如何建立無油真空及處理幫浦中的碳氫化合物蒸氣

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回流蒸氣幫浦液、油蒸氣、迴轉幫浦潤滑油及其裂解產物可能會顯著干擾真空中的各種工作製程。因此，建議特定應用使用可靠排除碳氫化合物蒸氣的幫浦與裝置。

碳氫化合物為碳與氫組成的化合物，這是例如油與氣體等日常燃料的基礎物質。從幫浦中消除此類碳氫化合物最終將可減少操作與維護成本。碳氫化合物蒸氣的排除可以透過使用各種方法來處理。某些幫浦類型更適合此類製程，這表示當選擇幫浦類型時，需要考慮下列因素。

粗真空區域 (1013 至 1 mbar)

大型水噴嘴、蒸氣噴射或水環幫浦可以取代迴轉幫浦使用。針對批次排空，以及濺鍍離子幫浦的無碳氫化合物前級真空的產生，適合使用吸附幫浦。如果無法避免使用油封式迴轉葉片幫浦，基本上應使用雙級段迴轉葉片幫浦。從這些幫浦的進氣口回流的少量油蒸氣幾乎可由插入到抽氣管線中的吸附阱 (參閱迴轉幫浦的配件頁面) 完全去除。

中度真空區域 (1 至 10^-3 mbar)

針對抽排此壓力區域中的大量氣體，蒸氣噴射幫浦顯然是最適合的產品。使用水銀蒸氣噴射幫浦可以產生完全無油的真空。需要注意的是，建議插入以液態氮冷卻的冷阱，以防有害的水銀蒸氣進入容器中。對於在 a) 之下說明的中度真空吸附阱，可以使用雙級段迴轉葉片幫浦來產生低於 10^-4 mbar 的幾乎無油的真空。

使用吸附幫浦可在中度真空區域中產生絕對無油的真空。由於這些適用於質輕惰性氣體的幫浦的抽氣動作很小，一開始時填充空氣的容器只能由這些幫浦抽真空至約 10^-2 mbar。然後只有在要抽排的混合氣體中不存在氖或氦的情況下，才能透過吸附幫浦產生 10^-3 mbar 或以下的壓力。在此類行況下，先在容器中充滿氮氣然後再將它抽出，對於排出空氣而言很有用。

高與超高真空區域 (< 10^-3 mbar)

當必須抽氣的壓力區域中存在明顯的氣體演化時，應使用渦輪分子幫浦或冷凍幫浦。濺鍍離子幫浦特別適合在製程不會釋放大量氣體的密封系統中長時間維持最低可能壓力。磁懸浮渦輪分子幫浦也可保證無碳氫化合物的真空。但是，儘管關閉了這些幫浦，油蒸氣仍可透過幫浦進入容器中。藉由適當的方法 (例如使用隔離閥或用氬回壓容器)，可在幫浦靜止時防止容器壁污染。如果強調的是使用渦輪分子幫浦產生「無碳氫化合物真空」，則應搭配使用混合式渦輪分子幫浦與隔膜幫浦，或與渦卷式幫浦結合的典型渦輪分子幫浦作為無油前級幫浦。

部落格與 Wiki 抽氣製程真空產生真空基礎說明