액티브 및 패시브 구성 모두 사용 가능, Leybold의 모든 게이지는 Leybold의 전용 액티브 게이지 컨트롤러 중 하나인 GRAPHIX 또는 DISPLAY를 통해 쉽게 통합이 가능합니다.
THERMOVAC 및 PENNINGVAC 게이지는 TURBO.CONTROLi 펌프 및 게이지 컨트롤러와도 호환됩니다.
또는 0~10V/직렬 통신을 간단히 출력하여 PLC로 쉽게 연결할 수 있습니다.
진공 측정 작업
대부분의 환경에 대한 광범위한 견고성은 저진공에서 중진공 수준으로 작동합니다.
10-2에서 10-9mbar/torr 사이에서 측정
종종 피라니 게이지로 고진공 펌프를 사용하는 시스템을 측정합니다.
중진공 압력에서 초고진공 압력까지 정확하게 측정합니다.
열음극 이온화는 센서 헤드에 내장된 뜨거운 필라멘트 방출 이온이 있다는 점에서 냉음극과 다릅니다. 이 기술은 중진공 압력에서 초고진공 압력(10-12mbar/torr)까지 측정할 수 있으며, 더 많은 보호 기능을 필요로 하는 센서 헤드 탓에 더 복잡한 설계에서는 더 높은 소유 비용이 발생합니다.
냉음극 기술과 마찬가지로, 약 10-2mbar/torr에서 측정을 중단하기 때문에 일반적으로 통합형 피라니와 결합하여 단일 게이지에서 전반적인 범위 측정을 제공합니다.
또한, 주요 유형은 베이어드-알퍼트(ITR 또는 IE 414) 및 추출기(IE 514)인 열음극 기술의 버전과 다릅니다. 추출기 기술은 10-12mbar/torr로 측정할 수 있는 기능을 갖춘 최저 압력 측정을 제공합니다