有哪些不同類型的真空幫浦
真空的基本定義
(1.5)
幫浦類別的分類
a) 透過一或多個壓縮級段，將氣體微粒從要抽排的體積中去除，並排至大氣的真空幫浦 (壓縮幫浦)。氣體微粒會透過排氣或脈衝傳送來抽排。
b) 要去除的氣體微粒會凝結在或以其他方式 (例如化學方式) 附著到固體表面 (這通常是邊界形成體積本身的一部分) 上的真空幫浦。
幫浦技術類型的介紹
與最先進及實際的應用更加貼近的分類會在下列類型的幫浦之間做出區別，其中前三種類型屬於壓縮幫浦，其餘兩種類別屬於冷凝及吸附幫浦：
表 2.1 真空幫浦的分類
真空技術的基本要素
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參考
