초고진공 응용 분야
UHV(초고진동) 상태는 정부 연구소, 학계 및 민간 산업에서 수행하는 대부분의 복잡한 연구를 위한 필수 조건입니다.
국립 연구소, 대형 글로벌 연구 대학, 국방, 항공우주 또는 분석 기기 제조에서는 다양한 진공 장비를 사용하여 필요한 수준의 진공을 달성합니다. 이러한 조직 중 상당수는 Leybold를 통해 구체적인 진공 펌프, 기기 및 시스템을 사용합니다.
UHV는 10~9mbar(또는 10~7Pa)보다 낮은 압력이 특징인 진공 체제입니다. 초고진공 상태는 많은 표면 분석 기법에서 표면 오염을 줄이는 데 필요합니다. 대표적인 예는 X선 광전자 분광법(XPS), 오제 전자 분광법(AES), 보조 이온 질량 분광법(SIMS) 또는 전자 방출 현미경법(FEM)입니다.
분자선 에피택시(MBE)와 원자층 증착(ALD)처럼 순도에 관한 엄격한 요구 사항이 적용되는 박막 성장 및 준비 기법에도 UHV 상태가 필요합니다.
입자 가속기나 중력파 감지기 같은 연구 응용 분야에서 초고진공 상태는 주로 빔과 가스의 상호 작용을 줄이고 외부 환경에서 발생하는 원치 않는 교란을 제한하는 데 도움이 됩니다. 이러한 진공 수준을 달성하려면 특수 소재와 펌핑 원리를 사용해야 합니다.
Leybold는 야심 찬 UHV 응용 분야에서 사용할 수 있는 다양한 고급 진공 솔루션을 제공합니다. Leybold의 구성품, 시스템 솔루션 및 애프터세일즈 서비스는 전 세계 주요 연구 센터에서 이점을 제공하고 있습니다.
M-UHV 플랫폼
모듈식 초고진공 실험 플랫폼
자동화 기반 옵션 포함 사항
100 | 200 | 300 | 400
최종 압력
< 5 x 10-10mbar
- 100K ~ 1000K의 기질 온도 변화
- 정확한 온도 측정
- 모듈식 개념과 UHV 전송 스테이션 시설 덕분에 클러스터 시스템을 쉽게 조립 가능
- 광범위한 UHV 실험 도구의 플러그 앤 플레이 구성
- 플래그형 검체 홀더 통합
- 관련 응용 분야
- 관련 제품
- 장점
| 다단 루츠 펌프 | 스크롤 펌프 | 터보 분자 펌프(TMP) | 극저온 펌프 |
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ECODRY Plus 장점: |
SCROLLVAC Plus 장점: |
TURBOVAC IX & MAG W IP TURBOLAB 장점: |
COOLVAC ICL & BL 장점: |
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| 이온 게터 펌프 및 컨트롤러 | 티타늄 승화 펌프 | NEG 펌프 | UHV 하드웨어, 밸브, 피팅 |
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TITan & DIGITEL 장점: |
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