코팅 작업용 진공 설치
기계 부품의 마모 방지에서 광학 부품 코팅이나 플라스틱 표면 금속화에 이르는 모든 프로세스는 진공 상태에서 수행합니다.
진공 코팅 솔루션
진공 코팅은 다양한 제품의 표면에 고성능 층을 추가하여 고객에게 더 나은 가치를 제공하는 가장 효과적인 방법입니다. 진공 코팅은 Leybold의 솔루션이 표준이 되는 생산 시장의 최첨단이자 끊임 없이 발전하는 부문입니다.
진공 코팅은 다음과 같은 다양한 응용 분야에서 사용합니다.
- 투명도 100%를 유지하면서도 태양 에너지를 반사하는 로이 유리 코팅, 로이 코팅은 에너지 소비량을 줄이는 데 도움이 되는 에너지 효율적인 제품입니다.
- 투명광 파사드를 통해 현대적인 마천루의 아름다움을 개선하면서도 로이 유리의 특성은 유지하는 건축용 유리 코팅.
- 절삭 공구를 고속으로 쉽게 사용할 수 있게 하는 내마모 및 하드 코팅.
- 태양광 패널, 디스플레이 및 터치스크린 센서의 생산에 사용하여, 최신 장치를 끊임없이 개발하고 품질을 개선할 수 있게 하는 기능적 코팅.
- 광학 필터, 렌즈, 반사 표면 및 반사 방지 표면을 만드는 특수 광학 코팅.
- 부품 및 제품의 고급 마감에 적합한 고반사 코팅 등의 장식용 코팅.
Leybold는 진공 코팅 시장의 요구 사항에 발 맞추어 전방 진공 펌프, 고진공 펌프, 진공 제어 장치, 진공 측정 장치 및 누출 감지 시스템 같은 최적 제품 및 고객 맞춤형 진공 솔루션을 지속적으로 제공합니다.
Leybold 진공 펌프 및 솔루션은 다음을 제공합니다
코팅 응용 분야 관련 제품
- DRYVAC
- DRYVAC PowerBoost
- RUVAC
- SOGEVAC
- TURBOVAC MAGiNTEGRA
- TURBOVAC i
- 확산 펌프
- COOLVAC
- 진공 게이지
- 누출 감지
- 진공 피팅 및 밸브
DRYVAC
전례 없이 견고한 건식 스크류 타입 진공 펌프로 이루어진 비용 및 에너지 효율적 최신 제품군, DRYVAC는 스퍼터링 프로세스에서 발생하는 높은 분진 기체 부하와 더불어, 로드 록 도중 반복적인 충격 환기를 처리할 수 있습니다. DRYVAC 펌프는 "차세대" 전진공 펌프를 대표하며 이미 업계 표준으로 자리잡았습니다. 제품 기능은 친환경적 작동을 위해 설계되었으며, 편리하고 투명한 서비스 계획을 통해 현대적인 시장 요구 사항에 부합할 수 있습니다.
DRYVAC PowerBoost
경우에 따라 강력한 에너지 버스트가 필요한 인라인 코팅기의 로드 락 등 완전히 통합된 솔루션이 필요할 수 있습니다. DRYVAC PowerBoost는 DRYVAC 및 RUVAC 부스터 펌프와 지능형 전자 모듈을 결합한 것입니다. 이 시스템은 RUVAC 부스터 펌프의 성능을 자동으로 조정하여 사이클 시간을 단축하고 에너지 소비를 줄입니다. 클린룸 환경(TFT, SEMI 및 FPD)의 경우, DRYVAC PowerBoost는 가장 낮은 환경 발자국으로 최상의 성능을 제공합니다.
RUVAC
대량 펌핑 시에는 고성능 부스터 펌프가 필요합니다. 당사의 클래식 부스터 펌프 RUVAC WA(U) 및 WS(U)는 물론 혁신적인 완전 밀폐 RUVAC WH(U)는 직접 구동 또는 주파수 컨버터에 의한 구동으로 더 높은 회전 및 펌핑 속도로 연속 작동이 가능합니다.
250~7,000m/h의 용량으로 모든 크기의 진공 코팅 시스템을 설계할 수 있습니다.
