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有哪些不同類型的真空幫浦

透過以下方式分享：

真空的基本定義

真空幫浦可用來降低特定體積的氣體壓力，並進而降低氣體密度 (見方程式 1.5)。因此，請考慮需要從體積中去除的氣體微粒。

Leybold - Vacuum Fundamentals graphics

(1.5)

幫浦類別的分類

a) 透過一或多個壓縮級段，將氣體微粒從要抽排的體積中去除，並排至大氣的真空幫浦 (壓縮幫浦)。氣體微粒會透過排氣或脈衝傳送來抽排。

b) 要去除的氣體微粒會凝結在或以其他方式 (例如化學方式) 附著到固體表面 (這通常是邊界形成體積本身的一部分) 上的真空幫浦。

幫浦技術類型的介紹

與最先進及實際的應用更加貼近的分類會在下列類型的幫浦之間做出區別，其中前三種類型屬於壓縮幫浦，其餘兩種類別屬於冷凝及吸附幫浦：

透過定期增加及減少幫浦腔室體積來操作的幫浦 (迴轉葉片與迴轉活塞幫浦，以及擺線幫浦)
將氣體量從低壓側輸送至高壓側，而不改變幫浦腔體體積的幫浦 (魯式幫浦、渦輪分子幫浦)
抽氣效果主要以氣體進入無氣體高速蒸氣噴嘴 (蒸氣幫浦) 的擴散為基礎的幫浦
透過冷凝 (冷凝器) 抽排蒸氣的幫浦及透過在非常低的溫度下冷凝來抽排永久氣體的幫浦 (冷凍幫浦)
透過吸附或吸收至本質上無氣體的表面來附著或混合氣體的幫浦 (吸附幫浦)。

對於這些真空幫浦類別的調查在表 2.1 的圖中提供。

表 2.1 真空幫浦的分類

部落格與 Wiki 幫浦類型真空產生真空基本要素

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參考

真空符號
單位詞彙表
參考與來源

真空符號

作為幫浦系統中幫浦類型與零件之視覺表示的真空技術圖中常用符號的詞彙表

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單位詞彙表

真空技術中使用之測量單位與符號意義，以及歷史單位之現代對應項的概觀

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