Aplicaciones de ultra alto vacío
Las condiciones de ultra alto vacío (UHV) son un requisito previo para la mayoría de los estudios complejos llevados a cabo por laboratorios gubernamentales, instituciones académicas y la industria privada.
Los laboratorios nacionales, las grandes universidades de investigación mundiales y las industrias, como la de defensa, la aeroespacial o la de fabricación de instrumentos analíticos, utilizan una amplia gama de equipos de vacío para alcanzar los niveles de vacío necesarios. Muchas de estas organizaciones confían en Leybold para bombas, instrumentos y sistemas de vacío muy específicos.
El ultra alto vacío es el régimen de vacío caracterizado por presiones inferiores a 10−9 mbar (o 10-7 Pa). Las condiciones de ultra alto vacío son necesarias para reducir la contaminación superficial en muchas técnicas de análisis de superficies, como la espectroscopia de fotoelectrones emitidos por rayos X (XPS), la espectroscopia electrónica Auger (AES), la espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) o la microscopía de emisión de campo (FEM).
Las técnicas de crecimiento y preparación de películas finas con requisitos estrictos de pureza, como el crecimiento epitaxial por haces moleculares (MBE) y la deposición de capa atómica (ALD), también dependen de las condiciones de ultra alto vacío.
En las aplicaciones de investigación, como los aceleradores de partículas o los detectores de ondas gravitacionales, las condiciones de ultra alto vacío contribuyen principalmente a reducir las interacciones entre los haces y los gases y a limitar las perturbaciones no deseadas del exterior. Estos niveles de vacío exigen el uso de materiales y principios de bombeo especiales.
Ofrecemos una amplia gama de soluciones de vacío avanzadas para su uso en ambiciosas aplicaciones de ultra alto vacío. Nuestros componentes, soluciones de sistemas y servicios posventa han demostrado sus ventajas en los principales centros de investigación de todo el mundo.
Plataformas modulares de ultra alto vacío
Plataformas modulares de experimentación de ultra alto vacío
Las opciones basadas en la automatización incluyen
100 | 200 | 300 | 400
Presión final
<5 x 10-10 mbar
- Variación de la temperatura del sustrato de 100 K - 1000 K
- Medición precisa de la temperatura
- El concepto modular junto con las instalaciones de la estación de transferencia de ultra alto vacío facilitan el montaje de los sistemas de agrupado (clúster)
- Configuración lista para funcionar para una amplia gama de herramientas de experimentación de ultra alto vacío
- Portamuestras de tipo bandera integrado
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