SOGEVAC
SOGEVAC 로터리 베인 펌프 제품군은 코팅 작업에서 입증된 전진공 펌프입니다. 수십 년 전부터 오일 밀봉 SOGEVAC 펌프는 코팅 작업에서 가장 우수한 명성을 자랑하는 안정적인 진공 펌프를 찾는 고객에게 최고의 선택으로 군림해 왔습니다. 일반적으로 RUVAC Roots 블로어와 결합된 시스템에서 SOGEVAC 펌프를 찾아볼 수 있습니다. SOGEVAC 제품군은 16~750m³/h의 다양한 펌핑 속도로 제공되며, 대형 산업용 스퍼터링 기계용 소형 테이블탑 스퍼터링 시스템과 함께 사용할 수 있습니다.
TURBOVAC MAG
TURBOVAC MAGiNTEGRA 자기 부상 터보 분자 진공 펌프는 까다로운 작업용으로 탄화수소가 없는 진공을 생성하는 것으로 검증된 고진공 펌프입니다. 견고성 덕분에 코팅 프로세스에서 생성되는 입자는 산업 생산 규모의 코팅 작업에 사용되는 높은 기체 유량 등을 견딜 수 있습니다. TURBOVAC MAGiNTEGRA 펌프는 스퍼터링 시스템의 고진공에 가장 적합한 솔루션입니다. 이 펌프는 펌핑 속도-크기-처리량에 있어 낮은 정비 비용과 높은 성능을 제공합니다. 대형 코팅 작업에 필요한 고진공 펌프가 필요하십니까? TURBOVAC MAGiNTEGRA가 해답입니다.
TURBOVAC i/iX
TURBOVAC i 제품군은 다양한 산업 분야에 최적화된 다양한 모델을 제공하는 기계식 터보 분자 진공 펌프입니다. 당사의 견고한 TURBOVAC i IND 버전은 특수 설계 덕분에 코팅 프로세스에서 생성된 입자 또는 소형 및 중형 진공 챔버에서 특정 코팅 작업에 필요한 높은 기체 유량을 견딜 수 있습니다.
확산 펌프
고진공 확산 펌프는 다양한 응용 분야에 사용할 수 있을 만큼 유용하지만 장식 코팅, 마모 보호 처리 및 롤 투 롤 코팅에 특히 유용합니다. DIP 및 DIJ 제품군의 강력하고 비용 효율적인 확산 펌프는 높은 진공이 필요한 모든 작업에 대해 펌핑 속도 대비 최저 비용을 제공합니다.
COOLVAC
고진공 펌프 제품군은 10-9mbar에 이르는 최저 최종 압력에서 습기와 유분이 없는 진공을 만듭니다. 적절한 속성을 얻기 위해서는 광학 레이어가 최대한 순수해야 합니다. 따라서 진공 시스템의 순도가 핵심 역할을 하는 경우 COOLVAC을 선택하는 것이 좋습니다.
진공 게이지
안정적인 진공 압력은 일관적으로 높은 품질의 코팅에 있어 필수적입니다. 프로세스, 진공 수준 및 필요한 정확도에 따라 다양한 게이지가 사용되어 진공 수준을 모니터링하거나 제어합니다. 저진공용 TTR91 또는 TTR101 게이지부터 고진공용 ITR90에 이르기까지, 당사는 고객의 프로세스 요구를 충족하는 모든 종류의 게이지를 제공합니다. 진공 코팅 프로세스의 경우 스퍼터링 도중 정확한 압력과 낮은 최종 압력을 달성하는 것이 중요합니다. 특정 고정밀 스퍼터링 프로세스에서는 압력 측정 정확도가 중요한 역할을 합니다. 당사는 모든 크기 및 모든 정확도 수준에 대한 측정 및 제어 시스템을 제공하는 자체 진공 게이지 제품군을 개발했습니다.
누출 감지
안정적인 코팅 프로세스를 위해서는 밀폐 진공 시스템이 필수 조건이며, 균일한 제품 품질이 보장됩니다. 따라서 PHOENIX 헬륨 누출 감지기로 코팅 시스템에 대한 누출 테스트가 실시됩니다. 이 제품군에는 습식 및 건식 솔루션과 이동식 및 카트 장착 시스템이 모두 포함됩니다.
진공 피팅 및 밸브
진공 시스템은 특수 진공 밀폐 부품, 피팅과 밸브 없이는 완성되지 않습니다. 밸브, 밀봉, 배관 및 호스에 이르기까지 모든 부속품은 펌프에 완벽하게 맞으며, ISO-K 및 ISO-CF 등의 모든 세계 표준을 준수합니다.
