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CRYO vacuum pumps range

低溫系統

以最穩固的可靠性，因應您的應用需求

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根據所需，取得所有必要品項

無論是配備低溫幫浦、配備製冷/製冷頭或是製冷與低溫面板組件的低溫系統：各種配置搭配我們的配件可提供最佳冷卻效能與可靠性，以滿足您的需求。 

除了低溫部件和儀表配件外，一般低溫產品都必須配備閥門和前級真空設備。

主要應用

低溫冷卻系統 < 10 K 研究與開發 新技術 工業鍍膜與製程
  • MRI (核磁共振造影)
  • 質子治療
  • 超導磁鐵
  • 加速器
  • 長晶
  • NMR (核磁共振)
  • 融合能量
  • 射電望遠鏡使用法
  • 樣品和偵測器冷卻
  • 幫浦表面冷卻
  • 太空模擬室
  • 加速器、光束線與研究腔體的幫浦抽氣
  • 高溫超導裝置
  • 氣體清潔
  • 氣體液化
  • 用於彈性和平板顯示技術中薄膜鍍膜的幫浦抽氣
  • 精密光學
  • 電子束焊接
  • 硬焊與熱處理爐的抽氣

低溫幫浦系統

幫浦涵蓋的壓力範圍為 10-3 至 ≤ 10-11 mbar。

運作原理為氣態物質透過低溫冷凝、低溫吸附或低溫陷捕的方式，與幫浦內的低溫表面結合。

冷凍幫浦的真空側沒有任何機械式移動、機油或油脂潤滑的零件。 

為了產生高真空或超高真空，必須將低溫表面/低溫面板冷卻至一定程度的低溫。其為利用 Leybold 的 COOLPOWER i 系列 (Gifford/McMahon 原理) 製造之經實證可靠性高的一或二元冷凍系統進行冷卻。 

所有氣體和空氣的抽氣速度都非常有效力，水 (H2O) 和氫氣 (H 2) 更是如此。

透過製冷頭及壓縮機的可變馬達速度，可以提高冷卻效能和冷卻速度。

使用可靠的 COOLPOWER i 製冷頭和 COOLPAK i 壓縮機所打造。 

冷凍幫浦對來自製程或外部振動的粒子引發的機械干擾並不敏感。 

運作成本低，尤其是泵送速度愈快，運作成本就更低

iSL (iSmartLine) 低溫幫浦使用自動控制，操作容易，且採用我們的 COOL.DRIVE i 控制器和選配 CRYOVISION i 視覺化工具以利監控。

此系列幫浦容易維護：現場即可馬上更換零件，無須從系統卸除幫浦。 

COOLPAK 5000i - Helium Compressor
COOLPAK i

氦氣壓縮機裝置

閱讀更多資訊

COOLVAC 10000 - Cryogenic Pump front view
COOLVAC i

冷凍真空幫浦

閱讀更多資訊

冷卻系統

提供高品質、智慧且可靠的產品，充分因應您的需求。

Leybold 冷卻系統組成部件

  • COOLPAK i：壓縮機裝置
  • COOLPOWER i：低溫製冷
COOLPAK 5000i - Helium Compressor
COOLPAK i

氦氣壓縮機裝置

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COOLPOWER - Cold Head
COOLPOWER i

冷卻頭

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