如何使用壓差測試偵測洩漏
不使用測漏儀裝置的測漏方法
所用測試方法之間最合理的差別是是否使用特殊測漏設備。
在最簡單的情況下，可以定性判斷洩漏，當使用特定測試技術時，也可以在沒有特殊測漏儀協助的情況下定量判斷洩漏 (此為洩漏率)。因此，可以使用幾乎無法稱之為測漏儀裝置的量筒，判斷特定時間內，從洩漏水龍頭滴出來的水量。若可在搜尋洩漏期間，不使用測漏儀的情況下判斷洩漏率 (請參閱下方的壓力上升測試)，其通常會轉換為氦氣標準洩漏率。當核發接受認證時，會頻繁需要此標準洩漏率值，但在比較氦氣測漏儀裝置判斷的洩漏率值時，也可以使用此標準洩漏率值。
儘管在檢查個別工程元件時非常小心，設備在組裝之後，也可能會因密封不良或密封表面損壞而發生洩漏。用來檢查設備的製程將取決於洩漏的大小、目標緊密度，以及設備由金屬、玻璃還是其他材料製成。下文概述了一些測漏技術。我們將根據特殊應用情況選擇這些技術使用；經濟因素可能會在此方面扮演重要角色。
壓力上升測試
此洩漏測試方法利用的是洩漏將允許一定數量的氣體 (在整個時段保持均勻) 進入充分抽真空的裝置這一事實 (受到阻礙的氣體流量，請參閱圖 1.1)。相較之下，從容器壁以及用於密封的材料 (若其未充分實現無除氣) 釋放的氣體數量會隨著時間降低，因其實際上一律為在某一時間達到平衡壓力的凝結蒸氣 (請參閱圖 5.5)。已抽真空之真空容器幫浦端的閥將關閉，以準備進行壓力上升測量。然後會測量壓力上升一定量 (例如十的一次方) 的時間。閥會再次開啟，且幫浦會再次運轉一定時間，在此之後會重複製程。假定兩個壓力上升試驗之間的等待期間足夠長，如果標示此相同壓力上升量的時間保持恆定，則存在洩漏。適當等待期間的長度將取決於裝置的特性與大小。如果壓力上升在第二級段期間更穩定，則可假定上升由從容氣內部表面釋放的氣體產生。
圖 1.1 為抽真空的容器回壓的示意圖。
1 – 受到阻塞的氣流率 qm = 常數 (最大值)
2 – 未受到阻礙的氣體流量，qm 降至 Δp = 0
圖 5.5 幫浦關閉後容器內的壓力上升。
- 洩漏
- 從容器壁質變的氣體
- 洩漏 + 氣體演化
(5.3)
例如：
將體積為 4 加侖 (20L) 的真空容器與幫浦隔離之後，設備中的壓力會在 300 s 內從 1 · 10-4 mbar 上升到 1 · 10-3 mbar。因此，根據方程式 5.2，洩漏率將為
表示為質流 Δm / Δt 的洩漏率衍生自 QL = 6 · 10-5 mbar · l/s、T = 68°F (20°C) 時的方程式 5.1，以及以下情況下的空氣莫耳質量 (M = 29 g/mole)：
如果容器使用 TURBOVAC 50 渦輪分子幫浦抽真空，例如 (S = 50 l/s)，且其透過斷電閥連接至真空容器，則您可以預期約 Seff = 30 l/s 的有效抽氣速度。因此，極限真空壓力將會是
如果此極限真空壓力不足，當然可以透過使用較大容量的幫浦 (例如 TURBOVAC 151) 提高，同時可以縮短達到極限真空壓力需要的抽氣時間。
現今，真空系統的洩漏測試通常會使用氦氣測漏儀與真空方法執行 (請參閱局部真空測漏的相關頁面)。會對設備抽真空並圍繞外部噴灑測試氣體。在此情況下，其必須可以偵測 (根據設備內部的樣品) 已通過洩漏點進入設備的測試氣體。另一個選項是使用正壓洩漏測試。測試氣體 (氦氣) 用來填充檢查的設備及累積微正壓；測試氣體將通過洩漏點到達外部並在裝置外部進行偵測。洩漏點會使用洩漏噴劑 (或肥皂沫) 或 – 在使用 He 或 H2 作為測試氣體時 – 使用測漏儀與嗅探裝置定位。
