利用熱陰極離子化的 Bayard Alpert 原理) 以及 Pirani 傳感器的組合,可進行 5 . 10-10 至 1000 mbar (3.75 . 10-10 至 750 torr) 的真空壓力測量。 

有兩種主要版本可用:

  • ITR 90 搭配單一熱陰極燈絲
  • 透過內建備援功能的 ITR 200 及雙重燈絲,可延長使用壽命。萬一發生故障,它會自動切換燈絲,並指出燈絲已故障。為了進一步增加真空計使用壽命,可以執行除氣程式,重新活化燈絲效能。 
  • 從 1 x 10-10 mbar/torr 至大氣壓力的連續量測壓力  
  • 採用可交換陰極與除氣模式的輕巧設計 
  • 可苦加熱除氣的感測器以啟用 UHV 測量 
  • 提供類比、顯示、數位和 Profibus 介面,安裝簡便 
  • 一般 10-2 至 10-9 mbar 製程壓力範圍內具備高可重複性  
  • 使用被動式計量進行精確的 UHV 壓力測量,可測量至 10-12 mbar/torr  
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IONIVAC IE 414/IE 514 系列

UHV 測量範圍上限

我們的 IONIVAC IE 系列真空計是超高真空測量界的「勞斯萊斯」,具備超低基礎壓力讀數和高準確度。 

與被動式真空計控制器共同運作時,這些控制器會在需要最低壓力等級之詳細壓力讀數的環境中使用。 

被動式 IONIVAC IE 感測器使用熱陰極離子化技術測量至最低壓力。 

  • IE 414 利用 Bayard Alpert 技術,可測量從 2 . 10-11 至 e-2 mbar (1.5e-11 至 e-2 torr) 的壓力範圍。 
  • 若要達到最低壓力,您需要減少 X 射線的影響。我們的 IE 514 系列真空計能以 Extrator 熱陰極離子化的方式來達成此目的。使用這種傳感器技術,您可讀取從 2e-12 至 1e-4 mbar (2e-12 至 7.5e-5 torr) 的讀數。
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