幫浦過濾器如何運作？
使用迴轉幫浦配件建立無油真空
在真空製程期間，對迴轉幫浦有害的物質可能存在於真空腔室中。有多種配件可以防止污染，如下所述。我們會特別討論使用專用過濾器或吸附阱減少水蒸氣、油蒸氣及灰塵微粒。
消除水蒸氣
濕式真空製程中會出現水蒸氣。這可能會導致水在進氣管線中沉積。如果此凝結到達幫浦的進氣口，便可能產生幫浦油的污染。如此會大幅削弱油封式幫浦的抽氣效能。再者，透過幫浦的出口閥排放的水蒸氣可能會在排放出口管線中凝結。如果未正確安排出口管線，凝結可能會經由排放出口閥向下流到幫浦的內部。因此，在存在水蒸氣及其他蒸氣時，強烈建議使用冷凝阱。如果未將排放出口管線連接到氣鎮幫浦 (例如使用較小的迴轉葉片幫浦)，則建議使用排放過濾器。這些過濾器會捕捉從幫浦中排放的油霧。
某些幫浦擁有可輕鬆更換的濾芯，不僅可阻擋油霧，還可清潔循環幫浦油。每當存在的水蒸氣量大於幫浦的水氣耐受度時，應始終在容器與幫浦之間安裝冷凝器。(如需詳細資訊，請參閱冷凝器)
消除灰塵
例如灰塵與砂礫等固體雜質會明顯增加活塞與幫浦外殼內部表面上的磨損。如果存在此類雜質可能浸入幫浦中的危險，應在幫浦進氣管線中安裝灰塵分離器或灰塵過濾器。現今不僅提供具有非常大的外殼與相配過濾器嵌件的便利型過濾器，還有安裝在小型法蘭中心環中的細網過濾器。如有需要，建議用 KF 轉接器加寬橫截面。
消除油蒸氣
圖 2.40 中度真空吸附阱的橫截面。
- 外殼
- 固定篩網的籃子
- 分子篩網 (填充)
- 密封法蘭
- 附帶小型法蘭的進氣口
- 上段
- 加熱器或冷媒容器
- 連接到幫浦具有小型法蘭的一側
如果在持續操作之下，於油封式迴轉葉片幫浦的進氣管線中安裝前級吸附阱，則建議使用平行的兩個吸附阱，每一個都由閥隔開。經驗顯示，作為吸附材料使用的沸石會在運轉約 10 – 14 天之後失去其大部分吸附能力，在此之後便可使用現在再生的另一個吸附阱；因此製程可以持續不受中斷。透過加熱現在已不在抽氣管線中連接的吸附阱，能夠透過輔助幫浦以最方便的方式抽出從沸石表面逸出的蒸氣。在操作中，由氣鎮幫浦抽氣一般會導致覆蓋另一個未加熱吸附阱中的沸石，並因此提前減少此阱的吸附容量。
