유리 표면의 진공 코팅
건축용 유리 코팅 및 자동차 유리
현재 우리가 접하는 유리 표면은 BC 2500년경에 발명된 최초의 유리에서 엄청나게 발전한 제품입니다. 모든 현대 유리는 투과되는 빛과 태양열 수준에 영향을 주는 얇은 막으로 코팅되어 있습니다. 이렇게 얇은 막으로 코팅한 유리는 유리를 사용하는 건물과 차량이 더욱 편안하게 느껴지게 하며, 환기 및 공조 시스템의 효율을 개선하기도 합니다.
또한 유리 코팅은 유리 표면의 색상과 반사에 영향을 주어 외형을 바꾸기도 합니다. 현대적인 도시의 마천루는 진공 코팅된 판유리를 이용해 단열 효과와 정확한 색상을 통해 아름다운 외관을 선사합니다.
유리 생산 과정에서의 진공 스퍼터링
PVD(물리적 기상 증착)에 의한 진공 스퍼터링은 코팅된 유리를 생산하는 가장 일반적인 프로세스입니다. 이 프로세스에서는 재료를 진공 챔버에 놓은 다음 "스퍼터링"이라는 프로세스를 진행하여 금속, 금속 산화물 및 질화물 층을 아르곤, 질소 및 산소 같은 프로세스 가스를 사용하여 유리에 증착합니다. 이러한 진공 스퍼터링 프로세스는 코팅을 조성과 두께가 서로 다른 여러 층으로 구성된 유리에 증착합니다. 대부분 연중무휴로 작동하는 PVD 장비가 이 프로세스를 담당하는 진공 시스템을 구성합니다. 따라서 PVD 장비 제조업체는 지속적인 생산을 지원할 수 있는 견고한 진공 펌프를 원합니다.
Leybold는 진공 스퍼터링 응용 분야에 필요한 모든 제품을 제공하며, 대표적인 예는 다음과 같습니다.
- 보조 펌프(예: ‘전방’ 진공): 극도로 짧은 주기로 프로세스 챔버에 판유리를 적재할 수 있도록 로드 록 챔버를 배출하는 데 사용하는 빠르고 견고한 러핑 펌프입니다. 일반적으로 분당 펌프 주기가 2~3회이며, 압력이 1000에서 1mbar가 됩니다. 당사는 SCREWLINE, POWER BOOST, DRYVAC, SOGEVAC 및 RUVAC 펌프를 비롯한 다양한 러핑 진공 펌프를 제공합니다.
- 고압 진공 펌프: 프로세스 챔버에서 진공 시스템은 5x10-6mbar까지 빠르게 펌핑하고 아르곤, 질소 및 산소 부하가 있을 때 10-2~10-3mbar 압력 범위에서 계속 작동해야 합니다.
프로세스 챔버에서 어떠한 오일 및 먼지도 없이 고진공 펌핑이 수행되게 하려면 TURBOVAC i, TURBOVAC MAG 및 COOLVAC 펌프 제품군을 사용해야 합니다. 보다 단순한 프로세스 조건을 원한다면 확산 펌프(DIJ 및 DIP)를 사용하십시오. 어떤 고진공 시스템을 선택하더라도, 시스템이 고하중 불활성 및 프로세스 가스 혼합물을 이용해 장시간 지속적으로 작동할 수 있어야 한다는 점을 명심해야 합니다.
- 유지 보수 및 예비 부품: 당사의 진공 펌프는 최고 품질의 부품을 보증하지만, 펌프가 지속적으로 작동하려면 정기 유지 보수 프로그램을 사용하는 것이 좋습니다. Leybold 기술자 팀은 가장 적절한 유지 관리 일정을 추천하고 예비 부품 및 소모품에 대해 조언하여 고객의 프로세스를 지원합니다.
- 프로세스 제어: 당사의 모든 진공 게이지 제품은 사용자가 진공 시스템을 언제나 완벽하게 제어할 수 있습니다. 모든 압력 범위를 게이지로 확인할 수 있으며, 당사는 여러분의 작업에 가장 적합한 선택지를 기꺼이 알려드립니다.
- 전체 시스템 통합: 모든 Leybold 펌프는 서로 완벽하게 어울리도록 설계되었습니다. 사용자에게 고급 프로세스 제어가 필요하다면 Leybold는 PLC 솔루션을 구축하고 다양한 전자 제어기를 제공합니다.
