Residual gas analyzers banner

Analizadores de gases residuales

LEYSPEC

La familia de analizadores de gases residuales (RGA) LEYSPEC permite un uso sencillo e intuitivo.

Con solo pulsar un botón, puede ver las presiones parciales de los principales gases y, si el proceso incluye un gas adicional, puede asignarlo al canal de visualización libre. 

Debido a las altas temperaturas de bake-out que se pueden alcanzar, el analizador LEYSPEC es ideal para aplicaciones exigentes de alto y ultra alto vacío. 

Principio de funcionamiento

La celda de medición es un medidor de vacío con ionización de cátodo caliente. Los electrones se emiten desde los filamentos calientes y se aceleran hacia la fuente a través de una derivación eléctrica. Los electrones de movimiento rápido chocan con las moléculas de gas, desalojando e ionizando los electrones. Los iones de gas positivos transmiten su corriente al colector de iones con carga negativa. La corriente de iones es proporcional a la presión. Cuantos más iones haya, mayor es la corriente. La matriz cuadrupolar está compuesta por cuatro barras de acero inoxidable. Se aplica una corriente continua y una tensión de alta frecuencia a todas las barras. Esto crea un campo magnético complejo. Al variar la tensión, se controla el campo magnético. 

La vibración resultante solo permite que los iones de una masa específica “vuelen” a través de ella y alcancen la parte de detección: 

  • Los iones con una relación masa/carga adecuada (m/e) oscilarán en una trayectoria tridimensional estable a través de los polos. 
  • Los iones con una m/e incorrecta oscilarán fuera de control y colisionarán con los polos.

Los iones llegan al colector de iones y proporcionan una corriente de salida que es una medida de la abundancia relativa de los iones que pasan a través del filtro. La corriente de iones o la presión parcial contra la relación m/z se muestran en la unidad o en el software.

Basándose en el principio de funcionamiento descrito, el RGA LEYSPEC verifica la pureza del gas identificando y mostrando la composición del gas. Esto permite al LEYSPEC detectar los contaminantes del gas y ejercer un mayor control del proceso y del equipo para optimizar de forma general el rendimiento del proceso y el resultado.

Dispositivo todo en uno para un uso sencillo e intuitivo

Gracias a su alta sensibilidad, el analizador de gases residuales LEYSPEC puede detectar trazas muy pequeñas de contaminantes o gases de proceso. La gama de productos incluye soluciones para 100, 200 y 300 unidades de masa atómica (UMA). Es posible una temperatura de vaporización de hasta 300 °C para operaciones en entornos más adversos.

El LEYSPEC se puede utilizar intuitivamente con su propio software y su unidad de control y visualización integrada. Es posible realizar un análisis sencillo de gases residuales sin conectarlo a un ordenador. Los gases principales se pueden ver con solo pulsar un botón, y hay disponible un canal de visualización libre para mostrar los gases adicionales.

Es adecuado también para procedimientos de prueba exigentes y análisis de gases residuales en sistemas de alto vacío.

Con funciones preinstaladas en el LEYSPEC, como la prueba de fugas de helio, las advertencias y los niveles de error para gases seleccionables, así como una función de desgasificación tras el inicio o la ventilación, este analizador de gases residualeses un gran complemento para cualquier sistema.

LEYSPEC Cart

El sistema móvil de análisis de gases residuales

El LEYSPEC Cart incorpora un sistema de bombeo diferencial totalmente integrado para ofrecer la máxima flexibilidad y facilidad de manejo.

Se trata de un sistema de bombeo completamente independiente que se adapta fácilmente a una amplia serie de tareas de medición, con una rápida preparación operativa y operabilidad a diversas presiones. 

Nuestras soluciones:

  • Sistema de bombeo independiente con SCROLLVAC 7 plus y TURBOVAC 350 i 
  • Control de procesos integrado para un funcionamiento rápido y sencillo
  • Software sencillo e intuitivo para el RGA LEYSPEC
  • Completamente integrado en un carro móvil independiente
  • Válvula de aguja de ultra alto vacío para un uso flexible a diferentes niveles de presión hasta el nivel atmosférico
LEYSPEC Cart

Características

Compacto y sencillo

Todos los productos incluyen una pantalla integrada para un uso fácil y rápido, así como el software LEYSPEC para procedimientos de prueba sofisticados y análisis de gases residuales. Con un tamaño compacto y montaje en cualquier orientación, la gama de productos LEYSPEC se adapta perfectamente a las diferentes situaciones de integración.

Gracias a su interfaz intuitiva, el analizador de gases residuales LEYSPEC es muy fácil de utilizar. Con solo pulsar un botón, puede ver las presiones parciales de los principales gases y, si el proceso incluye un gas adicional, puede asignarlo al canal de visualización libre.

Software intuitivo

El  inteligente e intuitivo software LEYSPEC completa la oferta. La interfaz intuitiva es compatible con una amplia variedad de casos prácticos, desde un funcionamiento sencillo hasta un análisis complejo. Crear recetas es tan fácil como debería: rápido y cómodo.

Durante el funcionamiento, se muestra la presión total y se pueden elegir diferentes vistas para ajustarlas al objetivo del análisis. Elija entre el modo de exploración, el modo de tendencias o el modo analógico.

Alta sensibilidad

La familia de productos LEYSPEC ofrece una sensibilidad muy alta para un análisis preciso de los gases residuales. Esto permite detectar incluso trazas muy pequeñas de contaminantes o gases de proceso.

El LEYSPEC verifica la pureza del gas identificando y mostrando su composición. Eso hace que se identifiquen los contaminantes del gas y se ejerza un mayor control del proceso y del equipo para optimizar de forma general el rendimiento del proceso y el resultado.

Flexible

La nueva serie LEYSPEC es la solución perfecta para cualquier aplicación de espectrometría de masas. Centrándose en el análisis de gases residuales, la gama de productos ofrece soluciones para 100, 200 o 300 unidades de masa atómica (UMA), dependiendo de los requisitos del proceso.

Funciones avanzadas

Las funciones de software preinstaladas permiten muchas configuraciones y procedimientos de prueba adicionales, como una prueba de fuga de helio o el establecimiento de advertencias y niveles de error para gases seleccionables. Se ha implementado una función de desgasificación programable para facilitar la desgasificación del proceso tras el inicio o la exposición a la atmósfera. La supresión del background permite centrarse en los picos importantes.

Altas temperaturas de bake-out

Con sus altas temperaturas de bake-out de hasta 300 °C, el LEYSPEC Ultra es perfecto para aplicaciones sofisticadas de alto y ultra alto vacío. La gama LEYSPEC Ultra ofrece una temperatura de bake-out muy elevada, por lo que incluso en los entornos más adversos se puede realizar un análisis de gases fiable.

El RGA LEYSPEC ofrece una sensibilidad muy alta combinada con un software intuitivo que permite todos los procedimientos de prueba básicos y avanzados

Contact Leybold

¡Hablemos!

Estamos muy cerca de nuestros clientes. Contáctenos para resolver todas sus dudas.