滲漏檢測
瞭解真空幫浦系統洩漏的意義,並探索如何偵測及測量洩漏。取得對於使用日常方法進行傳統洩漏測試的介紹。閱讀如何在測漏儀裝置中使用質譜分析以進行更專業化偵測的概觀。本節也涵蓋氦氣測漏儀、校正與工業測試的優點。
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