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無論是配備低溫幫浦、配備製冷/製冷頭或是製冷與低溫面板組件的低溫系統:各種配置搭配我們的配件可提供最佳冷卻效能與可靠性,以滿足您的需求。
除了低溫部件和儀表配件外,一般低溫產品都必須配備閥門和前級真空設備。
低溫冷卻系統 < 10 K | 研究與開發 | 新技術 | 工業鍍膜與製程 |
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運作原理為氣態物質透過低溫冷凝、低溫吸附或低溫陷捕的方式,與幫浦內的低溫表面結合。
冷凍幫浦的真空側沒有任何機械式移動、機油或油脂潤滑的零件。
為了產生高真空或超高真空,必須將低溫表面/低溫面板冷卻至一定程度的低溫。其為利用 Leybold 的 COOLPOWER i 系列 (Gifford/McMahon 原理) 製造之經實證可靠性高的一或二元冷凍系統進行冷卻。
所有氣體和空氣的抽氣速度都非常有效力,水 (H2O) 和氫氣 (H 2) 更是如此。
透過製冷頭及壓縮機的可變馬達速度,可以提高冷卻效能和冷卻速度。
使用可靠的 COOLPOWER i 製冷頭和 COOLPAK i 壓縮機所打造。
冷凍幫浦對來自製程或外部振動的粒子引發的機械干擾並不敏感。
運作成本低,尤其是泵送速度愈快,運作成本就更低
iSL (iSmartLine) 低溫幫浦使用自動控制,操作容易,且採用我們的 COOL.DRIVE i 控制器和選配 CRYOVISION i 視覺化工具以利監控。
此系列幫浦容易維護:現場即可馬上更換零件,無須從系統卸除幫浦。
Leybold 冷卻系統組成部件