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在定性分析中,會將未知光譜與資料庫中的已知光譜比較。每種氣體都會由其光譜「明確決定」。與資料庫資料的比較是一種簡單的模式辨識製程。根據可用性,可能會使用任何數量的輔助進行比較。因此,例如根據五或十個最高峰值的位置、大小與順序。當然,只能在標準化光譜之後,透過將最高線條的高度設定為等於 100 或 1000 進行比較 (請參閱表 4.5 作為範例)。
比較可根據表集合手動進行 (例如 A. Cornu & R. Massot:質譜資料的編輯),也可在電腦協助下受到影響;可以使用大型資料庫 (例如質譜資料庫、皇家化學學會、劍橋)。
當與資料庫資訊進行比較時,需要注意是否使用相同的離子源或至少相同的電子衝擊能量。
但是所有這些功能對於在真空技術中遇到的問題而言通常都太精密。許多商用質譜儀可以在畫面中顯示一些資料庫光譜,讓使用者可以立即看到「資料庫物質」是否可能包含在測量的物質中。通常,測量的光譜由氣體混合產生,在畫面能夠減去 (透過試驗) 所測量光譜中個別 (或多種) 氣體的光譜時特別方便。只有在減去不會針對主要峰值產生任何負值時,氣體才會存在。圖 4.16 顯示使用 Transpector-Ware 軟體的此類逐步減去程序。
無論定性分析準備情況如何,結果始終只是一種「建議」,即關於混合物可能包含之氣體的假設。仍必須對此建議進行檢查,例如透過考慮特定物質將包含在光譜中的可能性。此外,記錄此物質的新光譜可協助獲得清晰度。