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Active Measurment Gauge

THERMOVAC

Pirani / Pirani & piezo 變送器

為何選擇 THERMOVAC?

我們有三種主要版本的 THERMOVAC TTR Pirani 真空計產品線,這些產品都適合在粗真空到中真空壓力段進行測量,並且可與 PTR 或 ITR 產品線 (LINK) 等 高真空/超高真空 真空計搭配使用。基本上,每個真空系統都會搭配這類儀表,因為它們的測量範圍很廣、體積小,而且成本效益很高。 

Leybold THERMOVAC Pirani 真空計在真空產品市場耕耘許久,數十年來均與我們的真空幫浦搭配使用。 

可靈活選擇以便滿足各種製程需求的機型,不管是在真空效能方面還是連接面向上皆能兼顧,而這也正是影響許多客戶的關鍵。我們完全遵循所有相關的國際法規,提供客戶更安心的保障。

Leybold 有我們技術強大的應用程式與技術團隊作後盾,能運用我們為多種真空市場提供的服務經驗,協助您選擇完全針對您的應用且通過實證的測量解決方案。

採用 Leybold THERMOVAC 真空計可以提高您的製程效率,同時與我們的幫浦產品 (例如 ECODRY 系列) 結合來提供最佳抽氣效能,以節省您的成本。 

您也可以使用我們的 THERMOVAC 真空計穩定控制及最佳化您的製程、減少循環時間、發現錯誤,並透過監控和觸發程序防止非預期的停機,或是在未達到正確的真空度時中斷製程。 

THERMOVAC TTR9* 系列

標準 Pirani 真空計

能夠從大氣測量至 1e-4 mbar,涵蓋大多數製程的關鍵幫浦抽氣範圍。感測器設計具有經實證的生產記錄,能在所有應用中發揮可靠效果。無論您在任何地方,360 °C 光環都可讓您看到真空計狀態指示:當您可能不在大型機台的人機介面連接埠附近操作時,這絕對是一項實用的功能。 

我們提供基本精簡版,以及具備更多功能的版本:設定點繼電器以及特定抗腐蝕版本。我們也提供多種類型的輸出:標準 0-10v 線性類比輸出,以及更先進的數位輸出,適合整合至 PLC。

THERMOVAC TTR 101 系列

對於 100 mbar 以上的壓力

標準 Pirani 真空計的缺點是其在壓力高於 100 mbar (75 torr) 時測量的準確率低。此問題可透過頂級的 THERMOVAC 功能解決:TTR 101 範圍結合 Pirani 燈絲與微型電容式壓力計,其中電容感測元件涵蓋了初始的粗真空範圍。此升級型真空計的壓力測量範圍為 1500 mbar (1125 torr) t  5x10-5mbar (3.75x10-5 torr)。 

Broad Range Vacuum Gauging
Broad Range Vacuum Gauging

這些真空計可搭配線性類比 0-10v 輸出或數位 (RS232/485) 及 EtherCAT 輸出,可讓您靈活選擇系統的最佳通訊方法。我們也有其他版本可搭配整合式顯示器,讓您直接從中央控制器以外之處讀取壓力值。

THERMOVAC TR 2* 系列

我們的被動式真空計產品

這是另一款標準的 Pirani 真空計,不同之處在於它是我們的被動式真空計產品。

真空計電子裝置已拆下,並保存在獨立的真空計控制器中。它保留了 TTR9* 具有寬廣測量範圍 (大氣壓達 5e-4) 的所有優點。

由於它們沒有電子設備,因此儀表本身沒有任何功能:這些在單獨的控制器上,請查看 COMBIVAC (LINK) 了解更多詳細信息!

  • 測量訊號對安裝位置不敏感 
  • 高過壓限制 (10 巴)
  • TTR 系列提供 LED 環及最多兩個設定點繼電器,可改善製程控制 
  • 最佳化的性價比
  • 高度可靠與可再現的前級真空與高真空壓力測量 
  • 可搭配最長 100 m 的纜線使用,適用於大型安裝。  
Broad Range Vacuum Gauging
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