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UHV applications - XXL telescope

超高真空應用

由政府實驗室、學術單位和私人產業所進行之最複雜研究的先決條件,都是超高真空 (UHV) 條件。

國家實驗室、大型全球研究大學,以及國防、航太或分析儀器製造等產業,均採用各種真空設備來達到所需的真空度。這些組織當中有許多仰賴 Leybold 提供的特定用途真空幫浦、儀器和系統。

UHV 為真空狀態,壓力低於 10−9 mbar (或 10-7 Pa)。許多表面分析技術都必須有超高真空條件,才能減少表面污染。例如 X 射線光電子能譜法 (XPS)、歐傑電子能譜術 (AES)、二次離子質譜法 (SIMS) 或場放射顯微術 (FEM)。

薄膜的生長和準備技術必須滿足純度的嚴苛要求,例如分子束磊晶法 (MBE) 和原子層沉積法 (ALD),也同樣仰賴 UHV 條件。

在像是粒子加速器或重力波偵測器等研究應用中,超高真空條件主要用於減少射束/氣體的交互作用,並限制外部環境中不希望發生的擾動。這些真空等級需要使用特殊材質與抽氣原理。

我們提供各式各樣的先進真空解決方案,適合志向遠大的 UHV 應用。我們的元件、系統解決方案和售後服務,於全球主要研究中心在在展現出實際效益。

M-UHV 平台

模組化超高真空實驗平台

自動化選項包括

100 | 200 | 300 | 400

極限真空壓力 

< 5 x 10-10 mbar

  • 基板溫度變化範圍為 100K 至 1000K
  • 精確的溫度測量
  • 運用模組化概念加上 UHV 傳送站設備,輕鬆組裝叢集系統
  • 各種 UHV 實驗工具的隨插即用配置
  • 納入標記式試樣架
多段魯式幫浦 渦捲式幫浦 渦輪分子幫浦 (TMP) 冷凍幫浦

ECODRY Plus

優點:

SCROLLVAC plus

優點:

TURBOVAC IX & MAG W IP

TURBOLAB

優點:

COOLVAC ICL & BL

優點:

  • 適用於 UHV 的理想前級幫浦
  • 低極限真空壓力
  • 非常安靜 < 52db(A),低振動
  • 不會受到油或微粒汙染
  • 多年免維護
  • 無油
  • 安靜 55db(A)
  • 10 分鐘更換客戶 Tip seal 密封件
  • 極低極限真空壓力
  • 全系列渦輪分子幫浦與系統
  • 產生無碳氫化合物真空
  • 低極限真空壓力
  • 輕氣體的高抽氣速度
  • 低維護保養需求
  • 隨插即用幫浦系統
  • COOLVAC 冷凍幫浦具備高水蒸氣抽氣功能,且維護需求低
  • 產生清潔乾燥的真空
  •  產生低溫溫度的 COOLPOWER 製冷頭,無需液態氦與液態氮
離子吸附幫浦 & 控制器 鈦昇華幫浦 NEG 幫浦 UHV 硬體、閥、接頭

TITan & DIGITEL

優點:

優點:

優點:

優點:

  • 可在 XHV 範圍內進行無碳氫化合物操作
  • 無移動零件,無作業噪音
  • 絕對無振動
  • 對溫度、輻射和磁場的高耐受度
  • 用於清除 UHV 系統中殘餘氣體的理想幫浦
  • 適用於反應氣體的極高抽氣速度
  • 簡單又符合成本效益
  • H2 的高捕捉效率 (UHV/XHV 中的主要殘餘氣體)
  • 無振動操作
  • 無油
  • 具有 CF 法蘭的多種 UHV 閥、硬體及接頭
  • 洩漏率最低的低氣體吸收材料
  • 高焙烤溫度