열 처리 어닐링, 납땜, 질화, 브레이징, 침탄, 소결 및 경화 등의 열 처리 공정을 위한 진공 펌프 및 시스템

열 처리 가열로용 진공 솔루션

금속이 깨끗한 환경에서 열 처리가 필요한 경우 진공 열 처리 가열로가 가장 적합합니다. 진공 환경에 공기 또는 다른 반응성 가스가 존재하지 않으면 표면 산화와 물질 오염을 방지하여 보다 깨끗하고 균일한 표면 마감이 가능합니다. 하지만 경우에 따라서 진공 펌프는 가열로에서 나오는 탈기에 따른 문제를 안고 있습니다. 공기 다음으로는 수증기, 유기 증기, 오일, 플럭스 증기, 수소 또는 아르곤과 같은 공정 가스, 입자, 분리 섬유 및 때로는 균열이 있는 폴리머 증기가 포함될 수 있습니다. 따라서 진공 펌프를 올바르게 선택해야 최고의 가동 시간과 유지보수를 최소화하여 최상의 가열로 작동을 보장 받을 수 있습니다. 특히 최신 진공 펌프는 구식 펌프에 비해 상당한 에너지 절감 효과를 제공합니다.

오늘날 진공 열 처리 가열로가 사용되는 분야는 다음과 같습니다.

진공 어닐링

진공 어닐링은 강도, 경도, 연성 및 내부식성과 같은 특성을 향상시키기 위해 진공 환경에서 물질을 가열하는 열 처리 공정입니다. 진공 어닐링은 일반적으로 반도체, 금속 합금 및 기타 고성능 재료의 생산에 사용됩니다.

진공 어널링에 진공 시스템을 구성하는 것은 어려운 일이 아닙니다. RUVAC 루츠 블로어의 펌프와 오일 밀봉 로터리 베인 펌프 SOGEVAC 또는 TRIVAC과 같은 표준 제품을 결합하여 유지보수를 향상시키지 않고도 문제 없이 작동합니다.

진공 경납땜

진공 브레이징은 필러 금속 합금을 사용하여 두 개 이상의 재료를 진공 환경에서 결합하는 접합 공정입니다. 필러 금속은 용융되어 모세관 작용에 의해 조인트로 흘러 들어가 고형화 시 강하고 영구적인 접합을 형성합니다. 진공 브레이징은 일반적으로 높은 강도, 내구성 및 밀폐 기능이 필요한 항공 우주, 자동차 및 전자 산업 분야에서 사용됩니다.

진공 브레이징 중에 금속 표면은 종종 산성 "플럭스" 물질로 세척됩니다. 이 과정에서 플럭스가 증발 되면서 진공 시스템에 들어갈 수 있으며, 이 경우 오일 씰 진공 펌프의 오일이 오염될 수 있습니다. 이러한 이유로 Leybold는 해당 과정에서 전혀 문제가 발생하지 않는 VARODRY 또는 DRYVAC 라인의 건식 스크류 타입의 진공 펌프의 사용을 제안합니다.

진공 질화

진공 질화는 진공 환경에서 물질의 표면에 질소를 주입하는 표면 처리 공정입니다. 이 공정은 일반적으로 고온에서 수행되며, 이를 통해 질소 원자가 물질의 표면으로 확산되어 질화 층을 형성할 수 있습니다. 질화물 층은 표면 경도, 내마모성 및 내식성을 개선하고, 재질의 피로 강도도 높일 수 있습니다.

질화는 “플라즈마 질화”라고도 하며 높은 가스 부하로 연중무휴 24시간 내내 작동할 수 있는 견고한 진공 펌프가 필요합니다. Leybold의 건식 스크류 펌프 DRYVAC 와 SOGEVAC 오일 씰 로터리 베인 펌프는 높은 가동 시간과 안정적인 구동 비용으로 이 분야에 특화된 장점을 가지고 있습니다.

진공 침탄

진공 침탄은 진공 환경에서 금속 부품의 표면에 탄소를 추가하는 열 처리 공정입니다. 일반적으로 고온 환경에서 이루어지며, 이 과정에서 탄소 원자가 물질의 표면으로 확산되어 카바이드의 얇고 단단한 층을 형성하게 됩니다. 진공 침탄은 깨끗하고 제어된 공정으로서 정확하고 균일한 케이스 깊이와 경도를 생성하여 마모 저항, 피로 강도 및 구성 요소의 전체 성능을 향상시킬 수 있습니다.

침탄은 공장 가스로 인해 진공 펌프에게 있어 까다로운 분야입니다. 공정 가스는 높은 수준의 탄소 및 부산물 함유량을 포함하고 있어 진공 펌프의 압축 단계 내부에서 쉽게 응축될 수 있습니다. RUVAC WH와 WSU 제품군이 결합된 DRYVAC는 특수 퍼지 시스템을 사용하여 펌핑 성능이 크게 저하되지 않고 이 분야에서 작업할 수 있습니다. Leybold의 SCREWLINE 제품군은 고장 없는 작동과 청소가 간편한 펌프를 제공합니다.

진공 소결

진공 소결은 진공 환경에서 금속 또는 세라믹 분말 소금을 녹는점 이하의 온도로 가열하여 입자가 확산에 의해 결합되는 열 처리 공정입니다. 이 공정은 일반적으로 고온 및 고압에서 수행되며, 이를 통해 분말 입자가 치밀해지고 기계적 특성이 개선된 단단하고 압축된 재료를 형성합니다.

RUVAC WH와 WSU 제품군이 결합된 DRYVAC은 특수 퍼지 시스템을 사용하여 펌핑 성능이 크게 저하되지 않고 이 분야에서 작업할 수 있습니다. Leybold의 SCREWLINE 제품군은 고장 없는 작동과 청소가 간편한 펌프를 제공합니다.

진공 경화

진공 경화란 진공 환경에서 재료(일반적으로 강철)를 고온으로 가열한 후 오일 또는 가스등의 냉각 매질에서 급속 담금질을 하는 열 처리 공정입니다. 냉각 속도가 빠를 경우 원자 구조가 응력 수준이 매우 높은 상태로 "동결"되어 단단하며 부서지기 쉬운 구조로 이어집니다.

건식 스크류 펌프인 DRYVAC과 SOGEVAC은 높은 가동 시간과 안정적인 운용 비용을 제공하여 이 분야에 적합합니다.