什麼是追蹤氣體？為什麼在測漏儀中使用氦氣？
氦氣的優點
基於一些原因，氦氣是適用於測漏的理想測試氣體。空氣中氦氣的濃度較低，在大氣中僅為約 5ppm，這表示其擁有非常小的背景。氦氣是除了氫氣以外最小的氣體原子。氦氣也是惰性氣體，這表示其不會與其他物質發生反應，進而成為一種相對穩定的元素。此外，氦氣也很環保：無毒、不易燃易爆。對人類安全也很有益，因為它是一種相對無害的物質。氦氣不會在空氣中累積，這使其易於通氣並消除了對特定暴露法規的需求。
氦氣的另一個優點是在整個技術應用範圍內都不會凝結，且比空氣輕，這表示測漏製程會在測試氣體可以向上逸出這一事實的協助下進行。它可以極好地分離質譜儀中的相鄰質量。技術設備可以非常出色地處理氦氣，因為偵測器可以很好地分離氦氣，使其非常適合與包含具有質譜儀的測漏儀在內的技術設備搭配使用。
氦氣也適合真空系統的高靈敏度洩漏測試方法，因其幾乎可以在系統的任何位置偵測洩漏。而且，氦氣也可協助實現高準確度的讀數，因其不會大量累積，也不會竄改測量。最終，氦氣在工業應用方面很有益，可以廣泛應用且價格合理。
如何將氦氣與測漏儀搭配使用
測漏儀是分壓測量裝置。其測量真空幫浦進氣口的氦氣分壓。測漏儀會將氦氣分壓轉換
為其顯示的洩漏率。「洩漏率」是通過洩漏點之追蹤氣體的氣體流量。單位是「mbar*l/s」或「Pa*m³/s」。通常，會使用「標準洩漏率」一詞，即追蹤氣體將從大氣壓力流入真空。否則，您無法比較洩漏率，因為洩漏率取決於洩漏點兩側的現有壓力。如需詳細資訊，請參閱洩漏類型與洩漏率相關頁面。
現在，氦氣測漏儀是在低於 10-6 mbar 壓力位準的情況下尋找洩漏點的唯一可靠方法，因其比諸如氣泡測試的傳統測試方法準確很多。使用氦氣的洩漏測試稱為嗅探測試 (如需更多資訊，請參閱局部與整體測試相關頁面。)
其他追蹤氣體
氦氣相當獨特，因為其他所有氣體都不像它提供的所有屬性這樣如此適合用來在真空系統中測漏。雖然也可以使用氫氣作為替代追蹤氣體，但其可能會爆炸且需要高度稀釋才能安全使用。但是相較於氫氣，氦氣符合對追蹤氣體的所有需求，因為它對人類與環境都很安全、不易燃、並非正常存在於空氣中 (使其易於偵測及避免污染)，且與其他氣體不同 (表示其在測試洩漏時為可測量)。現在，氦氣已變成用於工業洩漏測試之測漏儀的標準追蹤氣體。
Fundamentals of Vacuum Technology
Download our e-Book "Fundamentals of Vacuum Technology" to discover vacuum pump essentials and processes.
References
- Vacuum symbols
- Glossary of units
- References and sources
Vacuum symbols
A glossary of symbols commonly used in vacuum technology diagrams as a visual representation of pump types and parts in pumping systems
Glossary of units
An overview of measurement units used in vacuum technology and what the symbols stand for, as well as the modern equivalents of historical units
References and sources
References, sources and further reading related to the fundamental knowledge of vacuum technology
