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真空計維護與操作準則

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安裝真空傳感器 / 真空計的相關資訊

此處，真空系統周圍的外部條件與內部操作條件 (例如工作壓力、氣體含量的成分) 非常重要。傳感器的安裝只能與底部的真空法蘭垂直，以防止冷凝物、金屬薄片與碎屑收集在傳感器中，甚至防止微小螺絲等小元件掉入傳感器與測量系統中。熾熱的白熾燈絲也可能彎曲及變形不當，並在測量系統內導致短路。這是下列一般規則背後的原因：如果可以的話，請垂直安裝傳感器，並向底部開啟。如果可能，在真空系統中的這些點安裝測量系統也非常重要，這些點在操作期間將保持無振動。

必須考慮外部溫度，且必須遠離熱爐、熔爐或烤箱，或其他強輻射源，它們產生的環境溫度高於測量系統的特定可接受值。過高的環境溫度將導致導熱性真空感測器顯示錯誤的壓力指示。

測量系統的污染及其清除

真空技術中用於壓力測量的真空計肯定可以在「骯髒」的條件下工作。這是可以理解的，因為真空系統不僅會產生低壓，而且必須在低壓下執行化學、冶金或核子物理製程。在此，根據製程的特性，將連續或間歇抽排大量氣體或蒸氣；這些可能會進入測量系統，並且由於表面反應或沉積物，可能會明顯竄改壓力測量。這適用於所有類型的真空計，因此，高靈敏度、高精確度的測量系統對污染特別敏感。可以嘗試透過提供適當的屏蔽板來保護測量系統免受污染。但是，這通常會導致測量系統記錄的壓力 (確實很乾淨) 與系統中實際存在的壓力存在很大的偏差。

基本上不可能使真空計中的測量系統免受污染。因此，必須確保：

污染對壓力測量的影響盡可能小
可以輕鬆地清潔測量系統。

實務上，大多數真空計都不容易滿足這兩個條件。髒污的 THERMOVAC 傳感器在較低的測量範圍內將顯示過高的壓力，因為熱線表面已發生變更。在潘寧真空計中，污染會導致壓力讀數過低，因為放電電流將變小。若為具有熱陰極的離子化真空計，電極與管壁可能會受到污染，在某些情況下，這將導致介電強度降低。但是，在此測量系統通常可以透過通電或電子轟擊進行烘烤與除氣，這與離子化真空計通常用於超高真空範圍的事實完全不同，在超高真空範圍內，由於其他原因，必須確保乾淨的操作條件。

磁場與電場的影響

在使用離子化氣體分子作為測量原則的所有測量儀器 (冷陰極與熱陰極離子化真空計) 中，強磁漏場或電位會對壓力指示產生重大影響。在低壓下，偏離陰極電位的壁電位也可能會影響離子阱電流。

在高真空與超高真空中使用的真空測量系統中，必須確保操作期間也保持高壓電極與離子阱所需的高絕緣值，有時甚至在烘烤程序期間也得以保持。絕緣瑕疵可能發生在外部饋線與測量系統本身內部。阱 (偵測器) 引線的絕緣不足可能會導致潛變電流 (低壓下) 引發過高的壓力值讀數。若離子阱電流非常低，則此引線的絕緣性必須非常好。在測量傳感器內部，如果阱未有效地屏蔽其他電極，則可能會發生潛變電流。

將測量傳感器連接到真空系統時，經常發生的錯誤是使用了無法接受的長且窄的連接器管路。氣導值必須保持盡可能大。最有利的解決方案是使用整合式測量系統。當時用氣導值較低的連接器管件時，壓力指示可能過高或過低。在此，測量錯誤可能超過十！當系統可以烘烤時，必須確保連接器管件也可以加熱。