Aplicaciones de ultra alto vacío

Las condiciones de ultra alto vacío (UHV) son un requisito previo para la mayoría de los estudios complejos llevados a cabo por laboratorios gubernamentales, instituciones académicas y la industria privada.

Los laboratorios nacionales, las grandes universidades de investigación mundiales y las industrias, como la de defensa, la aeroespacial o la de fabricación de instrumentos analíticos, utilizan una amplia gama de equipos de vacío para alcanzar los niveles de vacío necesarios. Muchas de estas organizaciones confían en Leybold para bombas, instrumentos y sistemas de vacío muy específicos.

El ultra alto vacío es el régimen de vacío caracterizado por presiones inferiores a 10⁻⁹ mbar (o 10^-7 Pa). Las condiciones de ultra alto vacío son necesarias para reducir la contaminación superficial en muchas técnicas de análisis de superficies, como la espectroscopia de fotoelectrones emitidos por rayos X (XPS), la espectroscopia electrónica Auger (AES), la espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) o la microscopía de emisión de campo (FEM).

Las técnicas de crecimiento y preparación de películas finas con requisitos estrictos de pureza, como el crecimiento epitaxial por haces moleculares (MBE) y la deposición de capa atómica (ALD), también dependen de las condiciones de ultra alto vacío.

En las aplicaciones de investigación, como los aceleradores de partículas o los detectores de ondas gravitacionales, las condiciones de ultra alto vacío contribuyen principalmente a reducir las interacciones entre los haces y los gases y a limitar las perturbaciones no deseadas del exterior. Estos niveles de vacío exigen el uso de materiales y principios de bombeo especiales.

Ofrecemos una amplia gama de soluciones de vacío avanzadas para su uso en ambiciosas aplicaciones de ultra alto vacío. Nuestros componentes, soluciones de sistemas y servicios posventa han demostrado sus ventajas en los principales centros de investigación de todo el mundo.

Plataformas modulares de ultra alto vacío

Plataformas modulares de experimentación de ultra alto vacío

Las opciones basadas en la automatización incluyen

100 | 200 | 300 | 400

Presión final

<5 x 10^-10 mbar

Variación de la temperatura del sustrato de 100 K - 1000 K
Medición precisa de la temperatura
El concepto modular junto con las instalaciones de la estación de transferencia de ultra alto vacío facilitan el montaje de los sistemas de agrupado (clúster)
Configuración lista para funcionar para una amplia gama de herramientas de experimentación de ultra alto vacío
Portamuestras de tipo bandera integrado

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Bomba auxiliar ideal para ultra alto vacío Baja presión final Muy silenciosa <52 dB(A), bajas vibraciones Sin contaminación con aceite ni partículas Sin necesidad de mantenimiento durante muchos años	Exenta de aceite Silenciosa 55 dB(A) Cambio de la junta de la punta del cliente en 10 minutos Presión final muy baja	Gama completa de bombas y sistemas turbomoleculares Generación de vacío sin hidrocarburos Baja presión final Alta velocidad de bombeo para gases ligeros Requisitos de mantenimiento bajos Sistemas de bombas listos para funcionar	Bombas criogénicas COOLVAC con alta capacidad de bombeo de vapor de agua y requisitos de mantenimiento bajos Generación de vacío limpio y seco Cabezas de refrigeración COOLPOWER para la generación de temperatura criogénica sin necesidad de helio líquido ni nitrógeno líquido

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Baja presión final
Muy silenciosa <52 dB(A), bajas vibraciones
Sin contaminación con aceite ni partículas
Sin necesidad de mantenimiento durante muchos años

Exenta de aceite
Silenciosa 55 dB(A)
Cambio de la junta de la punta del cliente en 10 minutos
Presión final muy baja

Gama completa de bombas y sistemas turbomoleculares
Generación de vacío sin hidrocarburos
Baja presión final
Alta velocidad de bombeo para gases ligeros
Requisitos de mantenimiento bajos
Sistemas de bombas listos para funcionar

Bombas criogénicas COOLVAC con alta capacidad de bombeo de vapor de agua y requisitos de mantenimiento bajos
Generación de vacío limpio y seco
Cabezas de refrigeración COOLPOWER para la generación de temperatura criogénica sin necesidad de helio líquido ni nitrógeno líquido

Controladores y bombas de iones	Bombas de sublimación de titanio	Bombas NEG	Hardware, válvulas y accesorios para ultra alto vacío
TITan y DIGITEL Ventajas:	Ventajas:	Ventajas:	Ventajas:
Funcionamiento sin hidrocarburos en la gama de vacío extremadamente alto Sin piezas móviles ni ruido de funcionamiento Ausencia total de vibraciones Alta tolerancia a la temperatura, la radiación y los campos magnéticos	Bomba ideal para eliminar gases residuales en sistemas de ultra alto vacío Velocidad de bombeo muy alta para gases reactivos Sencilla y rentable	Alta eficiencia de captura de H2 (gas residual principal en condiciones de ultra alto vacío/vacío extremadamente alto) Funcionamiento sin vibraciones Exenta de aceite	Amplia gama de válvulas, hardware y accesorios para ultra alto vacío con bridas CF Materiales de baja reabsorción de gases con las mínimas fugas Altas temperaturas de secado en horno

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Bomba ideal para eliminar gases residuales en sistemas de ultra alto vacío
Velocidad de bombeo muy alta para gases reactivos
Sencilla y rentable

Alta eficiencia de captura de H2 (gas residual principal en condiciones de ultra alto vacío/vacío extremadamente alto)
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