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Active Measurment Gauge

THERMOVAC

피라니/피라니 및 피에조 송신기

THERMOVAC을 선택해야 하는 이유

이 제품에는 THERMOVAC TTR 피라니 게이지 제품군의 세 가지 주요 모델이 있으며, 이 모든 제품은 저진공 또는 중진공 수준에서 측정하기에 적합하고, PTR 또는 ITR 제품군(링크)과 같은 고진공/초고진공 게이지와 함께 결합할 수 있습니다. 넓은 측정 범위, 컴팩트한 크기 및 비용 효율성으로 인해 기본적으로 모든 진공 시스템에서 사용됩니다. 

Leybold THERMOVAC 피라니 게이지는 진공 시장에서 오랫동안 사용되어 왔으며 당사의 진공 펌프와 함께 수십 년 동안 사용되어 왔습니다. 

진공 성능 측면과 연결 측면 모두에서 공정 요구를 충족하는 모델을 선택할 수 있는 유연성은 많은 고객에게 매우 중요합니다. 당사는 모든 관련 국제 규정을 완벽하게 준수함으로써 마음의 평화를 제공합니다.

Leybold는 당사의 숙련된 애플리케이션 및 기술 팀의 지원을 받아 많은 진공 시장에 대한 경험을 바탕으로 고객의 응용 분야에 완벽하게 검증된 측정 솔루션을 선택할 수 있도록 지원합니다.

Leybold THERMOVAC 게이지를 사용하면 ECODRY 시리즈 같은 펌프와 결합하여 최적화된 펌핑 성능을 제공함으로써 비용 절감 및 공정 효율성을 높일 수 있습니다. 

또한 당사의 THERMOVAC 게이지를 사용하여 공정을 안정적으로 제어 및 최적화하고, 사이클 시간을 줄이고, 오류를 발견하며, 프로세스를 모니터링 및 트리거하거나, 올바른 진공 수준에 도달하지 못한 경우 프로세스를 중지하여 예기치 않은 가동 중지 시간을 방지할 수 있습니다. 

THERMOVAC TTR9* 시리즈

표준 피라니 게이지

대기압에서 1e-4mbar까지 측정할 수 있으며 대부분의 공정에서 중요한 냉매 회수 범위를 포함합니다. 센서 설계는 검증된 트랙 기록을 통해 모든 작업에서 신뢰할 수 있습니다. 360°C 라이트 링은 사용자가 어디에 있든 게이지 상태를 시각적으로 보여줍니다. HMI 포트 근처에 있지 않을 수 있으며, 대규모 설치 환경에서 작동할 때 유용한 기능입니다. 

가장 기본적인 것만 남긴 버전과 함께 더 많은 기능을 갖춘 버전을 제공합니다. 특정 부식 방지 변형뿐만 아니라 포인트 릴레이를 설정합니다. 또한 표준 0~10V 선형 아날로그 출력과 PLC 통합에 적합한 최신 디지털 출력 등 다양한 유형의 출력을 제안합니다.

THERMOVAC TTR 101 시리즈

압력이 100mbar 이상인 경우

표준 Pirani 게이지의 약점은 100mbar(75torr) 이상의 압력에서 정확하게 측정할 수 있는 능력이 낮다는 것입니다. 이 문제는 프리미엄 THERMOVAC 제품으로 해결되었습니다. TTR 101 제품군은 Pirani 필라멘트와 소형 정전 용량 압력계를 결합하여 정전 용량 감지 요소가 초기 저진공 범위를 커버합니다. 업그레이드된 이 진공 게이지의 압력 측정 범위는 1,500mbar(1,125torr)t 5x10-5mbar(3.75x10-5torr)입니다. 

Broad Range Vacuum Gauging
Broad Range Vacuum Gauging

이 게이지는 선형 아날로그 0~10v 출력 또는 디지털(RS232/485) 및 EtherCAT 출력과 함께 사용할 수 있으므로 시스템에 가장 적합한 통신 방법을 유연하게 선택할 수 있습니다. 또한 중앙 컨트롤러에서 압력을 직접 읽을 수 있는 통합 디스플레이가 있는 모델도 있습니다.

THERMOVAC TR 2* 시리즈

패시브 게이지 제품

또 다른 표준 피라니 게이지이며, 차이점이 있다면 이 게이지는 패시브 게이지라는 것입니다.

게이지 전자장치가 제거되었으며 별도의 게이지 컨트롤러에 보관됩니다. 넓은 측정 범위(대기압에서 최대 5e-4)를 가지며 TTR9*의 모든 장점을 그대로 지니고 있습니다.

전자 장치가 없기 때문에 게이지 자체에는 기능이 없으며 별도의 컨트롤러에서 기능합니다. 자세한 내용은 COMBIVAC(링크)을 참조하세요.

  • 장착 위치에 영향을 받지 않는 측정 신호 
  • 높은 과압 한계(10bar)
  • TTR 시리즈는 LED 링과 최대 2개의 설정 포인트 릴레이로 제공되어 공정 제어 능력을 개선 
  • 최적화된 가격 대비 성능 비율
  • 높은 신뢰성과 반복 가능한 전방 진공 및 고진공 압력 측정 
  • 최대 100m 길이의 케이블로 사용할 수 있어 대규모 설치에 적합합니다.  
Broad Range Vacuum Gauging
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