可在不需要完整被動系統的環境中進行多種測量。
您可以將 UHV 熱陰極被動式真空計 (IE 系列) 與主動式粗真空至中度真空計 (TTR 系列或 CTR 系列) 結合:讓您以單一控制裝置進行從大氣壓力到 1 x 10-12 mbar/torr 的測量。
透過 IM 540 控制器,您可以插入並顯示兩個主動式感測器,並同時連接兩個 IE 感測器 (一次啟動一個),讓您安心無虞:即使在真空計故障時,也能讓您的系統保持在真空狀態。
IM 540 可以:
測量和控制從大氣到 e-12mbar/torr 的壓力
連接兩個 UHV 真空計,一次為一個真空計供電
在除氣階段期間也會進行連續的 UHV 測量 (配備最高可耐受加熱至 +250 °C 的真空計儀表頭纜線)
兩個可調整的閾值,可調整滯後現象,並可自由指定至測量通道
小巧的臺式機殼 (1/2 19",3 HU)
CE 標誌