Сверхвысокий вакуум (UHV) — это режим вакуума, характеризующийся давлением ниже 10–9 мбар (или 10–7 Па). Условия сверхвысокого вакуума необходимы для многих методов анализа поверхности, таких как рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS), Оже-спектроскопия (AES), масс-спектрометрия вторичных ионов (SIMS) или эмиссионная микроскопия (FEM). Кроме того, от условий UHV зависят методы выращивания и подготовки тонких пленок со строгими требованиями к чистоте, к примеру, молекулярно-пучковая эпитаксия (MBE) и атомно-слоевое осаждение (ALD). Условия UHV необходимы для определения траекторий пучков ускорителей и работы гравитационных детекторов волн. Эти уровни вакуума требуют использования специальных материалов и принципов работы насоса.
Компания Leybold предлагает широкий ассортимент передовых вакуумных решений для применения в сложных условиях сверхвысокого вакуума. Наши компоненты, системные решения и послепродажное обслуживание продемонстрировали свои преимущества в крупнейших исследовательских центрах по всему миру.